Tisch-Graver_Wikipedia_Jiangsu Leibo Lieferung Hangzhou / Shanghai und andere Orte

1. Maximale Belichtungsfläche: 160mm * 160mm. ⒉. Belichtungsauflösung: 1um (positive Klebstoff mit einer Klebstoffdicke ≤ 0,5um). 3. Ausrichtungsgenauigkeit: 1um (Standard-Wafer-Polierplatte). Lichtintensität: 35mW/cm2. Belichtungswellenlänge: LED-Lichtquelle (importierte Lichtperlen, Lebensdauer 10.000 Stunden)

　　SchreibtischlichtgraviererParameter:

Maximale Belichtungsfläche: 160mm*160mm

⒉. Belichtungsauflösung: 1u m (positive Klebstoff mit einer Klebstoffdicke von ≤0.5um)

3. Ausrichtungsgenauigkeit: ± 1um (Standard-Wafer-Polierplatte)

Lichtintensität: 35mW/cm2

Belichtungswellenlänge: LED-Lichtquelle (importierte Lichtperlen, Lebensdauer > 10.000 Stunden)

Belichtungsart: Timing (Countdown-Methode)

Relativer Bewegungsbereich der Maskenprobe: X: besser als ± 5 mm;

8.Y: besser als ± 5 mm; 0: besser als ± 6 °

9. Maskengröße: 7 Zoll, Probe-Größe: 6 Zoll (Wafer)

10. Digitale Einstellung des Ausrichtungs- und Belichtungsabstandes

11. Maske Probe Trennungsspalt: 6 = O-500um kontinuierlich verstellbar

12. Ausrichtungsmethode: automatische Ausrichtung, die Art der Ausrichtungsmarke kann je nach Kundenbedürfnissen erhöht werden, kumulativ nicht mehr als 4 Gruppen

13. Automatisches Getriebe: Automatisches Getriebe mit Roboter (spezieller Probenarm und Gabel), einschließlich Vorausrichtung

Mikroscannbereich: Y: ± 40mm (numerische Einstellung)

15. Positive Druck-Luft-Schwimmbelichtung, Hard-Kontakt-Belichtung, Druck-Kontakt-Belichtung und Nahbelichtung vier Funktionen CCD + Distanzobjektiv + Display-Ausrichtung, optische Aufnahmen

16. Gleichstellung des Kontaktdrucks durch den Sensor zur Wiederholung

17. Doppelobjektiv verstellbarer Abstandsbereich: 30mm-130mm