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Yixing Jingke Optical Instrument Co., Ltd
Die Spezifikation der Betriebsmethode des Quartztiegels ist der Kern der Gewährleistung der Prozessreinheit und der experimentellen Sicherheit
Datum:2025-12-23Lesen Sie:0
Der Quarztiegel ist aus hochreinem geschmolzenem Quarz hergestellt und verfügt über eine ausgezeichnete Hochtemperaturbeständigkeit (Weichpunkt ca. 1650 ℃), einen niedrigen thermischen Ausdehnungskoeffizienten und eine sehr niedrige Verunreinigungsaussatzrate. Er wird weit verbreitet in den Bereichen Einkristallines Siliziumwachstum, Halbleiterreinigung, Hochtemperatursinteren und Schmelzen von Edelmetallen. Allerdings ist es sehr zerbrechlich, empfindlich für Hitzeschüttungen, anfällig für die Erosion von Alkalimetallen, wenn es falsch verwendet wird, kann es zu Rissen, Verschmutzung und sogar Explosionen führen. Die Beherrschung der wissenschaftlichen und spezifischen Betriebsmethoden von Quarztiegeln ist der Kern der Gewährleistung der Prozessreinheit und der experimentellen Sicherheit.
1. Vorbereitung vor der Verwendung
Überprüfen Sie das Aussehen: Stellen Sie sicher, dass keine Risse, Blasen, Kratzer oder weiße Flecken vorhanden sind (möglicherweise Na2- oder K2-Kontaminationen);
Prüfen Sie die Reinheit: Der neue Tiegel muss mit hochreiner HF-Säure (5-10%) oder speziellem Reinigungsmittel eingeweicht werden, und dann mehrmals mit ultrareinem Wasser gespült werden, der Wasserwiderstand von 18MΩ · cm erreicht wird.
Übereinstimmungsprüfung: Stellen Sie sicher, dass die Größe und Form des Tiegels mit dem Heizofen, der Induktionsspule oder dem Stützhalter angepasst sind, um ungleichmäßige Belastungen zu vermeiden.
2. Erwärmung und Kühlung
Strong verboten Notkalte Hitze: Die Erwärmungsgeschwindigkeit wird auf ≤5 ° C / min (insbesondere unter 300 ° C) gesteuert, um zu verhindern, dass alpha-beta-Quartz-Phasenänderungen (573 ° C) Volumenmutationen auslösen, die zu einem Bruch führen;
Empfohlene Treppenverwärmung: wie Raumtemperatur → 300 ℃ (Isolierung 30min) → 800 ℃ → Zieltemperatur, so dass die Spannung vollständig freigesetzt wird;
Die Kühlung muss mit dem Ofen gekühlt werden: Stellen Sie den Hochtemperatur-Tiegel niemals direkt in der Luft oder in Kontakt mit kalten Metallen, empfohlene Kühlgeschwindigkeit ≤ 3 ° C / min.
3. Lade- und Betriebsvorschriften
Material trocknet ohne Wasser: Wasserhaltige oder flüchtige Substanzen (wie Nitrate, Carbonate) werden durch den thermischen Abbau von Gasen erzeugt, die leicht Spritz oder inneren Druckbruch verursachen;
Vermeiden Sie Kontakt mit alkalischen Substanzen: NaOH, K2CO2 usw. wird Quarz stark korrodieren und Silikate mit niedrigem Schmelzpunkt erzeugen, was zu einer weichen Piercing des Tiegels führt;
Leicht und leicht: Verwenden Sie Quarzzangen oder Keramikverbindungen, um zu verhindern, dass Metallwerkzeuge die Innenwände direkt berühren.
4. Besondere Prozessvorschriften
Monokristallines Siliziumwachstum: in der inerten Atmosphäre (Ar) verwendet werden muss, um zu verhindern, dass Sauerstoffdiffusion die Kristallmasse beeinflusst;
Metallschmelze: nur Pt, Au, Ag und andere Metalle, die nicht mit SiO2 reagieren, Al, Fe, Ca und andere aktive Metalle sind streng verboten;
Wiederverwendung: Entfernen Sie die Reste nach jedem Gebrauch, überprüfen Sie, ob die Innenwände weiß oder durchdringend ist, wenn sie auftreten, sollten sie verabschiedet werden.