Hellma Deutschland synthetische optische Kristalle von Calciumfluorid (CaF₂)

Hellma Deutschland synthetische optische Kristalle von Calciumfluorid (CaF₂)

Grundlagen der physikalischen und chemischen Eigenschaften

• Chemische FormelCaF₂ (Kalziumfluorid)

• Kristallstruktur: Kubisches Kristallsystem, (111) Auflösungsfläche

• Dichte：3.18 g/cm³

• Schmelzpunkt：1418 °C

• Wärmeleitfähigkeit：9.71 W/(m·K) @20 °C

• Wärmeausdehnungskoeffizient (CTE)：18.9×10 ⁻⁶ / K @20 °C

• Löslichkeit (Wasser, 20 °C)0,016 g/L (sehr schwer löslich)

Optische Leistung (Kern)

• Transmissionsband：130 nm (tiefes UV) ~ 9 μm (mittleres Infrarot)VUV / DUV / sichtbares Licht / Infrarot

• Innendurchlässigkeit (10 mm dick)：

• UV（193/248 nm）：>99.0%

• VIS: >92%

• IR (3 ~ 5 μm): > 90%

• Brechungsrate ( nd@587.6 nm）：1.43384(niedriger Brechungsgrad, geringe Lichtverformung)

• Abbezahl (νd)：95.23(sehr geringe Farbdifferenz, ausgezeichnete Farbdifferenz)

• Brechungsgleichmäßigkeit (@633 nm)：≤ 0,5 ppm / 3 ~ 20 ppm (Standard)

• Spannungs-Doppelbrechung (@633 nm)：≤0,5 nm / cm / 1 ~ 50 nm / cm (Standard)

• Nichtlinearer Brechungsgrad (n₂ @ 1064 nm)1,9 x 10-16 cm²/W (extrem niedrig, hohe Laserleistungsstabilität)

• Brechungstemperatur (dn/dT)：

• @ 193 nm: -3,2 × 10 ⁻⁶ /K

• @ 248 nm: -6,9 × 10 ⁻⁶ /K

Laser-Haltbarkeit (Schlüsselindikator für die Lichtqualität)

• Anwendung der Wellenlänge157 nm, 193 nm und 248 nm Quasimolekulare Laser

• Laserschädigungsschwelle (LDT)：>10 J/cm² @ 193 nm (Impulse von 10 ns)

• Langfristige Stabilität: Tiefe UV-UmgebungNiedrige Mängel, geringe AlterungFür Prozesse mit 7nm und unter

4. Größe und maßgeschneiderte Spezifikationen

• Maximale Größe：

• Einzelkristall: Durchmesser ≤250 mmDicke ≤150 mm

• Polykristall: Durchmesser ≤440 mmDicke ≤150 mm

• Kristall Orientierung<111> (Standardeinstellung), <100> , zufällige Orientierung

• OberflächenqualitätSchleifen, Polieren (λ/10, λ/20), Ultrapräzisionspolieren

• ToleranzenDurchmesser / Länge ± 0,1 mm, Dicke ± 0,05 mm (höhere Genauigkeit anpassbar)

V. Materialklasse

• UV 级 （193–400 nm）Brechungsgleichmäßigkeit ≤1 ppm, Doppelbrechung ≤1 nm/cm193 nm optische Objektive。

• DUV-Klasse (157–193 nm)Ultrahohe Gleichmäßigkeit (≤0,5 ppm), extrem niedrige Doppelbrechung (≤0,5 nm/cm)157 nm Lichtgravur。

• VIS-Klasse (400-780 nm)Standardhomogenität (3-5 ppm) für sichtbare Lichtbildgebung und Mikroskope.

• IR 级 (0,78 bis 9 μm)Infrarot durch OptimierungInfrarotfenster, Wärmebildgebung, Spektrometer。

6. Hauptvorteile

1. Ultrabreite Transmission：130 nm–9 μm， Ein Material deckt die Anforderungen an mehrere Banden ab.

2. Sehr geringe FarbstreuungAbbe-Zahl 95,23, starke Färbungsabweichung, hohe Bildschärfe.

3. Hohe LaserbeständigkeitAnpassung zum Quasimolekularlaser von 193/248 nm für langfristige Stabilität ohne Schäden.

4. Hohe GleichmäßigkeitBrechungsgleichmäßigkeit von 0,5 ppm und hervorragende Strahlkonsistenz.

5. Großkaliber VorbereitungEinzelkristall 250 mm, Polykristall 440 mm, um die Anforderungen großer optischer Systeme zu erfüllen.

7. Typische Anwendungen

• Halbleiter:193 nm/248 nm optische Objektive, Beleuchtungssysteme。

• Laser: Hochleistungslaserfenster, Strahlfragmente, Linsen (157–1064 nm).

• Infrarot: Infrarot-Thermokamerafenster, Spektrometerelemente, Astroteleskoplinsen.

• Forschung: Vakuum-UV-Optik, Hochenergiestrahlung Umfeldfenster.

Hellma Deutschland synthetische optische Kristalle von Calciumfluorid (CaF₂)