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Enlitech CIS/ALS/Lichtsensorwafer-Tester

VerhandlungsfähigAktualisieren am01/27
Modell
Natur des Herstellers
Hersteller
Produktkategorie
Ursprungsort
Übersicht
Der SG-O ist ein CIS/ALS/Light-Sensor Wafer-Tester, der eine hochhomogene Lichtquelle und einen halbautomatischen Wafer-Detektor kombiniert. Eine hochhomogene Lichtquelle bietet ein kontinuierliches Weißlichtspektrum von 400 nm bis 1700 nm sowie eine monochrome Lichtausgabe mit einem bestimmten FWHM bei vielen verschiedenen Wellenlängen. Der Detektor kann bearbeitet werden. Single-Chips mit Wafer-Größen von 200mm und Größen größer als 1cm x 1cm. SG-O integriert eine ultra-geräuscharme Heizkarte, die -60 C bis 180 Temperaturbereich von C
Produktdetails
Enlitech CIS/ALS/光传感器晶圆测试仪

Eigenschaften


Höchst homogene Lichtquelle

Programmierbare automatische Detektoren

Breite Temperatur Low Noise Card

Anwendung

  • CIS / ALS / Lichtsensorwafer-Test

  • CIS / ALS / Lichtsensor Wafer Mapping und Effizienzprüfung

  • ToF-Sensorprüfung

  • Testen von Laserradarsensoren

  • InGaAs PD Tests

  • SPAD-Sensorprüfung

  • Analoge Parametertest des Lichtsensors:

    1. Quanteneffizienz

    2. Spektrale Reaktion

    3. Systemgewinn

    4. Empfindlichkeit

    5. Dynamischer Bereich

    6. Dunkel Strom / Rauschen

    7. Signal-Rauschverhältnis

    8. Sättigungskapazität

    9. Linearer Fehler (LE)

    10. DCNU (Dunkelstrom-Ungleichmäßigkeit)

    11. PRNU (Ungleichmäßigkeit der Lichtreaktion)

Systemgestaltung

Enlitech CIS/ALS/光传感器晶圆测试仪

Systemdiagramm des SG-O CIS / ALS / Light-Sensor Testers (Wafer-Ebene). Eine sehr homogene Lichtquelle wird durch den PC-1 gesteuert. Der Lichtausgang wird von der Faser an den optischen Gleichgewichter geleitet, um einen gleichmäßigen Strahl zu erzeugen. Mikroskope und Homogener werden von der automatischen Plattform des PC-1 gesteuert, um Position und Funktion zu wechseln. Das Probersystem ist MPI TS2000 und wird vom PC-2 gesteuert. Auch die Position der Schaltplatte wird vom PC-2 gesteuert. Die Temperatur der Heißklemme kann zwischen -55 °C und 180 °C gesteuert werden und deckt den größten Teil des IC-Testtemperaturbereichs ab. Die Lichtintensität wird durch einen Si-Photodetektor und einen InGaAs-Photodetektor durch Pian-Stromzähler erkannt und kalibriert.

Spezifikation

SG-O bietet eine komplette Spezifikation für alles, was Sie beim CIS/ALS/Lichtsensorwafer-Test benötigen. Im Folgenden finden Sie die wichtigsten Komponenten und ihre Details. Wenn Sie weitere Informationen benötigen, zögern Sie nicht, uns zu kontaktieren!

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Höchst homogene Lichtquelle
  1. 10nm FWHM zentrale Wellenlänge:420 nm,450nm,490 nm,510nm,550 nm,570nm,620 nm,670nm,680nm,710nm780nm, 870nm

  2. 25nm FWHM zentrale Wellenlänge:1010nm,1250nm,1450nm

  3. 45 ± 5nm FWHM zentrale Wellenlänge 815 nm

  4. Die zentrale Wellenlänge des 50nm FWHM:1600nm

  5. 60 ± 5 nm FWHM zentrale Wellenlänge:650 nm

  6. Zentrale Wellenlänge von 70 ± 5 nm FWHM:485nm,555 nm

  7. Zentrale Wellenlänge von 100 ± 5 nm FWHM:1600nm

    • Außenlichtdurchlässigkeit ≤ 0,01%

    • Bandpass-Spitzentransmission ≥ 80%

    • Zentrale Wellenlängentoleranz: (a) ≤ ± 2nm; (b) ~ (g) ≤ ± 5nm

    • FWHM-Toleranz: (a) ≤ ± 2nm; (b) ~ (g) ≤ ± 5nm

Halbautomatische Wafer-Sonde

Spektrale Strahlenmeter

Mehr Spezifikationen

SG-O ist integriert.EnlitechFortgeschrittene optische Simulatortechnologie und MPI-automatisches Sondensystem.EnlitechEine Vielzahl von optischen Optionen zur Erfüllung der Anforderungen des Anwenders für CIS / ALS / Lichtsensorwafer-Tests, einschließlich Wellenlängenbereich, Lichtintensität und homogene Strahlgröße. Mit jahrzehntelanger Erfahrung können wir Kunden bei der Bewältigung der Herausforderungen des Wafer-Tests und der Konstruktionsänderungen von CIS / ALS / Lichtsensoren helfen. Bitte zögern Sie nicht, uns für weitere Informationen zu kontaktieren. Unser professionelles Team wird Ihnen helfen!


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Hauptleistung

Betriebssoftware für SG-O-Systeme. Für hochhomogene Lichtquellensteuerungssoftware bietet SG-O Lichtquellensystemsteuerung und Lichtintensitätsmessung. Labview-Palette, Treiber / DLL-Dateien für die einzelnen optischen Komponenten. Die Software steuert die Plattform, um die Beleuchtung großer Teile in Geräten zu erleichtern. Die Integration von integrierten Links umfasst das Senden / Empfangen von Befehlen wie Chipstepping, Chip-Ausrichtung / Detektion usw.

