CYG502 Mikrodrucksensor

Der ultramikroskopische Drucksensor CYG502 mit einem nominalen Außendurchmesser von 2 mm wurde speziell für Anwendungen in Fluidmechanikversuchen entwickelt, die kleinere Installationsgrößen erfordern. Es ist derzeit der kleinste Drucksensor unseres Unternehmens.

Die druckempfindlichen Komponenten des CYG502 werden mit der fortschrittlichen MEMS-Technologie (Miro Electronic Machinical Systems) entwickelt und hergestellt. Dreidimensional integrierte, doppelseitig bearbeitete Siliziumdrucksensitive Elemente bieten eine ausgezeichnete lineare Genauigkeit. Die hohe Konsistenz der Whiston-Spannungsbrücke, die durch Ioneninjektion und feine Photografie hergestellt wurde, ermöglicht eine geringe Temperaturabweichung. Die Verwendung von Silizium-Silizium-Direktbindungstechnologie, umgekehrtem V-Slot-Design, wodurch die Optimierung der verwendbaren Chip-Filmgröße erreicht wird, die gesamte Chipgröße auf 1 x 1 mm reduziert wird, während die Ausgangsempfindlichkeit immer noch einen Messbereich von 100 kpa erreichen kann, was einen wichtigen Durchbruch für die Realisierung von ultramikrosensoren ermöglicht.

Die Änderung der Silizium-Glas-Bindung im herkömmlichen Design in Silizium-Silizium-Bindung verbessert den Wärmeanpassungseffekt und verringert die Nullstellinstabilität durch Spannung.

Derzeit gibt es auf dem Markt Sorten von absoluten Druckmessmodellen, die Oberdrucktypen werden entwickelt.

Der Mikrodrucksensor CYG502A ist sondenförmig mit einem Standard-Außendurchmesser von Ф2,15 mm und einer Länge von 18 mm, der optionale Messbereich des Sensors beträgt 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500 und 4000kpa absoluten Druck.

Der Absolutionssensor CYG502A wird mit empfindlichen Komponenten frontal beaufschlagt. Daher ist es nur für trockene Gase geeignet, die nicht korrosiv und nicht leitfähig sind. Es hat einen ziemlich breiten Betriebstemperaturbereich von bis zu -55 ℃ ~ + 120 ℃, hat auch sehr ausgezeichnete hohe Frequenz dynamische Eigenschaften, seine niedrigste Reichweite der empfindlichen Komponenten die inhärente Frequenz > 200kHz, die Anstiegszeit ist Submikrosekunden.

1. Parameter der Leistungsindikatoren

Vollständige Ausgabe: Mindestwert 30mv Typischer Wert 80mv Maximalwert 130mv

Eingangs- und Ausgangsimpedance: Mindestwert 3 kΩ Typischer Wert 5 kΩ Maximalwert 7 kΩ

Eingangsbetriebsstrom: 1,5 mA (mittlerer Druck) 1 mA (absoluter Druck) (konstante Stromquelle)

Betriebstemperaturbereich: -55 ℃ ~ 120 ℃

Kompensationstemperaturbereich: -10 ℃ ~ 80 ℃

Überlastkapazität: 200% der Nennreichweite

Beschleunigungsempfindlichkeit: < 0,001% FS / g

Dimensionen: CYG502A