Gasmassenflussmesser und MFC für Negativdruck- oder Vakuumkammern

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Gasmassenflussmesser und MFC für negative Druck- oder Vakuumkammern: $r$n◆ höhere Genauigkeit, schnellere Reaktion mit Netzanschluss; $ r $ n ◆ rohrförmige Ableitung, nicht leicht zu blockieren; $ r $ n ◆ geeignet für eine Vielzahl von Niederdruck- und Hochdruckleitungen sowie Umgebungen, in denen Vakuum gepumpt wird; $ r $ n ◆ Kurze Vorwärmzeit, Null Drift, hohe Zuverlässigkeit; $r$n◆ Analoge Eingänge/Ausgänge können den Verkehr mit einem Sekundärmesser oder einem Verkehrscomputer steuern und anzeigen; Optional für digitale Kommunikation RS485/232 Modbus, Profibus, Devicenet und andere Protokolle;

Produktdetails

Einer,Gasmassenflussmesser und MFC für Negativdruck- oder Vakuumkammern Produktübersicht:

1, höhere Genauigkeit, schnellere Reaktion, mit Netzwerkanschluss;

2, rohrförmige Ableitung, nicht leicht zu blockieren;

3, geeignet für eine Vielzahl von Niederdruck- und Hochdruckleitungen sowie Umfeld, in dem Vakuum gepumpt wird;

4, kurze Vorwärmzeit, Null Drift, hohe Zuverlässigkeit;

5, analoge Eingänge / Ausgänge können mit Sekundärmessgern oder Durchflusscomputern den Durchfluss steuern und anzeigen;

Digitale Kommunikation RS485/232 Modbus, Profibus, Devicenet und andere Protokolle sind optional;

2. Produktanwendung:

Vakuumbeschichtung / Neue Energiequellen wie Sonnenenergie, Wasserstoff und andere / Halbleiter / Petrochemie / Elektrometallurgie

Umweltschutz / Lebensmittelverpackungen / Biomedizin / Neue Materialien / Industrielle Fertigung / Analyseinrichtungen / Gasförderungssysteme

Drei,Gasmassenflussmesser und MFC für Negativdruck- oder VakuumkammernProduktparameter:

Vollbereich: 2SCCM bis 300SLM

Genauigkeit: ± 0,5% F.S

Linear: ± 0,5% F.S.

Wiederholungsgenauigkeit: ± 0,2% F.S

Reaktionszeit: Durchflussmesser: <0,1s; Durchflussregler: <0,2s

Anzahl: RS232/485, Modbus

Analoge Leistung: 0-5V, 4-20mA, 1-5V

Stromversorgung: ± 15VDC, 24VDC

Betriebstemperatur: 0 ~ 50 ℃

Arbeitsdruckabfall: <0.01Mpa (Durchflussmesser)

Arbeitsdruckdifferenz: 0,1 ~ 0,5 Mpa (Durchflussregler)

Druckbeständigkeit: 3MPa / 10MPa

Auslaufrate: 1×10-9SCCSHe

Temperaturkoeffizient: ± 0,025% F.S / ℃

Basismaterial: Edelstahl

Dichtungsmaterial: Fluor-Gummi, Neoprene, Nitril-Gummi, Polytetrafluorethylen, Perfluorether FFKM / FFPM usw.

Anschlüsse: φ3, φ6, 1/8 ', 1/4 ', 3/8 ', 1/2 '... Kartenhalter, Flansch, Schnellstecker, Pagoda usw...

Wenn sich die gewünschten Leistungsanforderungen von den oben genannten unterscheiden, können Sie die Kommunikation anpassen.

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