Trocknungsanlagen für kritische Punkte

VerhandlungsfähigAktualisieren am02/10

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Mechanisches Sicherheitsventil, elektronischer Alarm und ein dreifaches unabhängiges Sicherheitssystem zur Verriegelung von Prozessen gewährleisten die Sicherheit des Bedieners und der Laborumgebung.

Produktdetails

Trocknungsanlagen für kritische PunkteVollautomatisch mit einem Klick, Trocknen + Reinigen in einem Prozess

Ein integriertes intelligentes Programm, das den gesamten Prozess von der Flüssigkeitseinspritzung über den Druckausgleich bis hin zu den Abgasen abdeckt. Mit einem Klick können alle Daten nahtlos an Ihr Production Execution System (MES) angeschlossen werden, um die Rückverfolgbarkeit von Wafer bis Daten zu gewährleisten.

Dreifacher Kettenschutz, kompromisslose Sicherheit

Trocknungsanlagen für kritische PunkteEin dreifaches unabhängiges Sicherheitssystem mit mechanischem Sicherheitsventil, elektronischem Alarm und Verriegelung des Programms gewährleistet die Sicherheit des Bedieners und der Laborumgebung.

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