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Reinigungsklassen
nach ISO 14644Unterteilung der Luftreinheit in Reinräumen (Zonen) und verwandten kontrollierten Umgebungen basierend auf diesem * Indikator für die Konzentration von suspendierten Partikeln, wobei nur die Grenzwerte der Partikelgröße (niedrige Grenze) berücksichtigt werden.0,1 um～5,0umGruppen von Partikeln, die sich kumulativ verteilen.
Abhängig vom Teilchendurchmesser können sie in konventionelle Teilchen unterteilt werden (0,1 um～5,0um(Mikropartikel)0,1 umund Makropartikel (>5,0um).
Luftreinigkeitskriterien:ISO14644-1(Standard)
| Luftreinigkeitsklasse (N） | Partikelkonzentrationsgrenzwerte, die größer oder gleich der angegebenen Partikelgröße sind/Luftpartikel pro Kubikmeter) | |||||
| 0,1 µm | 0,2 µm | 0,3 µm | 0,5 um | 1um | 5 µm | |
| ISO Klasse 1 | 10 | 2 |
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| ISO Klasse 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
| ISO Klasse 3 | 1 000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| ISO Klasse 4 | 10 000 | 2 370 | 1 020 | 352 | 83 | |
| ISO-Klasse 5 | 100 000 | 23 700 | 10 200 | 3 520 | 832 | 29 |
| ISO Klasse 6 | 1 000 000 | 237 000 | 102 000 | 35 200 | 8 320 | 293 |
| ISO-Klasse 7 |
| 352 000 | 83 200 | 2 930 | ||
| ISO-Klasse 8 |
| 3 520 000 | 832 000 | 29 300 | ||
| ISO-Klasse 9 |
| 35 200 000 | 8 320 000 | 293 000 | ||
| Hinweis: Aufgrund der Unsicherheiten, die mit dem Messprozess verbunden sind, ist für die Bestimmung des Grades nicht mehr als drei effektive Konzentrationszahlen erforderlich. | ||||||
Luftreinigkeitskriterien:GB / T16292-1996(chinesischer Standard)
| Partikelgröße, numerische Reinigungsstufe | Zulassliche Anzahl von Staub/Kubikmeter | Zulässige Anzahl von Mikroben Zui | ||
| ≥0,5 um | ≥5um | Plankton/Kubikmeter | Ablagerung/Geschirr | |
| 100 Ebene | 3,500 | 0 | 5 | 1 |
| 10,000Ebene | 350,000 | 2,000 | 100 | 3 |
| 100,000Ebene | 3,500,000 | 20,000 | 500 | 10 |
| 300,000Ebene | 10,500,000 | 60,000 | — | 15 |
Großbritannien 5295 Standardklassifizierung von Reinraum- und Luftreinigungsanlagen:
| Luftreinigkeitsklasse (N） | Partikelkonzentrationsgrenzwerte, die größer oder gleich der angegebenen Partikelgröße sind/Luftpartikel pro Kubikmeter) | ||||
| 0,3 um | 0,5 um | 5um | 10um | 25 µm | |
| C | 100 | 35 | 0 |
|
|
| D | 1000 | 350 | 0 | ||
| E | 10000 | 3500 | 0 | ||
| F |
| 3500 | 0 | ||
| G | 100000 | 35000 | 200 | 0 | |
| H |
| 35000 | 200 | 0 | |
| J |
| 350000 | 2000 | 450 | 0 |
| K |
| 3500000 | 20000 | 4500 | 500 |
| L |
|
| 200000 | 45000 | 5000 |
| M |
| 450000 | 50000 | ||
Vergleich verschiedener Standards:
| Vereinigte Staaten | Vereinigte Staaten | Britische Standards | Australien Standard | Französische Standards | Deutsche Standards | Standard | Japanische Standards |
| Standard 209D | Standard 209E | BS5295 | AS1386 | AFNORX44101 | Der VDI2083 | 14644-1 | JACA24 |
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| 1 | 1 |
|
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| — | 0 | 2 | 2 |
| 1 | M1,5 | C | 0.035 | — | 1 | 3 | 3 |
| 10 | M2,5 | D | 0.35 | — | 2 | 4 | 4 |
| 100 | Der M3.5 | E | 3.5 | 4000 | 3 | 5 | 5 |
| 1000 | Der M4.5 | G | 35 | — | 4 | 6 | 6 |
| 10000 | M5,5 | J | 350 | 400000 | 5 | 7 | 7 |
| 100000 | M6,5 | K | 3500 | 4000000 | 6 | 8 | 8 |
|
|
| M |
|
| 7 | 9 | — |