Nikon präsentiert Wafer-Messsystem NEXIV VMZ-NWL 200

Der Geschäftsbereich Industriemessung von Nikon hat kürzlich das automatisierte Wafer-Messsystem NEXIV VMZ-NWL 200 vorgestellt, um die Herausforderungen der Wafer-Messung in Halbleiter-Backend-Prozessen zu bewältigen, bei denen traditionell mehr Arbeit manuell ausgeführt wird als die Front-End-Prozesssteuerung. Der wichtigste Zielmarkt für den NEXIV VMZ-NWL 200 ist daher die Messung im Mittelpunkt des Back-End-Halbleiterherstellungsprozesses.

Der NEXIV VMZ-NWL 200 reduziert den Mangel an erfahrenen Technikern für die manuelle Messung. Die Halbleiterindustrie entwickelte sich auf dem Weg der Miniaturisierung, die das Niveau der erforderlichen Fähigkeiten für die Messung erhöhte und die Anzahl der verfügbaren Ingenieure verringerte. Auf der anderen Seite wächst der Halbleitermarkt weiter, so dass zunehmende Messmöglichkeiten immer weniger Menschen zur Verfügung stehen. Daher hat die manuelle Messung mit herkömmlichen optischen Mikroskopen ihre Grenzen erreicht.

Der NEXIV VMZ-NWL 200 ist ein System zur automatischen Messung von 6-Zoll- oder 8-Zoll-Wafern, die im Träger gespeichert sind, je nach Messverfahren. Die Zuverlässigkeit des NEXIV und die stabile Wafer-Belastung mit NWL sorgen für eine hohe Wiederholbarkeit der Messungen. Das System ermöglicht die intuitive Auswahl des zu messenden Chips mit spezieller Software. Somit kann jeder die gewünschten Chipmessergebnisse mit hoher Zuverlässigkeit erhalten. Darüber hinaus können die Messzeiten und -abläufe verfolgt werden, was zur Verbesserung der Rückverfolgbarkeit beiträgt.

Das System wurde mit Sicherheit konzipiert und bietet eine Schutzabdeckung, um Schäden durch Fehler des Bedieners zu verhindern. Der Betrieb entspricht den internationalen SEMI-Normen S2, S8 und F47.

Über Nikon Metering
Nikon bietet eine Vielzahl von Produkten, Dienstleistungen und Lösungen auf der ganzen Welt, basierend auf der über 100-jährigen Geschichte des Unternehmens. Die Gruppe schafft weiterhin neue Werte und trägt in verschiedenen Formen zur Verbesserung der Lebensqualität und der Fertigung bei. Nikon Industrial Metering Business Unit (IMBU) bietet integrierte, optimierte und hochpräzise Lösungen, die nicht nur maßgeschneidert und kostengünstig sind, sondern auch sofort nach der Implementierung gut funktionieren. Die jüngste Entwicklung bei Nikon Digital Manufacturing ist eine engere Zusammenarbeit zwischen IMBU und dem Geschäftsbereich Digital Solutions Business Unit (DSBU) des Unternehmens, der eine Reihe von optischen Additiv- und Reduktionslösungen für die Verarbeitung von Materialien mit einer Vielzahl von Submikron-Oberflächengrünigkeiten vorgestellt hat.