Wasserstoffgasmasse-Durchflussregler

Die Serie MFC330 von Gasmasse-Durchflussmessern/Reglern besteht aus kapillaren Durchflusssensoren, Bypass-Ableitungssystemen, hochpräzisen Proportionsventilen und Steuersystemen.

Nachdem das gemessene Gas eintritt, geht es zuerst durch Sensoren und Bypass-Ableitungssysteme. Durch die Echtzeit-Messung des Gasflusses durch einen Sensor wird der dynamische Anteilsventil mit hoher Präzision schnell auf den eingestellten Wert eingestellt. Durch die geschlossene Kreislaufstruktur zur Messung und Regelung des Durchflusses kann der MFC330 eine stabile Durchflusskontrolle aufrechterhalten, auch bei Änderungen der Umgebungstemperatur oder Schwankungen des Eingangs- und Ausgangsdrucks.

Produkteigenschaften

Präzise Massenflussmessung/Kontrolle

Schnelle Reaktion und hohe Wiederholbarkeit

Kein Einfluss von Temperatur und Druck

Arbeitsdruckdifferenzbereich: 0-1MPa

Niedriger Druckverlust optional

Vollmetall-Proportionsventil optional

Integrierter Monitor optional

Wirtschaftliche Lösungen

Hauptparameter

Medianforderungen Sauberes und trockenes Gas

Gasart 98+Gas optional

Messbereich 0-2, 10, 20, 50, 100, 300, 500 sccm

0-1, 2, 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 500slpm

Messbereich 0,5% F.S. (1:200)

Steuerbereich 1%-1 00% FS. (1:100)

Genauigkeit ±1% F.S.

Wiederholungsgenauigkeit ± 0,2% F.S.

Linearität ±0,2% F.S.

Kontrollierte Reaktionszeit <3 Sekunden

Vorwärmzeit 5 min (T95), 30 min

Ventil regelmäßig geschlossen