9. Internationale Kohlenstoff-Materialkonferenz, Shanghai New International Exhibition Center N1, N2, 2 Pavillons sind befüllt. Im Bereich Präzisionsherstellung und neue Energiematerialien erregt ein scheinbar unbedeutendes graues Instrument die Aufmerksamkeit vieler Fachzuschauer – es handelt sich um ein Gasmassenflussmesser.

Die präzise Herstellung der Kohlenstoffindustriekette, von der Ablagerung von Diamantfolien bis zur Vorbereitung von Silizium-Kohlenstoffnegativen, beeinflusst die präzise Gasstromkontrolle direkt die Leistung und Qualität des Endprodukts.

1 Eröffnung

Die neunte Internationale Konferenz und Industrieausstellung für Kohlenstoffmaterialen wurde am 9. Dezember 2025 im Shanghai New International Expo Center mit dem Thema "Materialinnovation treibt den industriellen Wandel" eröffnet und wird voraussichtlich mehr als 50.000 Fachbesucher anziehen.

Georganisiert von DT New Materials und China Superhard Materials Network.

Die Halle ist unterteilt in die Halle N1 für Halbleiterkohlenstoffmaterialien und die Halle N2 für Energie und Ausrüstung für Kohlenstoffmaterialien, die sich auf die gesamte Kette von Kohlenstoffmaterialien von der Grundlagenforschung bis zur industriellen Anwendung konzentrieren.

Unter den fast 400 Ausstellern stehen Unternehmen wie Etoli Electronics, die sich auf die Bereitstellung von Mess- und Steuerungstechnologien für die Präzisionsfertigung konzentrieren.

Der „Gaspuls“ aus Kohlenstoffmaterialen

In der Kohlenstoffindustriekette, ob es sich um das Wachstum von CVD-Diamanten oder die Vorbereitung von Silizium-Kohlenstoffnegativen handelt, ist die Gasstromkontrolle ein Kernprozess.

Chemische Gasphase-Ablagerung (CVD) ist eine Schlüsseltechnologie für die Herstellung hochwertiger Diamantfolien, bei denen die präzise Steuerung des Flusses von Gasquellen wie Methan die Kristallqualität und Reinheit der Diamantfolie direkt beeinflusst.

Auch im Bereich der neuen Energien sind bei der Herstellung von Silizium-Kohlenstoff-Negativmaterialien die genaue Zuordnung und dynamische Steuerung von Prozessgasen wie Silikan und Acetylen von entscheidender Bedeutung.

Auf dieser Messe wurde das intelligente Steuersystem für den Gasstrom zu einer der wichtigsten technischen Richtungen, die mehrere Aussteller präsentieren. Diese Systeme gewährleisten die Konsistenz und Stabilität des Kohlenstoffprodukteprozesses durch die präzise Steuerung des Gasflusses.

3. Die technische Stärke von Etoli

Im Bereich der Gasstromkontrolle präsentierte Etoli seine Produktreihe von Gasmassenflussmessgeräten von MFC300, MFC330, MFC350 bis MFC600.

Nehmen Sie zum Beispiel die MFC300-Serie, die speziell für kleine Durchflussszenarien entwickelt wurde, mit einem MEMS-Durchflusssensor und einer Temperatur- und Druckkompensation. Die Messgenauigkeit beträgt ±0,5% F.S. und die Reaktionszeit des Sensors beträgt nur 5 Millisekunden.

Der zentrale Vorteil des Etoli-Durchflussmessers liegt in seiner hohen Präzision und Stabilität. Nehmen Sie die MFC600-Serie zum Beispiel, kann die Genauigkeit ± 0,2% F.S., die Linearität ± 0,1% F.S. und die Wiederholungsgenauigkeit ± 0,05% F.S. erreichen.

Diese hohe Präzisionseigenschaft ist bei der dynamischen Gasverteilung von entscheidender Bedeutung und gewährleistet eine genaue Kontrolle des Durchflusses der einzelnen Komponenten, was die Genauigkeit der endgültigen Mischgaskonzentration gewährleistet.

4 Fokussierte Anwendungen vor Ort

Auf der Messe Halbleitermaterialien präsentiert Atroli Anwendungsfälle seiner Gasstrommeter im Diffusionsprozess. In der Halbleiter- und Photovoltaik-Fertigung gehören Diffusionsöfen zu den Kernausrüstungen für präzise Doping und Dünnfilmwachstum.

Durch die präzise Messung und Steuerung von Prozessgasen bestimmen die Massenflussmessgeräte und -regler direkt den Erfolg des Diffusionsprozesses und die Endleistung des Produkts.

Die MFC330-Serie bietet beispielsweise kleine Durchflussspezifikationen von bis zu 0-5 SCCM, um sicherzustellen, dass die Dopingkonzentration und -verteilung den anspruchsvollen Prozessanforderungen entsprechen.

Im Bereich der Vorbereitung von neuen Energiematerialien präsentiert Etoli Lösungen für die Vorbereitung von Silizium-Kohlenstoff-negativen Materialien. Bei der Vorbereitung von Silizium-Kohlenstoff-Negativen müssen hochgefährliche Prozessgase wie Silan (SiH4), Acetylen (C₂H₂) behandelt werden, was besondere Anforderungen an das Gasdurchflussmesser stellt.

5 Branchentrends und Zukunftsaussionen

Die Bedeutung der Gasstromkontrolle in der Industriekette von Kohlenstoffmaterialen wird immer größer. Da die Anforderungen an die Genauigkeit von Gasmischungen in industriellen Prozessen stetig steigen, entwickelt sich auch die Technologie des Gasflussmessers kontinuierlich.

Die zukünftigen Trends zeigen, dass intelligente Durchflussmesser die Fernüberwachung, vorausschauende Wartung und adaptive Steuerung ermöglichen und die Intelligenz der dynamischen Gasverteiler weiter verbessern werden.

Die Ertoli-Produktreihe von Durchflussmessern bietet eine Vielzahl von Kommunikationsschnittstellen, darunter analoge Signale, RS232, RS485, RS422 und CAN-Busse, für die einfache Integration in die Hauptsteuerung, die Fernüberwachung und die automatisierte Steuerung, die den zukünftigen Trends der Intelligenz entsprechen.

In der gleichen Zeit wird die Carbon Materials Conference auch Anwendungskonferenzen wie die Diamant-Jahreskonferenz 2025, die Carbon Fiber Equipment Manufacturing Conference und die New Energy Carbon Materials and Battery Conference veranstalten, um die innovativen Entwicklungen von Carbon Materials in den Bereichen Halbleiter, neue Energien und Ausrüstung einzusehen.