EP-Klasse-Destillationsanlage

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Die EP-Klasse-Destillationsanlage ist die Kernausrüstung für die Herstellung von elektronischen Spezialgasen, die durch Präzisionsdestillation gereinigt werden, um die Gasreinheit von mehr als 99,999% zu erreichen und die Halbleiteranforderungen zu erfüllen

Produktdetails

Kerndefinitionen und Anwendungsszenarien

Die Destillationsanlage der Klasse EP, die auch als Destillationsanlage der Klasse Electronic Pure bezeichnet wird, ist eine hochpräzise Gasreinigungsanlage, die speziell für die Elektronikindustrie entwickelt wurde. Es entfernt durch mehrfache, präzise Destillationsprozesse Spuren von Verunreinigungen (wie Feuchtigkeit, Metallionen, Kohlenwasserstoffe usw.) aus dem Gas und führt schließlich zu einer Reinheit von mehr als 99,999% (5N), in einigen Szenarien kann eine Reinheit von 99,9999% (6N) erreicht werden.

Wird hauptsächlich in der Herstellung von Halbleiterchips, der Herstellung von Photovoltaik-Zellen, der Verarbeitung von elektronischen Komponenten und anderen Bereichen angewendet, um hochreine elektronische Spezialgase (wie Wasserstoff, Sauerstoff, Ammoniak usw.) für kritische Prozesse wie Erosion und Ablagerung bereitzustellen, die sich direkt auf die Produktleistung und -leistung auswirken.

II. Kernprinzipien

Basierend auf dem Prinzip der Destillation "Differenz im Siedepunkt verschiedener Substanzen" in Kombination mit den strengen Anforderungen der elektronischen Produktion unterteilt sich der Prozess in drei Schritte:

Vorbehandlungsphase: Rohgas wird zuerst durch Filtration, Trocknung und andere Vorbehandlungen verarbeitet, um die meisten festen Partikel und Feuchtigkeit zu entfernen, um eine Verstopfung oder Verschmutzung der nachfolgenden Geräte zu vermeiden.
Präzisionsdestillationsphase: Nach der Vorbehandlung gelangt das Gas in einen speziell gefertigten Destillationsturm, in dem die Flüssigkeitskontaktfläche durch eine Platte oder einen Füllstoff erhöht wird. Verwenden Sie den Kreislauf der Unterwärmung und der Kondensation auf der Spitze des Turms, um die flüchtige Komponente des Gases (Zielgas) wiederholt von der schwer flüchtigen Komponente (Verunreinigungen) zu trennen, um die Reinheit allmählich zu verbessern.
Nachreinigungsphase: Das Gas, das von der Spitze des Destillationsturms herauskommt, wird nach Adsorption, Membrantrennung und anderen Sekundärreinigungen weiter gereinigt, um den Gehalt an Spurvereinigungen weiter zu reduzieren und schließlich den EP-Standard zu erreichen.

Schlüsseltechnische Merkmale

Spezielle Materialien: Um die Reinigungsanforderungen zu erfüllen, werden die Komponenten der EP-Klasse-Destillationsanlagen, die mit Gasen in Kontakt kommen (z. B. Destillationsturme, Rohrleitungen, Ventile), meist aus Edelstahl von 316L oder Hasselt-Legierungen verwendet, und die Innenwände werden elektrolytisch poliert (EP-Polieren), um die Adsorption und Auflösung von Verunreinigungen zu reduzieren.
Präzise Steuerung: Ausgestattet mit einem hochpräzisen Temperatur-, Druck-, Durchflusssensor und einem automatischen Steuersystem, können die Parameter der Destillation in Echtzeit angepasst werden (z. B. die Temperaturdifferenz im Turm wird innerhalb von ± 0,1 ° C gesteuert), um eine stabile Reinheit zu gewährleisten.
Ultra-niedrige Leckage-Design: Verwendet Dichtstruktur und Helium-Massenspektrometrie Leckage-Technologie, Leckage-Rate unter 1 × 10-9 Pa · m³ / s, um das Eindringen von äußeren Verunreinigungen zu verhindern.

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