Automegasamdri-938, Serie C kritischer Trockner

Automegasamdri-938,

Serie C

• Eigenschaften:

• Neu konfigurierte spezielle „Slow-Load“-Steuerung, die den Probenhaum mit idealer CO2-Flüssigkeitsdynamik versorgt und die meisten fragilen Proben schützt;

• Extern konfiguriert nach PURGE Filtereinrichtung, schützt Proben, leicht zu ersetzen und spätere Wartung;

• Nichtmechanisches Rühren mit dem exklusiv patentierten "Vortex Swirl" ermöglicht PURGE vollständig, ohne die Probe zu zerstören;

• Ein effizientes internes geschlossenes Kühlkreislaufsystem, das die Kammertemperatur schnell abkühlt und die Betriebszeit verkürzt;

• Eingebauter SOTER-Kondensator zur Trennung von Abgasalkohol und Abgasgeräuschen;

• Einzigartige Probenkammerfüllung, die den Probenkammerdurchmesser ändern kann, den Verbrauch von flüssigem Kohlendioxid und die Verarbeitungszeit reduzieren kann und mit der Behandlung von Wafern verschiedener Größen kompatibel ist;

• Das interne Filtersystem filtert flüssiges Kohlendioxid, das in die Probenraum fließt, und die Mindestgröße der Filterpartikel erreicht 0,08 μm;

• Ein Betrieb kann 5 8-Zoll-Wafer verarbeiten, die Größe der Probenraum ändern, jeder Betrieb kann auch 6-Zoll-, 4-Zoll-, 3-Zoll-, 2-Zoll-Wafer und 10-mm-Quadratkristalle verarbeiten;

• 8-Zoll-, 6-Zoll-, 4-Zoll-, 3-Zoll-, 2-Zoll-Wafer-Probenhalter und 10-mm-Quadratkristall-Probenhalter, die standardmäßig mit Teflon kompatibel sind;

• Vertikaler Probenraum mit Beleuchtung in der Innenkammer und Deckel mit Beobachtungsfenster;

• Helle LCD-Touchscreen-Steuerung;

• Integrierte Werksautomatisierung und Erstellung und Speicherung von personalisierten Programmen;

• Alle Innenflächen sind für CO2, Aceton und ultrareines Ethanol geeignet;

• Die eingestellten Parameter können wiederholt werden, um die Wiederholbarkeit der Ergebnisse zu gewährleisten;

• Integrierte Module für die automatische Steuerung der Temperatur und der statischen Druckregelung, um den automatischen sicheren Betrieb zu gewährleisten;

• Reinraum und antistatisch kompatibles Design;

Alle elektrischen Komponenten entsprechen UL, CE und U.S. Military Standards;

• Produktspezifikationen:

• Außenmaßungen: Breite 19,8" (50,3 cm) × Tiefe 31,7" (80,6 cm) × Höhe 44,5" (113,0 cm);

• Installationsgröße: Breite 27" (68,6 cm) × Tiefe 38" (96,5 cm);

• Probenraumgröße: Innendurchmesser 8,5 "x Tiefe 1,25", Probenraumvolumen: 1162 ml;

• Die Durchflussgeschwindigkeit von LCO2 wird durch ein Miniatur-Dosierventil mit Cursor-Stecker gesteuert;

120V / 50-60Hz (optionale andere Spannung);