Hochtemperaturphosphorsäurekonzentrationsmesser

HORIBA/Horiba CS-620F Faser-TypHochtemperaturphosphorsäurekonzentrationsmesserProduktdetails:

Im 3D-NAND-Prozess werden Dutzende Schichten von Siliziumdioxid und Siliziumnitrid abgelegt und selektiv mit hoher Temperatur mit Phosphorsäure graviert. Durch die Kontrolle der Konzentration und der Temperatur der chemischen Flüssigkeit kann die gewünschte Erosionsrate in diesem Prozess erzielt werden. Bei ausgereiften Modellen ist es schwierig, chemische Flüssigkeiten bei hohen Temperaturen zu messen, aber der CS-620F kann bei hohen Temperaturen von bis zu 170 ° C messen. Die kontinuierliche Messung mit Absorptionsspektrum erfordert im Vergleich zu anderen Methoden weniger Wartung und Verbrauch.

Produkteigenschaften

Es kann eine hohe Konzentration von bis zu 92% Phosphorsäure messen.

●Kein Kühlmechanismus und keine Kühlzeit erforderlich.

●Die hohe Temperatur der Phosphorsäure (140 bis 170 °C) in der Kreislaufleitung muss nicht gekühlt werden und kann direkt gemessen werden.

●Die Proben werden mit PFA in Kontakt gebracht, um das Verschmutzungsrisiko zu verringern.

●Durch die Halbjährliche Hintergrundkorrektur können Ausfallzeiten deutlich reduziert werden.

●Die Messdaten werden alle 3 Sekunden aktualisiert und ermöglichen eine schnellere Kontrolle mit Konzentrationsrückgängen.

Stabilität

▶ Die Messprobe (tatsächliche Medikamentflüssigkeit) wurde für 1 Stunde gemessen und zeigte eine gute Stabilität.

▶ Messbedingungen

Messzyklus: alle 3 Sekunden Messzeit: 1 Stunde Bewegungsdurchschnitt: 16 Mal.

Probenkonzentration (Initialprobenkonzentration) H3PO4: 92,2 % H2O: 7,8 % Probentemperatur: 141 °C.

HORIBA/Horiba CS-620F Faser-TypHochtemperaturphosphorsäurekonzentrationsmesserProduktparameter:

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Faseroptisches Chemikalienkonzentrationsmesser CS-600F

Der CS-600F bietet erweiterte Funktionen, die für die Produktion geeignet sind, wie die Fähigkeit, Online-Messungen von hochtemperaturigen chemischen Flüssigkeiten in einer Vielzahl von Anwendungen durchzuführen, den stabilen Betrieb mit reduzierten Ausfallzeiten und die kompakte Größe, die die Raumproduktivität erhöht.Genaues Konzentrationsmanagement von Chemikalien, das für ausgezeichnete Halbleiter-Feuchtverfahren erforderlich ist.

Kleinere Größe, flexibler Layout

Das Konzentrationsmesser CS-600F ist kompakt und bietet im Vergleich zum ausgereiften Modell (Serie CS-100F1) 36 % geringere Höhe, 40 % weniger Volumen und 46 % weniger Platz für das Glasfaserkabel der Probeneinheit. Lichtquelleneinheiten und Konzentrationsmessgeräte können separat aus der Ferne installiert werden und ermöglichen eine flexible Installation je nach Position der chemischen Flüssigkeitseinheit und der Reinigungsanlage.

Hochstabile Online-Messung von chemischen Lösungen bei hohen Temperaturen (20 bis 80 °C)

Neue optische Systeme und verbesserte Behandlungsalgorithmen unterstützen die Online-Messung von chemischen Flüssigkeiten bei hohen Temperaturen, was ein entscheidender Schritt für ein ausgezeichnetes feuchtes Verfahren ist. Dies eliminiert die Notwendigkeit, chemische Proben zu kühlen. Hohe Stabilität des CS-600F von HORIBAEine effektivere und genauere Verwaltung von Chemikalien.

Hintergrundkorrekturfrequenz deutlich reduziert

Die regelmäßige Korrekturfrequenz ist im Vergleich zu den ausgereiften Modellen (Serie CS-100F1) deutlich reduziert, was wiederum die Ausfallzeiten der Anlage deutlich reduziert und zur Steigerung der Produktion beiträgt.

Mit einem einzigen Konzentrationsmesser können bis zu sechs chemische Flüssigkeiten gemessen werden (Flüssigkeitsart oder Konzentrationsbereich)

Mit einem einzelnen Konzentrationsmesser können bis zu sechs chemische Flüssigkeiten (Flüssigkeitsart oder Konzentrationsbereich) gemessen werden. Die Art und der Konzentrationsbereich von Medikamenten können frei festgelegt werden und der CS-600F garantiert die Erfüllung einer Vielzahl von Prüfanforderungen.

Ausgabe von Messwerten für bis zu sechs Komponenten (serielle Ausgabe)

Das ausgereifte Modell (Serie CS-100F1) ermöglicht die Ausgabe von Messwerten für vier Komponenten (serielle Ausgabe). Das neue Modell CS-600F liefert Messwerte für bis zu sechs Komponenten als serielle Ausgabe.Das Modell CS-600F simuliert vier Komponenten und das Modell CS-100F1 zwei.

Produktparameter: