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Peking Handasen Maschinentechnologie Co., Ltd.
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Hellma CaF₂ LD-A ist ein hochreines optisches Material, das für das 193nm ArF-Quasimolekularlaserband mit optischen Übertragungseigenschaften im tiefen UV-Bereich entwickelt wurde. Konventionelles optisches Glas, Quarzmaterial im 193nm-Band wird eine starke Absorption und Durchlässigkeitsverdämpfung auftreten, die die Anforderungen an Laserübertragung und Photogravur nicht erfüllen kann, während LD-A-Modell Calciumfluorid-Monokristall bei 193nm eine Durchlässigkeit von über 90% erreichen kann, und der Absorptionskoeffizient ist sehr niedrig und produziert kaum Laserenergieverlust und Wärmeansammlung. Material nach UV-Band exklusives Brühen, Entfernung von Verunreinigungen, optimale Behandlung des Kristallgitters, Beseitigung des Farbzentrums, Leerplatz, Metallionen usw. verursacht UV-Absorption Mängel, um sicherzustellen, dass die optischen Eigenschaften nicht verblassen, nicht beschädigen, nicht ändern unter kontinuierlicher Beleuchtung mit hochleistungsstarkem UV-Laser, ist das ideale Substrat für das 193nm-Gravursystem, die Laserreinigung und das UV-Spektrum-Erkennungssystem.
Das Produkt verwendet eine monokristalline (monokristalline) Struktur, die insgesamt aus einem einzigen kontinuierlichen Kristallgitter besteht, ohne Kristallgrenzen, keine Fehlersammlung, keine Mikrorisse, keine Verunreinigungen, die optische Gleichmäßigkeit übertrifft polykristallines Kalziumfluorid und gewöhnlichen geschmolzenen Quartz. Einkristalline Struktur gewährleistet gleichmäßige und konsistente Brechungsfrequenz, vermeidet Streuung, Verzerrung und Fleckendispersion während der Lichtübertragung und gewährleistet Bildgenauigkeit und Laserübertragungsqualität.
Gleichzeitig verwendet das Produkt <111> Kristall Orientierung, die Kalziumfluorid-Material in der tiefen UV-Laser-Anwendung stark bewährt ist eine gute Orientierung. Die Kristallfläche hat die höchste strukturelle Symmetrie, niedrigen Doppelbrechungsgrad und gute Spannungsverteilungseigenschaften, die die Empfindlichkeit der Laserinduzierten Schädigungsschwelle (LIDT) erheblich verringern und die Beständigkeit der Komponenten gegen Hochleistungslaserstöße verbessern können. In einer Umgebung mit hoher Temperatur, hohem Druck und starker Laserstrahlung ist die Kristallgitterstruktur der <111> Orientierung stabiler, es gibt keine Probleme mit Spannungsrissen, Brechungsverzerrungen und doppelter Brechungsvergrößerung, um den langfristigen stabilen Betrieb des optischen Systems zu gewährleisten.