1. Tägliche Reinigung

Nach jedem Ablauf des Prozesses müssen die Oberflächenreste des Heiztes sofort gereinigt werden. Tauchen Sie mit einem hochreinen, staubfreien Tuch in elektronisches Aceton oder Isopropanol ein und wischen Sie die Tischplatte sanft ab, um Kleber, Metallrückstände oder Partikel zu entfernen. Es ist streng verboten, mit harten Werkzeugen zu kratzen, um den präzisen Temperaturbereich nicht zu kratzen oder die Oberflächenbeschichtung zu beschädigen. Bei hartnäckigen Rückständen kann eine Ultraschallreinigung (sofern das Entfernen erlaubt ist) oder eine spezielle Entgleiumsbehandlung erfolgen. Stellen Sie nach der Reinigung sicher, dass es wieder trocken ist.

2. Temperaturkalibrierung

Alle 1-3 Monate oder nach insgesamt 200 Betriebsstunden muss eine Temperaturkalibrierung durchgeführt werden. Verwenden Sie metrologisch zertifizierte hochpräzise Oberflächenthermometer (z. B. Infrarot-Thermometer oder Thermoelemente) zur Vergleichsmessung mehrerer Schlüsselpunkte (Mitte, Kante, Vierecke) auf der Oberfläche und erstellen Sie eine Temperaturverteilung. Wenn festgestellt wird, dass die Temperaturdifferenz den zulässigen Prozessbereich überschreitet (in der Regel ≤ ± 1 °C), ist eine mehrpunktige Korrektur über das Steuersystem erforderlich oder der Hersteller zur Anpassung der PID-Parameter zu kontaktieren. Regelmäßige Kalibrierungen verhindern effektiv Prozessabweichungen durch Alterung von Thermoelektronen oder ungleichmäßige Heizung.

Überprüfung von Heizelementen und Sensoren

Überprüfen Sie alle halbjährlich die Wärmedrähte oder Keramik-Heizmodule auf Spuren von Bruch, Oxidation oder lokaler Überhitzung; Beobachten Sie, ob der Temperatursensor (Thermoelement oder RTD) in gutem Kontakt ist und nicht locker ist. Wenn die Leistung der Komponenten vermindert wird, sollten die Originalteile rechtzeitig ausgetauscht werden, um Schaden am Wafer durch lokale Überhitzung oder Sicherheitsunfälle zu vermeiden.

4. Aufrechterhaltung der Oberflächeneinheit und der Adsorptionsleistung

Überprüfen Sie regelmäßig, ob die Vakuumlöcher verstopft sind, und reinigen Sie mit Druckluft umgekehrt. Messung der Tischflachkeit mit optischen Flachkristallen oder Thousandmetern, wenn die Deformation überschritten wird und eine Schleifreparation erforderlich ist. Stellen Sie sicher, dass die Vakuumdichtungsringe keine Alterung oder Risse haben, und ersetzen Sie sie bei Bedarf, um eine gleichmäßige Adhesion zu erhalten und zu verhindern, dass die Wafer verdreht oder rutscht.

Elektrische und Steuerungssystemprüfung

Überprüfen Sie, ob das Stromkabel und die Anschlüsse locker und oxidiert sind; Bestätigen Sie, dass die Erdung zuverlässig ist und verhindern Sie die Ansammlung von statischer Elektrizität. Überprüfen Sie, ob das Temperaturprogramm, der Überhitzungsschutz und die Alarmfunktion normal reagieren. Vermeiden Sie, dass Spannungsschwankungen die Temperaturstabilität beeinträchtigen.