120.000 Luftvolumen Tieftemperatur Plasmareinigungsanlage

Das Kryoplasma ist der vierte Zustand der Substanz nach dem festen, flüssigen und gasförmigen Zustand, wenn die zusätzliche Spannung die Entladungsspannung des Gases erreicht, wird das Gas gebrochen und eine Mischung mit Elektronen, verschiedenen Ionen, Atomen und freien Radikalen erzeugt. Obwohl die Elektronentemperatur während der Entladung sehr hoch ist, ist die Temperatur der schweren Teilchen sehr niedrig, und das gesamte System erscheint in einem niedrigen Temperaturzustand, also als niedriges Plasma bekannt. Die Verunreinigungen, die durch die Verwendung dieser hochenergetischen Elektronen, freien Radikalen und anderen aktiven Partikeln und Abgasen verursacht werden, werden durch den Abbau von Verunreinigungsmolekulen in extrem kurzer Zeit aufgebaut und auftreten verschiedene Reaktionen, um die Absicht zu erreichen, Verunreinigungen abzubauen. (Hinweis: Tieftemperatur-Plasma wird im Verhältnis zu Hochtemperatur-Plasma als Normaltemperatur-Betrieb eingestuft.)