6 Zoll Nanodrucker NIL-150

Die Nanodrucktechnologie hat die Herausforderungen der herkömmlichen Lithographie im Prozess der Reduzierung der Größe der Merkmale durchbrochen und hat die Eigenschaften einer hohen Auflösung, niedrigen Kosten und hoher Produktivität. vonSeit dem Vorschlag im Jahr 1995 hat der Nanodruck nach 14 Jahren Entwicklung eine Vielzahl von Drucktechnologien entwickelt, die in der Halbleiterherstellung weit verbreitet werden. mems、 Bereiche wie Biochips und Biomedizin sind als eine der zehn Technologien bekannt, die die Menschheit verändern.
NIL DruckerDie grundlegende Idee ist, die Grafik durch die Schablone auf den entsprechenden Substrat zu übertragen, das übertragene Medium ist in der Regel eine dünne Schicht Polymermembran, die durch Wärmedruck oder Strahlung ihre Struktur verhärtet, um die übertragene Grafik zu erhalten. Der gesamte Prozess umfasst zwei Prozesse: Druck und Grafikübertragung. Je nach Druckmethode,NIL kann hauptsächlich in drei Technologien unterteilt werden: Hot Embossing, UV-Härtung und Micro Contact Printing (uCP).

Zwei, Funktionen

lHauptfunktionen

Die Hauptfunktion eines Nanodruckers besteht darin, die Grafik auf den entsprechenden Substrat zu übertragen, das übertragene Medium ist in der Regel eine dünne Schicht Polymermembran, die durch Wärmedruck oder Strahlung ihre Struktur verhärtet, um die übertragene Grafik zu erhalten. Die Drucktechnik ist hauptsächlich in zwei Arten unterteilt:

Wärmedruck:Zunächst auf dem Substrat eine dünne Schicht von thermoformingen Polymerenmaterialien (z.B.PMMA）。 Erwärmen und erreichen Sie die Glasübergangstemperatur Tg des thermoplastischen Materials. Thermoplastische Materialien unter hoher Elastizität drücken die Form im Nanomaßstab und üben den richtigen Druck aus, füllen die Hohlräume in der Form, nach dem Ende des Formprozesses wird die Temperatursenkung das thermoplastische Material aushärten und somit die übereinstimmende Grafik mit der Form erhalten. Entfernen Sie anschließend die Form und führen Sie die unterschiedlichen Gravuren durch, um die verbleibenden Polymere zu entfernen. Anschließend erfolgt die Grafikübertragung. Die Grafikübertragung kann durch Gravierung oder Entfernung erfolgen. Die Gravurtechnik verwendet ein thermoplastisches Material als Maske, um den unteren Substrat in jeder Richtung zu gravieren, um die entsprechende Grafik zu erhalten. Der Entfernungsprozess wird zuerst mit einer Metallschicht auf der Oberfläche beschichtet, dann das Polymer mit organischem Lösungsmittel gelöst, anschließend wird auch das Metall auf dem thermoplastischen Material entfernt, so dass das Metall auf dem Substrat als Maske verwendet wird, bevor die Grafik graviert wird.

UV-Druck:Zur Verbesserung der Nachteile der thermischen Verformung im Thermodruck, die University of TexasC. G. willson und S. v. Sreenivasan entwickelten die Step-Flash Imprint Lithography, ein Prozess, bei dem eine ultraviolett transparente Quarzglas (harte Form) oder PDMS (weiche Form) mit einer niedrig viskozen, photohärtenden Monomerlösung verwendet wird. Tropfen Sie zuerst eine monomeren Lösung mit niedriger Viskosität auf das Substrat, das gedruckt werden soll, in Kombination mit dem mikroelektronischen Prozess kann die Stärke der Folie mit der Methode der Spiral-Gel-Abdeckung verwendet werden, die Schablone auf den Wafer mit sehr niedrigem Druck gedrückt wird, damit die Flüssigkeit sich verteilt und die Hohlräume in der Schablone gefüllt wird. Durch die UV-Belichtung der Form wird das Polymer im Druckbereich polymerisiert und ausgehärtet. Schließlich gravieren Sie die Restschicht und führen Sie einen grafischen Transfer durch, um eine Struktur mit einem hohen Tiefenverhältnis zu erhalten. Der abschließende Entformungs- und Grafikübertragungsprozess ähnelt dem Heißdruckprozess.

lTechnische Merkmale

★ Host enthält: Vakuumsystem, Temperaturregelsystem, Druckregelsystem, Wasserkühlungssystem, PLCKontrolle

Fertigungssystem, Softwarebedienungsschnittstelle, UV-Lichtquelle, einseitiges elektromagnetisches Heizsystem

Maximale Druckgröße:6 Zoll.

