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E-Mail-Adresse
821614517@qq.com
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Telefon
19124373227
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Adresse
Geb?ude 301, HI-Raum B, 3, Chuefu Road, Yongping Street, Baiyun District, Guangzhou
Guangzhou NODA Elektronik Co., Ltd.
821614517@qq.com
19124373227
Geb?ude 301, HI-Raum B, 3, Chuefu Road, Yongping Street, Baiyun District, Guangzhou
Geräteparameter
Testmethode |
Pumpensauge |
Gasmessungen |
Stickstofftrifluorid |
Messbereich |
0 bis 100 ppm;0 bis 20 ppm;(Nicht aufgelisteter Bereich ist optional) |
Prüfprinzip |
Elektrochemie |
Prüfeinheit |
%VOL、%LEL、mg/m3、ppm、 Viele Einheiten zur Auswahl; |
Auflösung |
0,01 ppm;(Abhängig vom Umfang) |
Genauigkeit |
3 % F.S. |
Wiederholbarkeit |
1 % F.S. |
Anzeigemethode |
2,5 Zoll Bildschirm |
Datenaufzeichnung |
Bis zu 80.000 Stücke, einstellbar 1 mal/1s, 1 mal/10s, 1 mal/60s |
Reaktionszeit |
30S |
Automatische Diagnose |
Funktionen wie Batterieleistung/Anzeige/Sensor/Hardwarefehler |
Typ der Explosionssicherheit |
Natursicheres Design |
Gewicht |
0,26 kg |
Arbeitsbedingungen |
0 ~ 90% RH Normaldruck 0,1 MPA Temperatur: -20-50 Grad |
Größe |
Länge 135mm x Höhe 65mm x Breite 35mm |
Datenwiederherstellung |
Schnelle und einfache Wiederherstellung der Werkseinstellungen mit einem Klick |
Standard |
GB 12358-2006, GB 3836.1-2010 und GB 3836.4-2010 |
Fabrik Zubehör |
Bedienungsanleitungen, Ladegeräte, Aluminiumverpackungen, Testberichte, Garantiekarten, Zertifikate |
Stickstofftrifluorid-Gase
NF3 ist ein ausgezeichnetes Plasma-Ätzgas in der Mikroelektronik-Industrie, das Ätz von Silizium und Siliziumnitrid, eine Mischung von Gasen mit NF3 und CF4 + O2 hat eine höhere Ätzgeschwindigkeit und Selektivität und keine Verschmutzung der Oberfläche. Wasserstoff reagiert mit NF3 und setzt in einem Augenblick eine große Menge an Wärme frei, was das Prinzip ist, warum NF3 in hochenergetischen chemischen Lasern verwendet wird. Bei hohen Temperaturen ist die Reaktion von NF3 mit organischen Verbindungen oft explosiv und sollte bei der Bedienung sehr vorsichtig sein. 2. Verwendung als hochenergetischer Brennstoff