Halbleiter Plasma SpritzbeschichtungMit einer sekundären Spritzmethode, die weit verbreitet in der SEM-Probenbereitung oder Metallbeschichtungstests verwendet wird. Mit dem Tieftemperatur-Plasma-Spritzverfahren gibt es keine hohe Temperatur während der Beschichtung und es ist nicht einfach, thermische Schäden zu verursachen. Dieser kleine Plasma-Spritzer verwendet ein PLC-Steuersystem, das vollständig mit Touchscreen betrieben wird und einfach zu lernen ist. Dieses Modell ist auch mit einem drehbaren Probentesch ausgestattet, um die Gleichmäßigkeit der Beschichtung effektiv zu verbessern. (Dieses Gerät ist mit einem rotierenden beheizten Probentesch ausgestattet, der die Gleichmäßigkeit der Beschichtung und die Haftung der Folie verbessern kann) Dieser kleine Plasmasputtergerät verwendet ein PLC-Steuersystem, das vollständig mit Touchscreen betrieben wird, um die Verwendung zu erlernen.
Arbeitsprinzip:
Plasma-Anregung:
In Inertgase wie Argon (Ar) gelangen, die unter der Wirkung eines elektrischen Feldes ionisiert werden, um ein hochdichtes Plasma zu bilden.
Ionenbombardierung:
Ein hochenergetischer Ionenstrahl (Energie > 1 keV) bombardiert ein Metall- oder Verbindungsziel, so dass die Zielatome entfliehen, um einen orientierten molekularen Strahl zu bilden.
Film Ablagerung:
Die Sputteratome werden auf der Substratoberfläche zu einer Membran abgelegt und die Dicke wird durch Quarzkristalle in Echtzeit überwacht.
Periodische Reinigung:
Vakuumkammerreinigung: Nach der Ablagerung wird das restliche Plasma mit einer 5% Wasserstoff-Stickstoff-Mischung gereinigt und die Innenwandfolie alle 10 Zyklen ersetzt.
Zielwartung: Metallziel poliert die Oberfläche alle 50 Stunden, Oxidziel erkennt regelmäßig Risse.
Wartung des Kernsystems:
Vakuumsystem:
Das Molekularpumpenöl wird alle 500 Stunden ausgetauscht und die mechanische Pumpe reinigt das Filter vierteljährlich.
Der Dichtring wird monatlich überprüft, der O-Ring wird alle halbjährlichen Wechsel verpflichtet.
Elektrische Systeme:
Die Hochspannungskabelisolationsschicht wird wöchentlich auf die Spannungsbeständigkeit (> 10 kV) getestet.
Der Plasmakühler wird alle zwei Wochen abgestaubt, um eine Lichtbogenentladung zu verhindern.
Notfallbehandlung:
Spritzbogen instabil: sofort Stromausfall, Klebeband isoliert ausgesetzt Metallteile.
Vakuum fällt zu schnell ab: Überprüfen Sie den Flanschdichtungsring und lokalisieren Sie den Leckpunkt.
Übermäßige Gleichmäßigkeit der Folie: Kalibrieren Sie die Dreh-/Drehgeschwindigkeit des Basisrahmens.