Bild von CIS/ALS/Lichtsensorchips aus SG-O Mikroskopsystemen

Enlitech CIS/ALS/光传感器晶圆测试仪
Enlitech CIS/ALS/光传感器晶圆测试仪


Installationsdiagramm für CIS / ALS / Light-Sensor Wafer

Sondenkopfbild für CIS / ALS / Lichtsensorwafer-Erkennung


SG-O CIS Lichthomogenisator für Wafer-Tester

Optische Simulation und Leistung des SG-O CIS Wafer-Testers

Strahlgleichmäßigkeit, Prüfung der Strahlpunktgleichmäßigkeit mit 42mm x 25mm bei 420 nm, Ungleichmäßigkeit von 1%

Strahlgleichmäßigkeit, Strahlfleckengröße 50mm x 50mm, Ungleichmäßigkeit 1,43%

Enlitech CIS/ALS/光传感器晶圆测试仪

Einfarbige Lichtintensität in verschiedenen Wellenlängen, von UV bis nahem Infrarot; Die Lichtintensität wird durch ein Si-Radiometer gemessen und der Lichtintensitätsbereich kann für eine Vielzahl von CIS / ALS / Lichtsensor-Testdarstellungen verwendet werden

Enlitech CIS/ALS/光传感器晶圆测试仪

Einfarbige Lichtintensität in verschiedenen Wellenlängen von NIR bis SWIR, Messung durch InGaAs Radiometer

Die hochhomogene Lichtquelle des SG-O verfügt über einen ultrastabilen Lichtmotor, der eine kurzfristige oder langfristige Lichtintensitätsunstabilität von 0,2% über den gesamten Wellenlängenbereich übersteigt.

Enlitech CIS/ALS/光传感器晶圆测试仪

Die Abbildung testet die kurzfristige Instabilität der Lichtintensität bei 420 nm monochromem Lichtausgang, die von einem Si-Radiometer für 60 Minuten und einer 1-stündigen Instabilität von 0,12% überwacht wird.

Enlitech CIS/ALS/光传感器晶圆测试仪

Abbildung zur Prüfung der kurzfristigen Lichtinstabilität bei einer monochromatischen Lichtausgabe von 1250 nm, bei der die Lichtinstabilität 60 Minuten lang mit einem SInGaAs-Radiometer und einer 1-stündigen Instabilität von 0,09% überwacht wird

Enlitech CIS/ALS/光传感器晶圆测试仪

Testen der kurzfristigen Instabilität der Lichtintensität bei 420 nm monochromem Lichtausgang, die 10 Stunden lang mit einem Si-Radiometer überwacht wird und 10 Stunden mit einer Instabilität von 0,1%

Enlitech CIS/ALS/光传感器晶圆测试仪

Testen der kurzfristigen Lichtinstabilität bei 1250 nm monochromem Lichtausgang, die 10 Stunden lang mit einem SInGaAs-Radiometer überwacht wird und 10 Stunden mit einer Instabilität von 0,06%


Enlitech CIS/ALS/光传感器晶圆测试仪

Lichtdämpfer des SG-O-Systems mit einer Lichtausgangsintensität, die über einen PC mit einer Auflösung von mindestens 1000 Schritten gesteuert werden kann

Bedienungsanleitung für automatische Detektoren,SG-O CIS / ALS / LichtsensorWafer-Tester integriertMPISonden, weitere Details finden Sie unterMPIAuf der Website gefunden

Datenquellen: MPI


Enlitech CIS/ALS/光传感器晶圆测试仪

In das SG-O-Sondensystem ist ein automatischer Single-Chip-Lader eingebaut. Einfache Ladung von CIS / ALS / Light-Sensor Wafers. Das Laden und Entfernen von Wafern ist direkt und intuitiv für den Benutzer. Außerdem ist eine Temperatursteuerung auf der Vorderseite des Laderaums integriert, um die Bedienung zu erleichtern.

Enlitech CIS/ALS/光传感器晶圆测试仪

Der Wafer-Tester SG-O CIS/ALS/Light-Sensor verfügt auch über eine manuelle Ladefunktion, mit der Wafer manuell von der Haustür aus geladen werden können. Die Vordertür verfügt über eine Sicherheitsmanagementfunktion, die die Temperatur der Schachtel automatisch überwacht und verhindert, dass die Tür während des Tests geöffnet wird, um die Sicherheit der CIS / ALS / Light-Sensor-Wafer und der Benutzer zu schützen.

Enlitech CIS/ALS/光传感器晶圆测试仪

Die Wärmescheiben des SG-O CIS/ALS/Light-Sensor Wafer Testers regeln die Temperatur durch ein ERS-minimiertes CDA-System effizienter als zuvor. Der Temperaturbereich kann von -80°C bis 180°C (je nach ERA’a-Modell) abdeckt werden. Die Stickstoffreinigung erfolgt mit separaten Ventilen. Für CIS / ALS / Lichtsensorwafer-Tests ist die Zieltemperatur und Stabilität ausgezeichnet und kann in jedem







unter Bedingungen (z.B. Raum).


Die Sondekartengröße kann von 4,5 Zoll bis 8 Zoll lang sein, wie in der Abbildung gezeigt, DUT und SG-O mit einem Arbeitsabstand von mehr als 200 mm für die letzte optische Komponente der hochhomogenen Lichtquelle

Die Sondekartengröße kann von 4,5 Zoll bis 8 Zoll lang sein, wie in der Abbildung gezeigt, DUT und SG-O mit einem Arbeitsabstand von mehr als 200 mm für die letzte optische Komponente der hochhomogenen Lichtquelle