Inspektionsgeräte für Chipfertigung

Inspektionsgeräte für ChipfertigungDie Zuverlässigkeitsverbesserungen und Leistungsverbesserungen des MRD Hochauflösungsröntgendiffraktors erhöhen die Analysefähigkeit und bieten integrierte Lösungen für verschiedene Anforderungen und Anwendungen:
• Halbleiter- und Einkristallwafer: Umkehrrechtliche Raumforschung, Schwingkurvenanalyse
• Polykristalline Feststoffe und Dünnfolien: Strukturanalyse, Reflexionsmessung
• Ultradünne Folien, Nanomaterialien und Nichtkristalline Schichten: Phasenerkennung von infiltrierenden Objekten, Flächendiffraktion
• Messung unter extremen Temperaturen: Spitzenhöhen, die sich mit Temperatur und Zeit ändern
Inspektionsgeräte für ChipfertigungEigenschaften:
X'Pert3MRD wurde speziell für die Anforderungen moderner Materialentwicklungslabore entwickelt. Die Entwicklung des X'Pert3MRD konzentrierte sich auf die Bedürfnisse der Dünnfolienanwendungen und bietet daher eine Vielzahl von Probenhaltern, die Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm aufnehmen können, sowie für das Multipoint-Scannen von Wafer-Oberflächen. Der große Probenstand kann mehrere Proben laden.

Der X'Pert3 MRD integriert neue Technologien in das Design und die Positionskodierung von Angulometer-Lagern, um die Gesamtleistung zu verbessern. Innovationen auf Winkelmesserlagern verbessern das Gleitverhalten und ermöglichen eine äußerst reibungslose Drehbewegung auch unter hohen Belastungsbedingungen. Der Einsatz von optischen Heidenhain-Encodern* an den Omega- und 2theta-Achsen verbessert die Genauigkeit von Kurz- und Langstrecken sowie die Geschwindigkeit der Positionsberichte und der Angulometrie.

Der Euler-Ring-Probentesch des X'Pert3 MRD ermöglicht eine präzise, wiederholbare und barrierefreie Bewegung und ermöglicht eine einfache Probenroutung, Neigung und X-, Y- und Z-Schiebe, um eine breit verbreitete und genaue Probenpositionierung für anspruchsvolle XRD-Anwendungen zu gewährleisten.
Das Konzept (vorkalibriertes und schnell austauschbares Röntgenmodul) ermöglicht es MRD, eine Austauschkonfiguration ohne Neukalibrierung durchzuführen. Wenn sich die experimentellen Anforderungen ändern, können neue PreFIX-Komponenten einfach hinzugefügt werden, was das gesamte Programm flexibel, schnell und zukünftig gestaltet. Eine große Auswahl an PreFIX-Modulen ist verfügbar, darunter:
Röntgenparallelreflexor
Kristallfarbiger
Hochauflösende Vierkristall Monochrome
Multikapillare Linsen
Programmgesteuerte und festgelegte Dispersions- und Dispersionsschlüsse
Kreuzschlüsse und monokapillare Optik
Das Produktportfolio von Detektoren entwickelt sich ständig. Der PIXcel3D-Detektor hat einen besonderen Vorteil in Halbleiter- und Dünnfilmanwendungen und bietet eine volle Vielseitigkeit, die Messungen in hohen Dynamikbereichen ohne Strahldämpfung ermöglicht. Der PIXcel-Detektor kann für eine Vielzahl von Anwendungsanforderungen eingesetzt werden und kann einfach vom 0D-Empfangsschlitzmodus in den 1D- und 2D-Statik- und Scanmodus wechseln.
Anwendung
Halbleiter- und Einkristallwafer
Ob für die Wachstumsforschung oder das Design von Geräten, der Prozess der Messung von Strukturschichtmasse, Dicke, Spannung und Legierungskomponenten mit hochauflösender XRD ist zum Kern der Forschung und Entwicklung von elektronischen und optoelektronischen Mehrschichthalbleitergeräten geworden.
Mit einer großen Auswahl an Röntgenreflexoren, Monochromaten und Detektoren bieten die X'Pert3 MRD und X'Pert3 MRD XL hochauflösende Konfigurationen für verschiedene Materialsysteme. Vom Grid-Matching-Halbleiter über die Relaxationspufferschicht bis hin zu neuen exotischen Schichten auf nicht-standard-Substraten.

Polykristalline Feststoffe und Folien
Polykristalline Folien und Beschichtungen sind ein wichtiger Bestandteil vieler Folien- und Mehrschichtfolienanlagen. Die Entwicklung der polykristallinen Schichtformen im Ablagerungsprozess ist ein Schlüsselforschungsfeld für die Entwicklung funktionaler Materialien.
Die X'Pert3 MRD und X'Pert3 MRD XL sind komplett mit einer Reihe von eingehenden Lichtwegkomponenten wie Schlitzsystemen, parallelen Röntgenreflexen, polykapillaren Linsen, Kreuzschlitzen und Monokapillaren ausgestattet, um die Anforderungen der Reflexionsmessung, der Spannung, der Struktur und der physiologischen Prüfung zu erfüllen.

Ultradünne Folien, Nanomaterialien und Nichtkristalline Schichten
Funktionsgeräte können unregelte, nicht kristalline oder nanokompositfolien enthalten. Die Flexibilität der X'Pert3 MRD- und X'Pert3 MRD XL-Systeme ermöglicht die Kombination mehrerer Analysemethoden.
Eine Reihe von hochauflösenden Optiken, Schlitz- und Parallelplattenlichtrichtern ist verfügbar, die eine höhere Leistung für die Messung von Einflüssen, Flächendiffraktionen und Reflexionen gewährleisten.

Messungen unter sehr warmen Bedingungen
Die Untersuchung der Veränderungen von Materialien unter verschiedenen Bedingungen ist ein wichtiger Bestandteil der Materialforschung und der Prozessentwicklung.

Die X'Pert3 MRD und X'Pert3 MRD XL wurden speziell für die einfache Integration in die DHS1100-Probenstange von Anton Paar entwickelt, um automatische Messungen in verschiedenen Temperaturbereichen und Inertgasumgebungen durchzuführen.