Vom 31. August bis zum 2. September 2026 fand die 14. Ausstellung für Halbleiterausrüstungsmaterialien und Kernkomponenten (CSEAC 2026) in Wuxi Taihu statt. Die Ausstellungsfläche der Ausstellung hat 70.000 Quadratmeter überschritten und bringt über 1.300 inländische und ausländische Unternehmen zusammen, die sich auf die technischen Erfolge im Bereich Halbleitergeräte, Materialien und Kernkomponenten konzentrieren.
Standort
Auf dem Messegelände von 群星云集 wurde Shanghai Transcend Technology Co., Ltd. (im Folgenden kurz: Transcend Technology) zu einem der Schwerpunkte der Aufmerksamkeit, dieses Hard-Tech-Unternehmen, das sich auf die Kernquelle von Partikelstrahlen konzentriert, mit einer Reihe von selbständig entwickelten elektronischen Quellen und Ionenquellen präsentierte CSEAC, um der Industrie den selbständigen Durchbruch Chinas im Bereich der Kernteile von Halbleitermasse-Prüfgeräten zu zeigen.
Instant Science und Technology hat die Kerntechnologie der Emission von Mikropartikeln vertieft, um mehrere ausländische langfristige Monopole des "Card Neck" -Prozesses zu durchbrechen und gleichzeitig das gesamte Spektrum von Elektronenquellen, Ionenquellen und Mikrofokuss-Röntgenquellen zu besitzen. Die Kernleistung des Produktes ist eine internationale Marke, die den nahtlosen Austausch von importierten Elektroskopen und Prüfgeräten ermöglicht, die in den Bereichen Forschung, Präzisionsprüfung von Halbleitern, Nano-Mikronanoverarbeitung und industrielle schädigungsfreie Prüfung eingesetzt wird.
Elektronenquelle (Elektroskopkern emittierende Lichtquelle)：Vollständige Linksteuerung，Stabilität und Haltbarkeit hervorragend
Elektronenquelle (Elektroskopkern emittierende Lichtquelle)
Elektronische Quellenprodukte des Unternehmens decken das gesamte Gradientmodell ab, einschließlich Wolframmdrahten, Titanium Hexaborid (LaB6) und Short Base Field Emissionen in drei Kategorien; Kontinuierliche stabile Lebensdauer ≥8000 h; mit sehr niedrigen Beam-Fleck-Drift-Eigenschaften, lange Betrieb-Bildgebung ohne deutliche Abweichungen, Strahlstrom-Gleichmäßigkeit, Energie-Diffusion-Indikatoren erreichen die importierten ähnlichen Produktstandards.
Die gesamte Verbindung der elektronischen Quelle kann autonom kontrolliert werden, von der Reinigung von Einzelkristallrohstoffen, der Präzisionsverarbeitung von Nadelspitzen bis zur Fertigprodukteverpackung, um den gesamten Prozess selbst zu erforschen und zu produzieren, um sich von der Abhängigkeit von Technologien im Ausland zu befreien; Stabilität und Haltbarkeit hervorragend, basierend auf dem Kernprozess eines großen Teams, starke Verschmutzungsbeständigkeit, reine und stabile Strahlströmung, sehr niedrige kontinuierliche Driftmenge auf lange Sicht, die industrielle Massenproduktion und langfristige wissenschaftliche Experimente; Starke Anpassungsfähigkeit, die Parameteranpassung und Strukturanpassung nach nicht-standardmäßigen Ausrüstungen und speziellen experimentellen Anforderungen durchführen kann; Viertens ist die hohe Kompatibilität, vollständige Anpassung an die gesamte Reihe von Mainstream-importierten Elektroskopegeräten wie Zeiss, Hitachi, Japan Electronics und Symer Fly, um den nahtlosen Austausch zu erreichen und die Betriebskosten der Geräte erheblich zu senken.
Die elektronische Quelle wird weit verbreitet in der hochauflösenden mikroskopischen Morphologie-Beobachtung, Materialmikrozonenkomponentenanalyse, Halbleiterwafer-Fehlerprüfung, CD-SEM-Schlüsselgrößenmessung, Elektronenstrahlgravur, Charakterisierung von Nanomaterialien und anderen Szenarien verwendet, die sich an die Präzisionscharakterisierungsanforderungen von Hochschulen, Forschungsinstituten, Materialunternehmen und Halbleiterherstellern anpassen.
Ionenquelle (FIB-Mikronano-Bearbeitungskerngerät)：Hohe Präzision, niedrige Verunreinigungen und StabilitätScheiße!
