Warum ist der Gesamtgehalt an organischem Kohlenstoff (TOC) in elektronisch reinem Wasser so wichtig? TOC ist ein Indikator für den Gesamtgehalt an organischen Stoffen im Wasser und spiegelt die Gesamtmenge an löslichen und suspendierten organischen Schadstoffen im Wasser wider. Selbst kleine Mengen organischer Substanzen können sich bei der Herstellung von Elektronikprodukten katastrophale Auswirkungen auf die Produktleistung ausüben. Zum Beispiel können organische Substanzen Rückstände auf der Wafer-Oberfläche bilden, die zu Kurzschlüssen, Abnahme der Geräteleistung oder sogar Ausfällen führen. Darüber hinaus können organische Substanzen zu einem Treibpunkt für die Zuchtung von Mikroben werden und die Produktionsumwelt weiter verschmutzen. Daher ist die strikte Kontrolle des TOC-Gehalts in reinem Elektronikwasser der Schlüssel zur Sicherstellung der Qualität und der Produktivität von Elektronikprodukten.

Aus den oben genannten Daten kann ersichtlich sein, dass die Anforderungen an TOC der EW-I-Klasse am strengsten sind, deren Gehalt unter 20 μg / L kontrolliert werden muss, was hauptsächlich in den Bereichen wie der Fertigung von integrierten Schaltungen mit den höchsten Anforderungen an die Wasserqualität angewendet wird. Mit der Senkung des Niveaus wird der zulässige TOC-Gehalt allmählich entspannt, um den unterschiedlichen Bedarf an Wasserqualität in den verschiedenen Produktionsketten gerecht zu werden. Diese Normen liefern nicht nur Leitlinien für die Herstellung von reinem Wasser in elektronischer Qualität, sondern stellen auch klare quantitative Ziele für die TOC-Prüfung dar.

Was sind die üblichen TOC-Testmethoden? Neben der oben genannten Oxidation-Nicht-Dispersion-Infrarot-Methode umfasst die TOC-Prüfmethode auch die Hochtemperatur-Verbrennung-Oxidation-Methode, UV-Licht-Oxidation-Methode usw. Die Hochtemperaturverbrennungsoxidationsmethode besteht darin, Wasserproben in einen Hochtemperaturofen (in der Regel über 900 °C) einzuspritzen, so dass organisches Material schnell zu Kohlendioxid oxidiert wird. Das UV-Lichtoxidationsgesetz nutzt die photochemische Wirkung von UV-Strahlen, um organische Stoffe ohne Zugabe von chemischen Reagenzien zu oxidieren. Die Auswahl der Prüfmethode hängt oft von den Eigenschaften der Wasserprobe, den Prüfgenauigkeitsanforderungen und der Funktion des Instruments ab. Zum Beispiel verwenden Online-TOC-Analysatoren in der Regel die UV-Photokatalytische Oxidationstechnologie in Verbindung mit einem präzisen Spurautomatischen Probenmodul, um eine effiziente, kontinuierliche Überwachung ohne externen Zusatz von Katalysatoren oder Trägergasen zu ermöglichen.

Das TOC-Analysegerät (Total Organic Carbon Trace) für Wasserqualität ist ein hochempfindliches Testgerät zur präzisen Messung der Gesamtmenge organischer Schadstoffe im Wasser. Xi'an Winrun Umweltschutz Technologie Gruppe gestartetTOC-Analysator ERUN-SP3-J3Es ist speziell für ultrareine Wasserszenarien mit TOC-Konzentrationen unter 1 ppm (d. h. 1000 μg/L) konzipiert und kann bis zu 1 ppb (0,1 μg/L) detektieren. Es kann gleichzeitig organischen Kohlenstoff (TOC), Kohlenstoff (TC), anorganischen Kohlenstoff (TIC) und nicht aufblasbaren organischen Kohlenstoff (NPOC) detektieren.