D07-9 Massenverflussregler/Durchflussmesser

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Übersicht

D07-9 Massenflussregler / Durchflussmesser ist ein thermisches Massenflussmessgerät, das zur Messung und Steuerung verschiedener Gase verwendet werden kann. Neben der Messung kann auch der Massenflussfluss des Gases präzise gesteuert werden. Das Massenflussmessgerät (MFM) kann den Massenflussfluss des Gases präzise messen. Das Produkt D07-9 ist ein analoges Produkt mit hoher Genauigkeit und schneller Reaktionszeit.

Produktdetails

Masse Flow Meter (MFM) zur Präzisionsmessung des Massenflusses eines Gases; Der Masse Flow Controller (MFC) dient zur präzisen Messung und Steuerung des Massenflusses eines Gases. Sie finden wichtige Anwendungen in der Forschung und Produktion in einer Vielzahl von Bereichen wie der Halbleiter- und integrierten Schaltungsindustrie, Spezialmaterialiendisziplinen, der chemischen Industrie, der Ölindustrie, der Medizin, der Umweltschutz und des Vakuums. Typische Anwendungen sind: Elektronische Prozessgeräte wie Diffusion, Oxidation, Extension, CVD、 Plasmagravierung, Spritzen, Ioneninjektion; sowie Beschichtungsanlagen, Faserschmelzen, Mikroreaktionsgeräte, Mischgasverteilungssysteme, Kapillarmessungen, Gaschromatometer und andere Analyseinrichtungen.

D07-9 Massenverflussregler/DurchflussmesserMit hoher Präzision, guter Wiederholbarkeit, schneller Reaktionsgeschwindigkeit, weichem Start, Stabilität und Zuverlässigkeit, einem breiten Arbeitsdruckbereich und anderen Merkmalen (kann unter hohen Druck- oder Vakuumbedingungen gearbeitet werden), mit internationalen Standardverbindungen, der einfache Bedienung, die Installation an jedem Ort und die einfache Verbindung mit dem Computer zur automatisierten Steuerung.

Die Massen-Durchflussregler und Massen-Durchflussmesser der Serie D07 werden in der Regel mit Produkten wie Durchflussanzeigen der Serie D08 verwendet, die mit einem speziellen Kabel zwischen der Steuerung und dem Display verbunden sind.

Merkmal

• mittlerer Durchfluss
• Gummidichtung, MFC für analoge Schaltungen
• Der Verteiler kann nicht verstopft werden
• Elektrostecker Typ DB15 mit internationalen Standardverbindungen

D07-9 Massenverflussregler/DurchflussmesserTechnische Parameter

Typ	Typ D07-9E	Typ D07-9EM	Typ D07-9F	D07-9FM 型
Durchflussspezifikationen	(0 ~ 20,30,50,100,150,200,250) SLM	(0 ~ 20,30,50,100,150,200,250) SLM	0 ~ 20,30,50,100,150,200,250 SLM	0 ~ 20,30,50,100,150,200,250 SLM
Genauigkeit	±2 % F. S.	±2 % F. S.	±2 % F. S.	±2 % F. S.
Linear	±1 % F. S.	±1 % F. S.	±1 % F. S.	±1 % F. S.
Wiederholungsgenauigkeit	±0,2 % F. S.	±0,2 % F. S.	±0,2 % F. S.	±0,2 % F. S.
Reaktionszeit	(1 ~ 4) Sekunden	(1 ~ 4) Sekunden	≤ 4 Sekunden	≤4 Sekunden
Arbeitsdruckdifferenzbereich	20, 30 SLM: (0,05 ~ 0,30) MPa (7,3 ~ 43,5 psid) 50.150 SLM: (0,10 ~ 0,30) MPa (14,5 ~ 43,5 psid) 200.250 SLM: (0,15 ~ 0,30) MPa (21,8 ~ 43,5 psid)	-	20,30 SLM: (0,05 ~ 0,30) MPa (7,3 ~ 43,5 psid) 50 ~ 150 SLM: (0,10 ~ 0,30) MPa (14,5 ~ 43,5 psid) 200.250 SLM: (0,15 ~ 0,30) MPa (21,8 ~ 43,5 psid)	-
Luftdruck sinkt	-	20 ~ 100SLM: <0,02 MPa (2,9 psid); >100SLM: <0,05 MPa (7,3 psid)	-	20 ~ 100SLM: <0,02 MPa (2,9 psid); >100SLM: <0,05 MPa (7,3 psid)
Maximaler Arbeitsdruck	1 MPa	1 MPa	1 MPa	1 MPa
Druckbeständigkeit	3 MPa (435,1 psig)	3 MPa (435,1 psig)	3 MPa (435,1 psig)	3 MPa (435,1 psig)
Arbeitsumgebungstemperatur	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5℃ ~ 45℃	5 ℃ ~ 45 ℃
Eingangs- und Ausgangssignale	0 V bis +5,00 V (Eingangsimpedance größer als 100K, Ausgangsstrom nicht größer als 3mA)	0 V bis +5,00 V (Eingangsimpedance größer als 100K, Ausgangsstrom nicht größer als 3mA)	4 bis 20 mA oder 1 bis 5 VDC	4 bis 20 mA oder 1 bis 5 VDC
Stromversorgung	+15 V 50 mA -15V 400 mA	+15 V 50 mA -15 V 50 mA	24VDC 400 mA	24 VDC 100 mA
Gewicht	2,6 kg	1,5 kg	2,6 kg	1,5 kg

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