Vakuum-Plasma-Degluing-Maschinen sind weit verbreitet in den Bereichen Halbleiterverpackungen, Mikroelektronik und andere, deren Fehler direkt die Produktionseffizienz und die Produktqualität beeinflussen. Im Folgenden finden Sie häufige Fehlerlösungen auf der Grundlage von Geräteprinzippen und praktischen Erfahrungen:

1. Fehler des Vakuumsystems

- unzureichendes Vakuum oder unmögliches Pumpen

- Dichtungsalterung: Überprüfen Sie, ob der O-Ring an der Rohrschnittstelle verschleißt ist, und ersetzen Sie verformte oder zerrissene Dichtungen rechtzeitig.

- Anormale Vakuumpumpe: Beobachten Sie den Laufgeräusch und den Ölstand der Pumpengruppe, wenn eine mechanische Pumpenöl-Emulsion oder eine molekulare Pumpe falsch gemeldet wird, muss das Schmieröl oder die Reparatur der Pumpengruppe ersetzt werden.

- Gasleitungsleckage: Detektieren Sie Gasleitungen mit Helium-Massenspektrometer, konzentrieren Sie sich auf die Prüfung von Druckminderventilen, Durchflussmesserverbindungen, befestigen Sie lösende Verbindungen oder ersetzen Sie beschädigte Leitungen.

- Vakuum-Alarm falsch ausgelöst

- Kalibrierung des Drucksensors Drift: Regelmäßig mit einem Standard-Vakuummeter vergleichen Sie die Anzeigewerte des Geräts, wenn der Fehler mehr als ± 5% ist, müssen Sie den Sensor neu kalibrieren.

Funkfrequenz (RF) Systemfehler

Plasma kann nicht erzeugt werden.

- Schäden an der HF-Stromversorgung: Messung des Ausgangssignals der HF-Quelle, Reparatur in der Fabrik, wenn keine Leistungsausgabe besteht; Wenn der falsche Lastprüf normal ist, muss das HF-Kabel überprüft werden, ob es gebrochen ist oder sich die Verbindung oxidiert.

- Matcher-Fehler: Einstellung der kapazitativen / induktiven Parameter des automatischen Matchers, wenn der Motor steckt oder das Getriebe verschleißt, muss die Matchbox entfernt werden, um den Kohlenstoff zu reinigen und beschädigte Teile zu ersetzen.

Niedrige oder instabile Plasmadichte

- Elektrodenverschmutzung: Entfernen Sie die Elektrodenplatte oben und unten und wischen Sie die Oberflächenreste mit wasserlosem Ethanol, um zu vermeiden, dass sich organisches Material anhäuft, was zu ungleichmäßigen Entladungen führt.

- Mangelnde Gasreinheit: Ermittlung von Argon- und Sauerstoffdruck in Stahlflaschen, Ersatz der Gasquelle, wenn die Gasreinheit unter 99,99% liegt, während die Verunreinigungen im Inneren des Massenflussreglers gereinigt werden.

Unregelmäßige Prozesseffekte

- Uneffiziente Entklebung

Falsche Parametereinstellung: Anpassung der Leistung (in der Regel 60 ~ 120W) und der Zeit (30 ~ 120 Sekunden) gemäß der Klebstoffdicke, z. B. dicker Lichtgravur, der den Sauerstoffanteil auf 80% erhöhen muss, um die chemische Reaktionsgeschwindigkeit zu erhöhen.

- Kammerverschmutzung: Regelmäßig mit Isopropanol-Ultraschall reinigen Sie den Trägerstisch, entfernen Sie die abgeschiedenen Restpartikel, um die sekundäre Ablagerung zu verhindern, die den Behandlungseffekt beeinflusst.

Materialoberflächenschäden

Über-Ätz: Senken Sie die HF-Leistung unter den Schwellenwert oder verkürzen Sie die Bearbeitungszeit; Der Impulsmodus für empfindliche Geräte (≤70% Leerbehalt) reduziert die Wärmeansammlung.

Hardware- und Steuerungssystemfehler

- Gerät kann nicht gestartet werden

- Notstandsschalter nicht zurückgesetzt: Überprüfen Sie, ob der rote Notstandsknopf auf dem Bedienfeld erscheint, drehen Sie sich im Uhrzeigersinn und starten Sie die Stromversorgung neu, nachdem Sie die Sperre freigesetzt haben.

- Relaisfehler: Messung der Ausgangsspannung der Steuerschaltung, wenn die Kontaktklebung des Relais das gleiche Modell ersetzt werden muss.

Der Gasfluss ist außer Kontrolle

- Elektromagnetventilstopfung: demontieren Sie den Gasfilter, feuern Sie den Filterelement mit Hochdruckstickstoff zurück und ersetzen Sie den neuen Filterelement direkt, wenn er schwer verstopft ist.

Die Fehlerlösung von Vakuumplasmaschinen erfordert eine Kombination von Vakuumtechnologie, Funktechnik und Prozesserfahrung. Der Mechanismus "Präventive Wartung + Schnelle Diagnose" kann die Betriebsrate der Anlage erheblich verbessern.