MFC(Gasmasse-Durchflussregler) ist ein Präzisionsinstrument, das den Gasmasse-Durchfluss präzise messen und steuern kann, dessen Kernprinzip auf Wärmeleitung oder Druckdifferenzmesstechnologie basiert, um eine hochpräzise und schnelle Reaktion auf die Durchflussregelung durch Sensoren und Steuerventile zu erreichen, die in der Halbleiterherstellung, der Chemie, der Pharma und der Umweltüberwachung weit verbreitet ist.

　　MFCAnwendungsbereiche:

Halbleiterherstellung

Präzise Steuerung des Gasflusses bei Prozessen wie chemischer Gasphase-Ablagerung (CVD), Ätz und Diffusion, um die Qualität des Chips zu gewährleisten. Zum Beispiel wird der Durchfluss von Reaktionsgasen wie Silikanen gesteuert, um die Gleichmäßigkeit der Dünnfilm-Ablagerung zu gewährleisten.

Chemische Produktion

Optimierung der Reaktionsbedingungen und Steigerung der Produktivität. Zum Beispiel die Kontrolle der Reaktionslogistik, um die Geschwindigkeit und Effizienz chemischer Reaktionen zu kontrollieren.

Pharmaindustrie

Gewährleistung der Genauigkeit und Zuverlässigkeit der sterilen Gasversorgung. Zum Beispiel die Kontrolle des Durchflusses von Medikamenten oder Gasen, um den ordnungsgemäßen Betrieb von medizinischen Geräten sicherzustellen.

Umweltüberwachung und -governance

Überwachen Sie den Gasfluss in der Atmosphäre in Echtzeit und unterstützen Sie mit Daten die Bewertung der Luftqualität, die Verfolgung von Verschmutzungsquellen und die Kontrolle der Verschmutzung. In umweltfreundlichen Anlagen wie Abgasbehandlung und Luftreinigung wird der Gasfluss während der Behandlung präzise kontrolliert, um sicherzustellen, dass die Behandlungswirkung optimal ist.

Andere Bereiche

Messung des Kraftstoffgasdurchflusses von Kesseln und Crackeröfen; Messung des Massenstroms in der petrochemischen Industrie, der Ölgewinnung und des Fackelgases; Verbrennungsofen mit Luftqualitätsstrommessung; Lebensmittelverarbeitung, Wasseranlage Chlorgaskontrolle usw.