D07-7 Massenverflussregler/Durchflussmesser

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D07-7 Massenflussregler / Durchflussmesser ist ein thermisches Massenflussmessgerät, das zur Messung und Steuerung verschiedener Gase verwendet werden kann, zusätzlich zur Messung kann auch der Massenflussfluss des Gases präzise gesteuert werden, und das Massenflussmessgerät (MFM) kann den Massenflussfluss des Gases präzise messen. Das Produkt D07-7 ist ein Basisprodukt des 7-Sterne-Durchflussmessers, das die grundlegenden Anforderungen der Kundenmessung erfüllt.

Produktdetails

Der Masse Flow Controller (MFC) dient zur präzisen Messung und Steuerung des Massenflusses eines Gases. Sie finden wichtige Anwendungen in der Forschung und Produktion in einer Vielzahl von Bereichen wie der Halbleiter- und integrierten Schaltungsindustrie, Spezialmaterialiendisziplinen, der chemischen Industrie, der Ölindustrie, der Medizin, der Umweltschutz und des Vakuums. Typische Anwendungen sind: Elektronische Prozessgeräte wie Diffusion, Oxidation, Extension, CVD、 Plasmagravierung, Spritzen, Ioneninjektion; sowie Beschichtungsanlagen, Faserschmelzen, Mikroreaktionsgeräte, Mischgasverteilungssysteme, Kapillarmessungen, Gaschromatometer und andere Analyseinrichtungen.

D07-7 Massenverflussregler/DurchflussmesserMit hoher Präzision, guter Wiederholbarkeit, schneller Reaktionsgeschwindigkeit, weichem Start, Stabilität und Zuverlässigkeit, einem breiten Arbeitsdruckbereich und anderen Merkmalen (kann unter hohen Druck- oder Vakuumbedingungen gearbeitet werden), ist der Betrieb einfach zu bedienen, kann an jedem Ort installiert werden und ist einfach mit dem Computer verbunden, um die automatische Steuerung zu erreichen. Die Massenverflussregler der Serie D07 werden in der Regel mit Produkten wie den Durchflussanzeigen der Serie D08 verwendet, die mit einem speziellen Kabel zwischen dem Controller und dem Display verbunden sind.

Eigenschaften:

• Gummidichtung, MFC für analoge Schaltungen

• Rohrförmige Ableitung, lange Lebensdauer

D07-7 Massenverflussregler/DurchflussmesserTechnische Parameter:

Nummer	Typ	D07-7K 型	Typ D07-7B	Typ D07-7C	Typ D07-7CM
1	Durchflussspezifikationen	(20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM	(0 ~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM	(0 ~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM	( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
2	Genauigkeit	±1 % F.S.	±1,5 % F.S.	±1,5 % F.S.	±1,5 % F.S.
3	Linear	±1 % F.S.	±1 % F.S.	±1 % F.S.	±1 % F.S.
4	Wiederholungsgenauigkeit	±0,2 % F.S.	±0,2 % F.S.	±0,2 % F.S.	±0,2 % F.S.
5	Reaktionszeit	Elektrische Eigenschaften: 10 sec; Eigenschaften: ≤ 4 sec	Elektrische Eigenschaften: 10 sec; Eigenschaften: ≤ 4 sec	Elektrische Eigenschaften: 10 sec; Eigenschaften: ≤ 4 sec	10 Sekunden
6	Luftdruck sinkt	ˉ	ˉ	ˉ	< 0,01 MPa
7	Arbeitsdruckdifferenzbereich	(0,1 ~ 0,5) MPa	(0,1 ~ 0,5) MPa	(0,1 ~ 0,5) MPa	< 0,01 MPa
8	Temperaturfaktor	Null: ≤ ± 0,1% FS / ℃; Spannung: ≤ ± 0,2% FS / ℃;	ˉ	ˉ	ˉ
9	Maximaler Arbeitsdruck	1 MPa	1 MPa	1 MPa	1 MPa
10	Druckbeständigkeit	3 MPa	3 MPa	3 MPa	3 MPa
11	Arbeitsumgebungstemperatur	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃	5 ℃ ~ 45 ℃
12	Eingangs- und Ausgangssignale	0 V bis +5,00 V (Eingangsimpedance größer als 100K, Ausgangsstrom nicht größer als 3mA)	0 V bis +5,00 V (Eingangsimpedance größer als 100K, Ausgangsstrom nicht größer als 3mA)	0 V bis +5,00 V (Eingangsimpedance größer als 100K, Ausgangsstrom nicht größer als 3mA)	0 V bis +5,00 V (Eingangsimpedance größer als 100K, Ausgangsstrom nicht größer als 3mA)
13	Stromversorgung	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA; -15V 200 mA	+15 V 50 mA -15 V 50 mA
14	Gewicht	1,1 kg	1,1 kg	1,1 kg	0,92 kg

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