Durchflussregler und Durchflussmesser für Hochtemperatur-Splittergase für Ablagegeräte

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Ablagerungsgeräte mit Hochtemperatur-Partitur-Gas-Durchflussregler und Durchflussmesser, mit einem maßgeschneiderten Hochgeschwindigkeits-Verhältnis-Steuerventil, kann schnell und genau den Massenstrom von Hochtemperatur-Gas messen, kann der Durchflusswert in Masseneinheiten oder Volumeneinheiten angezeigt werden, Genauigkeit 0,5% FS.

Produktdetails

Einer,Produktübersicht：Durchflussregler und Durchflussmesser für Hochtemperatur-Splittergase für Ablagegeräte

uSchnelle und präzise Messung des Volumenstroms von Hochtemperaturgasen/Qualitätsfluss

uMaßgeschneidertes Hochgeschwindigkeits-Verhältnismäßiges Regelventil für den Durchfluss des Mediums/Präzise Kontrolle des Massenflusses

uGroßes berührbares Display für einfache Bedienung und gleichzeitige Öffnung von analogen Eingängen und AusgängenRS-485Digitale Kommunikation

uInnere unbewegbare Komponenten und Wärmeelemente, durch Schwingungsschutzprüfung, unempfindlich für die Montagerichtung

uDie interne Kompensationsschichtstromdruckdifferenztechnologie ermöglicht es, dass Flüssigkeiten im großen Durchflussbereich immer noch in Schichtstrombewegung bleiben

uAngebotAnwendersupport, einschließlich technischer Beratung, schneller Gerätekalibrierungsservice und bedingter lebenslanger Garantie.

2. Produktanwendung:

-- Wird weit verbreitet in den Bereichen des Ablagerungsprozesses, wie Keramikprozess, Halbleiter, Faseroptik und andere Industrien mit Hochtemperatur-Gas Ablagerungsanlagen verwendet.

Mehrvariable Messungen und ein einstellbares Messbereichsverhältnis von 50:1 ermöglichen es, die Leistung mehrerer Geräte durch nur einen thermischen Hochtemperatur-Partitor-Gas-Massen-Durchflussregler und -Durchflussmesser zu ersetzen.

--Genauigkeit0,5 % FSWiederholbarkeit0.5%Weniger200Die gesteuerte Reaktionszeit von Millisekunden sorgt dafür, dass das Prozessgas bei hohen Temperaturen reibungslos funktioniert.

Drei,Technische Parameter：Durchflussregler und Durchflussmesser für Hochtemperatur-Splittergase für Ablagegeräte

Technik Indikatoren	Qualitätsflussregler		Massenflussmesser
	Messbereich	2SCCM ~ 300SLM
	Genauigkeit (Nach Zero unter Standardbedingungen)	±0,5 % F·S(Vollständig)
	Wiederholungsgenauigkeit	±0,5 % F·S
	Durchflusskontrollverhältnis /Messbereich	2% ~ 100% F·Der S/50：1	1% ~ 100% F·Der S/100：1
	Betriebstemperatur	Überfluss Teil :(90~150C) Kontrollteil:0~70℃
	Auslaufrate	＜2×10-9 Pa m³/ S
Maschinenbau Teile	Maximaler Arbeitsdruck	3 MPa / 10 MPa
	Dichtmaterial	Fluor-Gummi, Perfluorether, Metalldichtung
	Schutzart	IP40
	Grundmaterial	rostfreier Stahl
	Luftwegverbindungen	φ6，φ8，φ10，φ12die Karte,VCRwarten
Elektrizität Leistung	einfarbigLCD-BildschirmAnzeige	Echtzeit-Traffic anzeigen und Traffic einstellen
	Digitale Kommunikation	Optional:RS232/485，ModbusVereinbarung,ProfibusVereinbarung,DeviceNetVereinbarung
	Analoges Eingangs- und Ausgangssignal	0 ~ 5VDC / 4 ~ 20mA
	Elektrische Signalschnittstelle	B9LochRJ11, 5,5 × 2,1Schnellstecker
	Versorgungsspannung	±15 VDC，24VDC

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