Ionenquelle (FIB-Mikronano-Bearbeitungskerngerät)
Die flüssige Gallium-Ionenquelle (Ga), die von Instant Technologies selbständig entwickelt wurde, ist das Kerngerät des fokussierten Ionenstrahlsystems (FIB, FIB-SEM). Sein Prinzip besteht darin, den niedrigen Schmelzpunkt und den niedrigen Dampfdruck des hochreinen flüssigen Galliums als Emissionsmedium zu nutzen, das durch Präzisionskapilläre zur Wolfram-Monokristall-Nadelspitze transportiert wird, um eine stabile Taylor-Kegelstruktur unter der Wirkung eines Hochspannungsfeldes zu bilden, um die effiziente Ionisierung flüssiger Metalle zu induzieren und kontinuierlich einen hochfokussierten, hochreinen Galliumionenstrahl zu emittieren. Vertrauen Sie sich auf die Kerntechnologie der stabilen Eindringung von flüssigen Metallen, der Präzisionsformung von Nadelspitzen und der gleichmäßigen Regulierung des elektrischen Feldes, die das Team überwunden hat, um eine langfristige stabile Emission von Ionenstrahlen zu erreichen und die doppelte Funktion der mikroskopischen Bildgebung und der physischen Spritzgravierung zu berücksichtigen.
Die Ionenquelle verfügt über die Eigenschaften des regulierbaren Stroms im breiten Bereich, die sich an die doppelten Anforderungen der hochpräzisen Bildgebung und der großen Gravur anpassen können; Hohe Ionenstrahlfokussierungsgenauigkeit, kleine Strahlflecken, sehr niedriger Verunreinigungsverhältnis, ausgezeichnete Emissionsstabilität, kontinuierlicher Betrieb ohne offensichtliche Strahlstromdämpfung; Lange Lebensdauer der Nadelspitze, hohe Bombenbeständigkeit, Kernstabilität und Lebensdauerparameter können die Anforderungen an langfristige Präzisionsbearbeitung erfüllen.
Ionenquellen durchbrechen die ungleichmäßige Eindringung flüssiger Metalle, Strahlstromdrift, Emissionsausfälle und andere Industrieschmerzpunkte, Ionenstrahlreinheit, gute Fokussierung und ausgezeichnete Wiederholbarkeit; Der autonome Massenproduktionsprozess ist ausgereift, die Produktkonsistenz ist hoch und die Qualität ist stabil; Hohe Kompatibilität der Geräte, die sich an das Mainstream-kommerzielle FIB- und FIB-SEM-Doppelstrahlsystem anpassen können, um den nahtlosen Austausch der importierten Geräte zu unterstützen; Gleichzeitig wird die Anpassung von nicht-standard-Parametern unterstützt, um die Strahlparameter für spezielle Mikronanobearbeitungsszenarien zu optimieren und die Probleme der Industrie mit schlechter Anpassung von importierten Produkten, hoher Anpassungsschwierigkeit und langer Lieferzeit zu lösen.
Es wird hauptsächlich für die mikroskopische Reparatur von Halbleiterchips, die präzise Gravur und Ablagerung von Nanoartikeln, die ultradünne Probenschneidung des Transmissionselektroskops, die mikroskopische Analyse von Materialfehlern, die Vorbereitung von Mikronanostrukturen, die Vorbereitung von Atomsonde-Proben und andere präzise Mikronanobearbeitungsszenarien verwendet. Es ist das Kerngerät der Nanopherstellung, der fortschrittlichen Prozess von Halbleitern und der wissenschaftlichen Forschung von Spitzenmaterialien.
Instant Science & Technology stützt sich auf die Kernforschung der Shanghai Jiangsu University und baut eine Matrix von Partikelstrahlquellen aus Elektronenquellen, Ionenquellen und Röntgenquellen auf, die drei Arten von Kerntechnologien sind identisch und das Prozesssystem ist miteinander verbunden, um positive Selbstforschung und Massenproduktion zu erreichen. Die gesamte Reihe von Geräten des Unternehmens verfügt über die umfassenden Vorteile von Performance-Benchmark-Import, starker Kompatibilität, anpassbar, hohem Preis-Leistungs-Verhältnis, schneller Lieferung und perfektem After-Sales-Service, um die inländische Modernisierung von strategischen Industrien wie Halbleitern, neuen Materialien, High-End-Ausrüstung und Spitzenforschung umfassend zu ermöglichen.
Gruppenfoto
Während der Ausstellung besuchten mehrere Fachbesucher aus verschiedenen Bereichen wie wissenschaftlicher Forschung, Halbleiterpräzisionsprüfung, Nano-Mikro-Nano-Verarbeitung und industrielle schädigungsfreie Prüfung den Kommunikationsaustausch auf dem Science-Technology-Stand, um den Durchbruch des Unternehmens zu beurteilen. Mit dem Aufstieg der inländischen Halbleitermasse-Prüfgeräte, Elektronische Strahlenlichtgravie-Geräte und anderen Segmenten wird sich die Nachfrage nach leistungsstarken elektronischen Quellen weiter freisetzen. Die CSEAC 2026 zeigt nicht nur die technologische Akkumulation und die Massenproduktionskapazität im Bereich Kernpartikel-Strahlquellen-Geräte, sondern sendet auch ein klares Signal an die Industrie: Die inländische Produktionskraft beschleunigt ihren Anstieg an kritischen Gliedern der Halbleiterindustrie.
