In der Halbleiterherstellung, der Reinraum-Umgebungskontrolle und der Anwendung von ölfreien Luftkompressoren hängt die Druckluftqualität direkt von der Produktionssicherheit und der Produkteffizienz ab. Dazu gehört der Restölgehalt zu den wichtigsten Indikatoren zur Messung der Druckluftqualität – selbst Spuren von Öldampf (z. B. 0,001 mg/m³) können Präzisionsgeräte verschmutzen oder Prozessfehler verursachen.Der tragbare Mehrkanal-Druckluftqualitätsprüfer AQ 500M ist mit seiner hohen Präzision und Zuverlässigkeit der Ölmessung ein zentrales Werkzeug zur Sicherstellung der Sauberkeit der Druckluft.

　　Die zentralen Herausforderungen der Ölmessung und die Lösungen des AQ 500M

Restöl in der Druckluft umfasst hauptsächlich flüssige Öltropfen, Suspensionsnebel und gasförmigen Öldampf (wie Kohlenwasserstoffe, Aromastoffe), deren Gehalt streng im Rahmen der ISO 8573-Norm kontrolliert werden muss (wie Klasse 1 erfordert Restöl ≤ 0,01 mg / m³). Traditionelle Prüfmethoden basieren auf Offline-Probenahme und Laboranalyse und haben Probleme wie schlechte Zeitdauer und Komplexität im Betrieb, die es schwierig machen, die Anforderungen der Echtzeitüberwachung zu erfüllen. Das mit dem AQ 500M ausgerüstete OIL CHECK 500-Messmodul ermöglicht eine direkte und schnelle Erkennung von gasförmigem Restöldampf mit einer innovativen Messmethode zur „Zwangsdruckänderung“ und einem hochpräzisen PID-Sensor (Photoionisierungsdetektor) mit einem Messbereich von 0,001 bis 5 mg/m³ und einer Unterscheidungsgrenze von bis zu 0,001 mg/m³ – eine Genauigkeit, die ausreicht, um die strengen Normen der ISO 8573-Klasse 1 (Restöl ≤ 0,01 mg/m³) zu erfüllen und sogar eine höhere Klasse von ultrareiner Druckluft zu überwachen.

　　Technologievorteile: Präzision, Flexibilität und intelligente Synergie

　　Hohe Präzision und breite Reichweite:Der OIL CHECK 500 verfügt über einen PID-Sensor, der sehr selektiv gegen Öldampf wie Kohlenwasserstoffe ist und durch einen Temperaturkompensations- und Druckkalibrierungsalgorithmus stabile Messergebnisse unter verschiedenen Druck (3 ~ 9 bar) und Temperaturen (+ 20 ° C ~ 50 ° C) gewährleistet. Mit einer Messgrenze von 0,001 mg/m³ können sehr geringe Mengen an Restöl in der Druckluft genau erfasst werden und Prozessrisiken durch Leckageprüfungen vermieden werden.

　　Multi-Szene Anpassung:AQ 500M unterstützt eine Vielzahl von portablen, stationären und mobilen Konfigurationen. Das mobile Probenahmesystem ist mit einem 2 m langen PTFE-Schlauch und einer ölfreien, fettfreien Schnellverbindung ausgestattet, um flexible Verbindungen zu Schlüsselpunkten wie Kompressorausgängen und Aktivkohlefilter-Backends zu ermöglichen. Die modulare Konstruktion ermöglicht es dem Anwender, nach Bedarf einen Partikelzähler (PC 400, Detektion von Partikeln mit einer Größe von 0,1 µm) und einen Restfeuchtigkeitssensor (DS 400) auszuwählen, um mehrparametrische, synchrone Erkennung von Restöl, Partikeln und Feuchtigkeit zu ermöglichen.

　　Intelligenter Betrieb und Wartung:Das Gerät integriert den analogen Ausgang von 4 bis 20mA mit der digitalen Schnittstelle Modbus RTU und unterstützt die Erstellung von Visualisierungsberichten über die Analysesoftware der Basisversion CS (USB / Ethernet-Lesedaten); Die Sensoreinheit unterstützt einen schnellen Austausch vor Ort und überprüft die Leistung durch den integrierten Funktionstestknopf, um Ausfallzeiten zu reduzieren.

　　Anwendungswert: Sicherstellung der Luftqualität in Schlüsselbereichen

In der Halbleiterherstellung überwacht der AQ 500M in Echtzeit die Menge an Öl, das in Druckluft in Geräten wie Lithographen, Lithographen und anderen Geräten verwendet wird, um eine Ölverschmutzung zu vermeiden, die zu einem Kurzschluss oder einer Abnahme der Leistungsfähigkeit des Chips führt. Die Präzisionsprüfung im Reinraum gewährleistet, dass die Luftreinheit des Luftzufuhrsystems den ISO-Normen entspricht und das Präzisionsgerät vor Ölnebelrosion schützt; Reduzieren Sie Wartungskosten durch regelmäßige Überprüfung des Restölgehalts des Aktivkohlefilterbackends, die Überprüfung der Filtereffizienz und den rechtzeitigen Austausch von Verbrauchsmaterialien.

Der AQ 500M prüft die Messung der Druckluftqualität von Restöl und ist mit den technischen Eigenschaften von "hoher Präzision, Mehrszenarien und Intelligenz" der "Handler" für die Kontrolle von Restöl in Druckluftsystemen und bietet eine solide Garantie für den sicheren Betrieb der fortschrittlichen Fertigung und sauberen Prozesse.