Das Gerät ermöglicht den Wärmedruck und den UV-Druck

★Maximaler Druck:8bar(Luftkompressor),20bar(Externe ultrareine Raumgasquelle)

Temperaturbereich: von Raumtemperatur bis 250 Grad Celsius.

UV-Lichtquellen: Hochdruck-Quecksilberlampe: Leistung:400WHauptwellenlänge:365nm.

★Ausrüstung Vakuum:10 Pa.

★Die Geräte können zufällig eine komplette Palette von Nano-Druckklebstoffen nach wissenschaftlichen Anforderungen anbieten, einschließlich:

Heißdruckkleber, UV-Lichthärtung

Tief erodierter Druckkleber, Lift-Off(Druckkleber)

Schnelle Schablonenherstellungsmaterialien, verschiedene Schablonenschutzmittel, Substrationsklebemittel usw.

★Mit dem Gerät können individuelle Nanodruckvorlagen nach den wissenschaftlichen Anforderungen bereitgestellt werden, einschließlich:400nmder4Zoll Dot-Array-Vorlage Nickel-VorlageSFP ® & Hybrid Mold ®Weiche Vorlagen

AbteilungHalten20nmAuflösung und Oberflächendruck und Unterstützung des Dokumentationsprozesses,

★Unterstützt automatische Entformung, elektromagnetische Heizung

Im In- und Ausland größer als 10 Ein Kunde

★ Prozess umfasst:

Nano-Druck-Gel-Rotationsverfahren Unterstützung

Nano-Druck-Schablonen Anti-Klebstoff-Prozess Unterstützung, um die Auswirkungen des Entformklebstoffs zu vermeiden

Parameterstellung des Nanodruckers

Soft-Template-Prozess einschließlich PDMSVorlagen,SFPundHybrid MoldProzess

ICPGravurprozess

Flexible Polymer Substrate Druckverfahren, Nickel TemplateMetall-Nickel-Schablonen HeißdruckPET、PMMAWarten Sie!

Abheben (Lift-off)Prozessunterstützung, Bearbeitung von Metallstrukturen

Nanodruck Charakterisierungstechnik

Aktualisierung der R&D-Anleitung zum Druckprozess, Unterstützung der Literatur

lTechnische Fähigkeiten

Der Erfinder des Geräts 2001 bis 2003, der Erfinder der Nanotrucktechnologie, Professor StephenY.Chou von der Princeton University in den Vereinigten Staaten Nanostruktur Labor als Forschungsassistent 3 Jahre Forschungsarbeit durchgeführt hat, entwickelte UV-Licht-Härtung Nanotruckverfahren und Materialien, die einen wichtigen Beitrag zur Entwicklung der Nanotrucktechnologie geleistet haben. Nachdem er sich der Abteilung für Materialwissenschaft und Ingenieurwesen im Jahr 2004 angeschlossen hat, setzte er seine Forschungsarbeit rund um die Nanomikroverarbeitungstechnologie und die Nanodrucktechnologie fort, entwickelte er mehrere neue Arten von Nanodruckmaterialien, entwickelte neue Polymerdruckschablonen und schlug die Oberflächennamer vor.Drucktechnik; Nutzung863 Thema "Entwicklung und Anwendung von UV-Lichthärtung und Wärmedruck Dual-Use-Nanodruckgeräten" Unterstützung des Projekts, die Entwicklung erfolgreicher Nanodruckgeräte mit UV-Lichthärtung und Wärmedruck Dual-Use-Funktion, ist jetzt ein Produkt geworden und von der Nanjing University, der Peking Aerospace University, der Verteidigungswissenschaftlichen und technologischen Universität, der Heilongjiang University, der Shenzhen Institute of Chinese Sciences und anderen Universitäten und Forschungseinrichtungen angenommen wurde, bildete Nanodruck Kerntechnologie mit eigenständigem geistigem Eigentum, die Anwendung und den Erwerb einer Reihe von China-spezifischen und US-spezifischen, technischen Niveaus mit dem aktuellen internationalen fortgeschrittensten Niveau auf diesem Gebiet synchronisiert.