Installation und Inbetriebnahme des Plasma-Oberflächenbehandlungssystems Pluto30 der Fudan-Universität

Pluto30Es ist ein vollfunktionales Plasmasystem, das speziell für Forschung und Entwicklung entwickelt wurde.13,56 MHzDer Funkfrequenzgenerator und die automatisch abgestimmte Netzspannung erzeugen ein gleichmäßiges Plasma im gesamten Prozessbereich.Pluto30Vakuumhöhlen können bis zu7Ein verstellbarer Probenhalter für Proben in verschiedenen Formengrößen.Pluto30Verschiedene Elektrodeneinstellungen, konfigurierbarRIEundPECVDDas Modell erweitert somit den Anwendungsbereich des Systems und bietet dem Anwender eine gute Flexibilität.

Die Lehrer der Abteilung Polymoleküle der Fudan Universität wollen mit dem Gerät ein Experiment mit Plasmachemie durchführen, das heißt, das Plasma, das durch das Gerät erzeugt wird, mit Substanzen in der Vakuumhöhle zu reagieren, wenn die Vakuumpumpe und das Gasventil geschlossen sind, und dann neue Substanzen erhalten, die nach der chemischen Reaktion entstehen. Dieses Experiment erfordert eine genaue Kontrolle der Plasmageräte und stellt hohe Anforderungen an die Druckhaltefähigkeit der Vakuumhöhle. Nach einigen Untersuchungen entschied sich der Kunde schließlich für unsere Firma.PlutoSeriePluto30Plasmaoberflächenbehandlungssystem.

Anwendungsbereiche:

Oberflächenaktivierung

Verbesserung der Oberflächenenergie zur Verbesserung der Materialhaftigkeit: Vordruckformklebung; Vorschweißdrahtklebung

Verbesserung der Oberflächenkolloid-Mobilität: Vorformung; Vormontierter Chip unter

Oberflächenrauheit und Ätz

Verringerung der Oberflächenspannung und Verbesserung der Oberflächenverbindung

Grauerung und Oberflächenreinigung

Plasma-Ätz (mit RIE-Konfiguration)

Elektrodische/III-IV-Materialien

Nano-Beschichtung (mit flüssigem Vorläuferförderer)

Wasserbeständige Nanobeschichtung: Oberflächenbehandlung von Leiterplatten

Antikorrosive Nano-Beschichtungen: Medizinische Geräte, Medizinische Implantate