In der Zeit der schnellen Entwicklung der Photovoltaik- und Halbleiterindustrie bestimmt monokristallines Silizium als Kernbasimaterial die Leistung seiner Vorbereitungsanlage direkt die Materialqualität und die Produktivität. Einkristallines Silizium-Ofen (vollautomatischer direkter monokristalliner Wachstumsofen) als Schlüsselausrüstung für die Vorbereitung von Monokristallinem Silizium muss in einer inerten Gasumgebung wie Stickstoff, Argon und anderem Polykristallines Silizium-Rohstoff bei einer hohen Temperatur von über 1450 ° C schmelzen, durch die direkte Zugmethode fehlerfreie Monokristalline Siliziumstänge kultivieren, die weit verbreitet werden in integrierten Schaltkreisen, Solarzellen, optoelektrischen Geräten und anderen Bereichen. Um die präzise Steuerung der Gasumgebung im Ofen zu erreichen, wurde der Gasmasse-Durchflussregler (MFC) zu einem Kerngerät für den stabilen Betrieb des Monokristallinen Siliziumofens, Suzhou Atroli mit der technischen Akkumulation im Bereich der Tiefbau-Durchflussmessung wurde die Einführung von MFC-Produkten zu einem Schlüsselprogramm in der Herstellung und Produktion des Monokristallinen Siliziumofens.

Die Arbeitsumgebung des Monokristallinen Siliziumofens stellt hohe Anforderungen an die Genauigkeit und Stabilität der Gasstromkontrolle dar: Ein Vakuumgehalt von etwa 2,6 kPa muss im Ofen aufrechterhalten werden, und Flussschwankungen von Schutzgasen wie Argon beeinflussen die Kristallqualität des Monokristallinen Siliziumstabes direkt und führen sogar zu Mängeln. Traditionelle Durchflussmessgeräte sind anfällig für Druck und Temperaturänderungen und müssen häufig die Parameter korrigieren, während Suzhou Atroli MFC dieses technische Engpässe durchbricht - es verfügt über die Funktion der Durchflussmessung und der geschlossenen Kreislaufsteuerung, eingebaute hochpräzise Erkennungsschaltungen und Durchflussregelventile, die bei Argon-Druck und Umgebungstemperaturschwankungen automatisch den eingestellten Durchflusswert verfolgen und stabil bleiben können, ohne zusätzliche Temperaturkorrekturen, die Grundsätzlich die Konsistenz der Gasumgebung in einem monokristallinen Siliziumofen gewährleisten.

Für die Anwendungsszenarien von Monokristallinen Siliziumofen sind die maßgeschneiderten MFC-Produkte von Suzhou Atroli mit einem eigenständig entwickelten Durchflusssensor und einem eigenständig entwickelten hochpräzisen Verhältnisventil ausgestattet, das sich flexibel an die Messanforderungen von üblichen Inertgasen wie Stickstoff, Argon und Helium anpassen kann. Der Arbeitsdruckdifferenz-Anpassungsbereich des Produkts umfasst 0–1 MPa, der Messbereich kann flexibel zwischen 1 mL/min und 200 L/min ausgewählt werden. Gleichzeitig bietet es eine reichhaltige Auswahl an analogen Signalen und digitalen Signalkommunikationsmethoden, die nahtlos mit dem Computersteuerungssystem des Monokristallinen Siliziumofens verbunden sind, um die Echtzeitübertragung und Fernsteuerung von Durchflussdaten zu ermöglichen.

Bei der mechanischen Anpassung unterstützen die Standard-Anschlüsse von Suzhou Atroli MFC eine Vielzahl von Schnittstellentypen wie Dual-Card-Gehäuse, VCR und andere. Sie können auch spezielle Anschlüsse nach den Anforderungen der Hersteller von Monokristall-Siliziumofen anpassen, was die Schwierigkeit der Integration und der späteren Wartung der Geräte erheblich verringert. Neben dem monokristallinen Siliziumofen ist dieser MFC auch in der physikalischen Gasphase-Ablagerung (PVD) chemischer Gasphase-Ablagerung (CVD) ausgezeichnet. Mit der hohen Temperaturanpassung, der hohen Präzision und der hohen Auflösung der Messung kann der Reaktionsgasfluss präzise gesteuert werden und das hohe Reinheitswachstum von Halbleitermaterialien und optischen Komponenten (Laserkristalle, Fasern usw.) unterstützt werden.

Mit dem kontinuierlichen Anstieg der PV-Installation und der kontinuierlichen Aktualisierung der Halbleiterchipverarbeitung hat die Marktnachfrage nach einkristallinen Siliziummaterialien ein explosives Wachstum eingeleitet, und die technologische Aktualisierung der Einkristallinen Siliziumofen-Ausrüstung ist auch in eine beschleunigte Periode eingetreten. Suzhou Etoli hat immer "Präzisionsmessung" als Kern, basierend auf unabhängige Forschung und Entwicklung von Durchflusssensortechnologien und maßgeschneiderten Lösungen, um eine stabile und zuverlässige Unterstützung der Gasflusssteuerung für Kernausrüstungen im Bereich der Photovoltaik und Halbleiter zu bieten, um ein technologischer Partner in der Industriekette der Monokristallinen Siliziumfertigung zu werden. In Zukunft wird Suzhou Etoli auch weiterhin die Mess- und Steuerungsbedürfnisse für neue Energie- und Halbleitergeräte vertiefen und mehr an die Fertigungsszenarien angepasste Stromkontrollprodukte einführen, um die autonome Entwicklung der inländischen Ausrüstungsindustrie zu fördern.