SpektralellipsometerEs ist ein hochpräzises optisches Messgerät, das hauptsächlich zur Analyse der optischen Eigenschaften von Materialien (z. B. Brechungsgrad, Lichtdämpfungskoeffizient), der Dünnfilmdicke (von Nano bis Mikrometer) und der mikrostrukturellen Informationen von Oberflächen / Schnittstellen verwendet wird. Das Kernprinzip besteht darin, den polarisierten Zustand des Lichts nach der Reflexion oder Transmission der Materialoberfläche zu nutzen, durch die Analyse dieser Änderung der physikalischen Eigenschaften des Materials, das in Halbleitern, optischen Filmen, Nanomaterialien, biomedizinischen und anderen Bereichen weit verbreitet ist.

Das Gerät kann berührungslos, beschädigungslos messen und die Probe nicht beschädigen; Dickenmessungen auf bis zu Nanometern erreichbar; Keine Kennzeichnung oder Vorbearbeitung erforderlich und eignet sich für eine Vielzahl von Materialien.

AuswahlSpektralellipsometerSie können sich auf folgende Punkte konzentrieren:

Spektralbereich: Wählen Sie den geeigneten Spektralbereich nach den optischen Eigenschaften des Messmaterials aus. Transparente Materialien müssen sich beispielsweise auf den Brechspektrumbereich konzentrieren, während Kurzwellenabsorbierende Materialien auf den Infrarot-Transparentbereich erweitert werden können, um die Dicke zu bestimmen.

Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Messung: Die Genauigkeit ist ein Kernindikator, der die Genauigkeit durch Standardproben (z. B. Luft) überprüfen muss. Die Wiederholbarkeit spiegelt die Stabilität des Instruments wider und erfordert mehrfache Messungen und Vergleichsergebnisse.

Eingangswinkel-Methode: Mehrwinkelmessungen können die Zuverlässigkeit verbessern, aber nicht alle Szenarien sind erforderlich. Komplexe Strukturen wie mehrschichtige Folien und absorbierende Folien erfordern mehrere Winkelmessungen, während einfache dünne Folien nur einen Winkel haben.

Analysesoftware: Die Elliptometer-Messung ist eine indirekte Messung, die Daten müssen zur Analyse angepasst werden. Die Software sollte über eine umfangreiche Materialdatenbank, flexible Modellerstellungsfähigkeiten und effiziente Algorithmen verfügen, um eine schnelle und genaue Parameter-Reversion zu unterstützen.

5, Hardware-Konfiguration: Wählen Sie die Rotationskompensator, die automatische Winkelwand-Basis, die Zusammenführungstechnik und andere Hardware nach Bedarf aus.