Quarzkristalle und Oszillatoren bilden einen Resonanzkreis, der ein stabiles Oszillationssignal erzeugt. Die Oszillationsfrequenz des neuen Chips beträgt 6MHz, wenn der Chip beschichtet wird, wird seine Resonanzfrequenz aufgrund des Gewichts des Chips und der zunehmenden Oberflächenspannung verringert, diese Frequenzveränderung wird vom Frequenzmeter erkannt, basierend auf der Frequenzveränderungsrate und den Parametern der Materialdichte und des Materialschallwiderstands, um den Dickenwert der beschichteten Schicht auf dem Chip zu berechnen. Schließlich wird die Beschichtungsgeschwindigkeit durch die Menge der Änderung der Endmembranschichtdicke in Zeiteinheiten berechnet.

Zunächst werden die Schwinger an der Vorderseite der Sonde installiert und in die Vakuumkammer gelegt. Stellen Sie den "Werkzeugfaktor" (für die Kalibrierung von Faktoren wie Dichte und Spannung) und die gewünschte Dicke des Filmmaterials im Monitor fest. Anschließend beginnt die Beschichtung und der Monitor zeigt die aktuelle Dicke und die Ablagerungsrate in Echtzeit an. Wenn die Dicke den Standardwert erreicht hat, sendet der Monitor ein Signal, um die Scheibenscheibe oder die Verdunstungsquelle automatisch zu schließen und die Beschichtung zu stoppen.

Das Membrandickenmeter kann die Massendicke direkt messen, das Prinzip ist einfach und eignet sich für fast alle Arten von Materialien (Metalle, Medien usw.) und kann gleichzeitig die Dicke und die Ablagerungsrate überwachen, die Prozessstabilität kontrollieren, die relative Optik, die Kosten für Geräte und Verbrauchsmaterialien (Kristallscheiben) sind niedriger. Aber die Messung ist die Dicke auf der Oscillatorplatte und nicht die Dicke auf der tatsächlichen Grundplatte, es gibt tatsächliche Positionsfehler. Es ist empfindlich für Temperaturänderungen, braucht stabile Arbeitsbedingungen, die Schnittplatte wird nach einer überdicken Beschichtung ausbrechen und ersetzt werden müssen. Bei der Verwendung ist es notwendig, die Verwendung des Membrandickenmeters entsprechend der tatsächlichen Situation zu wählen.