Herausforderungen der Branche

Die Konsistenz der Ultrareinwasserproduktion (UPW) ist für die Mikroelektronikherstellung von entscheidender Bedeutung und trägt zum Schutz der Produktqualität bei. Neben der grundlegenden Überwachung des ultrareinen Wassers stehen Mikroelektronikfabriken auch vor Herausforderungen, auf Trendabweichungen schnell zu reagieren und eine effektive Fehlerbehebung und Prozesssteuerung durchzuführen. Weitere Schwerpunkte sind die Gewährleistung der chemischen Reinheit zur Verbesserung der Prozessleistung und der Serienproduktion sowie die Überwachung von Abwasser und Wiederverwendungswasser.

Hersteller von Mikroelektronik stehen in der Produktion mit einer Vielzahl von organischen Schadstoffen konfrontiert und stellen sich mit einer Vielzahl von Herausforderungen konfrontiert, darunter:

　　●Niedrige ppm-Konzentrationen in Wasser- und hochreinen Prozesschemikalien

　　●ppt-Konzentration vor dem endgültigen Polieren

　　●Komplexe Probenmatrize für wiederverwendete Wasser- und Abwasseranwendungen

　　●Schlüsselanforderungen bei der Überwachung gefährlicher Partikel wie Silikon

　　Lösung

Mit dem Sievers Total Organic Carbon (TOC)-Analyzer und dem Ultrapure Water (UPW)-Bor-Analyzer bietet Veolia Analyselösungen für jeden Schritt des Mikroelektronikherstellungsprozesses. Aufgrund seines breiten Analysebereichs und der Vielseitigkeit seiner Anwendungen können die Sievers TOC-Analysatoren für die Überwachung von ultrareinem Wasser, Prozesschemikalienreinheit, Wiederverwendungswasser und Abwasserbehandlung eingesetzt werden. Da Bor vor dem Siliciumdioxid aus dem Harzbett leckt, ermöglicht der Sievers Ultrareinwasserboranalysator die Kontrolle des Siliciumdioxids und die Verwaltung des Harzbetts durch die Erkennung erhöhter Borkonzentrationen.

　　Umfassende und flexible Überwachungsmöglichkeiten

Es gibt zwei Testtechniken, die häufig zur Überwachung von TOC in niedrigen Konzentrationsanwendungen in der Mikroelektronik verwendet werden: Membran Conductometric und Direct Conductometric. Die Produkte von Sievers decken beide Technologien ab und bieten eine nasschemische Oxidationsmethode an, die für komplexere Substrate wie Prozesschemikalien und Abwasser geeignet ist.

Wir bieten folgende Geräte und Produkte:

　　●Sievers M9e, M500e und 500 RLe TOC-Analyzer mit Sievers-Membran-Leitfähigkeitsprüftechnik

Die Sievers-Membran-Leitfähigkeitstechnologie beseitigt falsche Positive und falsche Negative durch Halogenorganische Stoffe und Amine, die in den meisten ultrareinen Wassersystemen vorhanden sind

　　●Sievers CheckPointe TOC-Sensor mit direkter Leitfähigkeitserkennung

　　 ◆Bietet eine wirtschaftliche Option für nicht-kritische Überwachungspunkte für ultrareines Wasser

　　 ◆Tools für schnelle Diagnose und Fehlerbehebung

　　●Sievers InnovOx TOC-Analyzer mit NDIR-Detektion und superkritischer Wasseroxidation (SCWO)

　　 ◆Präzise und zuverlässige Detektion von organischen Spuren in konzentrierten Säuren, Alkalien und reinen Chemikalien

　　 ◆Abwasser und bis zu 30 % Halgenwasser überwachbar

　Anwendungsanforderungen und Lösungen von Sievers

　　Überwachung von Wasserversorgungs-, Ultrareinwasser- und Wiederverwendungssystemen

Der Online- und tragbare TOC-Analysator Sievers M9e ist speziell für die komplexesten Wassersysteme und -anwendungen konzipiert. Der Analysebereich von 0,03 ppb bis 50 ppm ermöglicht die präzise Ermittlung der TOC-Konzentration in der Systemzufuhr, der Reverse Osmose-Erzeugung und dem endgültigen Erzeugungswasser mithilfe der Membran-Leitfähigkeitstechnik. Mit dem optionalen Turbo-Modus und einer Analysezeit von nur 4 Sekunden ist der SieversM9e Analyzer das ideale Fehlerbehebungswerkzeug für die Wiederverwendungswasserprüfung.

Sievers M9e kann:

　　●Übereinstimmung zwischen Instrument und Instrument

　　●Stabilität der Detektion niedriger Konzentrationen in Anwendungen mit niedrigem TOC-Ultrareinwasser

　　●Automatisierte Operationen wie Kalibrierung, Validierung und Datenanalyse

　　●12 Monate Kalibrierungsstabilität

　　●Fortgeschrittene automatische Zeroing-Funktion für ultrareine Genauigkeit und Präzision

　Chemikalien und Abwasserreinigkeit

Um die Prozessleistung zu erreichen und die Massenproduktion zu optimieren, ist die Kontrolle des TOC in Prozesschemikalien wie Wasserstoffperoxid, Natriumhydroxid, Ammoniumhydroxid, Schwefelsäure und anderen Ätz-/Galvanisierungschemikalien von entscheidender Bedeutung. Der TOC-Analysator von Sievers InnovOx eignet sich hervorragend für diese Überwachung sowie für die Überwachung von organischen Stoffen in Abwasser und Wiederverwendungswasser.

Sievers InnovOx hilft:

• Die Fabrik trifft fundiertere Compliance- und Verarbeitungsentscheidungen

　　●Direkte Kohlenstoff-Detektion in Echtzeit im Gegensatz zur indirekten Sauerstoffbedarfsermittlung

　　●Behandlung komplexer Substrate mit superkritischer Wasseroxidation (SCWO)

Sievers-Analysatoren und ihre Anwendungen in der Mikroelektronik

　　Referenzen

1.Godec, Richard D., „Überwachung und Kontrolle der organischen Stickstoffkontamination von UPW zur Verbesserung der Prozesskontrolle der Immersion Photolithography.“Präsentiert auf der ULTRAPURE WATER-Konferenz, Portland, OR, November 2011, Tall Oaks Publishing, Inc.

2.Godec, Richard D., "Der Leistungsvergleich von Ultrareinem Wasser TOC-Analyzern mit einem automatisierten Standard-Additionsgerät. Veröffentlicht und urheberrechtlich geschützt von Semiconductor Pure Water and Chemical Conference, 2000 Proceedings.

Dunn R., Neue analytische Technik fördert die Eliminierung von Kieselsäure in Futter-, Dampf- und Kondensatsystemen.