Tianjin Labor Hochreingas Straße Layout

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Hochreine Gasleitungssysteme unterscheiden sich von herkömmlichen Gasleitungen. Im Allgemeinen ist es erforderlich, dass die Rohrleitung nicht zu lang ist und keine toten Winkel hat, wie z. B. nicht leicht zu reinigen "blinden Rohren". Der Leiter oder das Ende des Leiters sollte die erforderlichen Emissionsöffnungen und Probenoffnungen bereitstellen. Bei einigen Benutzern, die nicht kontinuierlich verwenden, lassen Sie eine kleine Menge an Gas kontinuierlich am Ende der Rohrleitung entlassen, so dass das Gas in der Rohrleitung normal fließt und "tote Zonen" vermeiden. Abhängig von den Qualitätsanforderungen des Prozessgases sollte bei Bedarf eine Endreinigungseinrichtung eingerichtet werden. Im Allgemeinen sind Steuerventile, Filter, Druckreduzierungseinrichtungen, Druckmesser, Durchflussmesser, Online-Analyseinrichtungen usw. Die hochreinen Gasleitungen, die in die saubere Werkstatt gelangen, konzentrieren sich auf die Gasbevölkerungsräume, um ein einheitliches Management und eine einheitliche Kontrolle zu ermöglichen.

Hochreine Gasleitungen und Rohrleitungszusatzmaterial: Hochreine Gasleitungen sollten entsprechende Rohrleitungen der entsprechenden Qualität verwenden, je nach den unterschiedlichen Anforderungen des Prozesses an die Gasreinheit, den zulässigen Verunreinigungsgehalt und den Partikelgehalt. Zum Beispiel benötigt die Halbleiterindustrie nicht nur eine saubere Produktionsumgebung, sondern stellt aufgrund ihrer komplexen Produktionsprozesse und feinen Verarbeitung auch spezifische und strenge Anforderungen an die verschiedenen hochreinen Gase, die im Produktionsprozess benötigt werden. Von der Mikron-Technologie bis hin zu Submikron- und tiefen Submikron-Technologien (weniger als 0,35 um), sind die Anforderungen an den Verunreinigungsgehalt und den Feuchtigkeitsgehalt im Gas sehr streng, 10-6 (ppm-Klasse) können die Anforderungen nicht erfüllen. Es ist erforderlich, 10-9 (ppb-Klasse) oder sogar 10-12 (ppt-Klasse) zu erreichen, und die Staubpartikelgröße muss auf 0,05-0,01 μm gesteuert werden. Daher müssen die Rohrmaterialeigenschaften der Förderleitungen die Anforderungen an hochreine und ultrareine Gase erfüllen.

Eigenschaften von Rohrleitungsmaterialien Für Rohrleitungen, die hochreine Gase transportieren, sind die wichtigsten Eigenschaften von Rohrleitungsmaterialien, die die Gasqualität beeinflussen, die Durchlässigkeit, die Ausluftungsrate, die Adsorptivität, die Oberflächenrauheit, die Verschleißbeständigkeit und die Korrosionsbeständigkeit.

Installationsanforderungen für Gasversorgungssysteme

Die Rohrleitung sollte den Entwurfsanforderungen entsprechen, wenn das Design keine Anforderungen erfüllt, sollte die Trockengasleitung horizontal installiert werden; Die Rohrleitung, die Feuchtigkeit transportiert, sollte mit einer Steigung von nicht weniger als 0,003 installiert sein, die in Richtung des Kondensationswassersammlers steht.

Rohrleitung mit Schweißverbindung, Wolfram-Argon-Bogen-Schweißboden, manuelle Bogen-Schweißabdeckung. Schweißen oder Punktschweißen von Edelstahlrohren sollte Argonschutzmaßnahmen ergreifen

Gasleitungen und Geräte, Ventile und sonstiges Zubehör sollten über Flansche oder Gewinde verbunden sein. Füllstoff für Gewindeverbindungen muss Polytetrafluorethylenfilm sein

Wenn die Gasleitung durch den Reinraum geht, muss der offene Teil der Flanschdichtung oder der Gewindefüllung gereinigt werden.

Gasleitung mit Sandstrahl Entrostung oder Säure Waschen passivieren nahtloses Stahlrohr, muss eine zentrale Installation Methode, die Installation sollte innerhalb von 48 Stunden segmentiert kombiniert werden, Stickstoffschutz, Fülldruck nicht weniger als 0,2 MPa

Bei Gasleitungen mit Erdungsanforderungen muss ein leitender Spränger zwischen den Flanschen geschweißt werden. Der Leiterschnitt und die Länge der Schweißverbindung sollten den Konstruktionsanforderungen entsprechen. Schweißpunkte müssen sicher und zuverlässig sein.

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