Hochvakuum-Magnetron-Spritzverdampfungsbeschichtung ist eine Ausrüstung zur Herstellung von Folien in Vakuumumgebung durch Magnetron-Spritztechnologie und Verdampfungsmethode, die hauptsächlich für die Herstellung von Folien in Halbleitermaterialien, optischen Komponenten und anderen Bereichen verwendet wird.
Leistungsmerkmale
Hohe Filmqualität: Dichte und starke Haftung der Magnetron-Sputterung-Ablagerung, die genaue Kontrolle der Filmdicke und -zusammensetzung ermöglicht; Die Vakuumverdampfung kann die Ablagerung von hochreinen Filmen erreichen, die in Kombination mit beiden eine gute Leistungsfolie herstellen können, wie z. B. in optischen Filmen, elektronischen Gerätefolien und anderen Bereichen mit guten Anwendungseffekten.
Breite Palette von Beschichtungsmaterialien: Es kann eine Vielzahl von Materialien wie Metalle, Legierungen, Verbindungen, Halbleiter und andere verarbeiten, entweder durch Magnetronsputtern können Metalle mit hohem Schmelzpunkt, Legierungen und Verbindungsfilme abgelegt werden, oder durch Vakuumverdampfung können reine Metalle, organische Stoffe und andere Filme abgelegt werden.
Hoche Prozessflexibilität: Viele Beschichtungsprozesse, wie Einzelziel-Spritzen, Mehrziel-Co-Spritzen, Reaktions-Spritzen, Verdampfungsbeschichtungen und deren Kombinationsprozesse, können durch die Einstellung der Leistung, des Gasdrucks, des Zielabstands und der Parameter der Heiztemperatur und der Verdampfungsgeschwindigkeit des Vakuumverdampfens erreicht werden.
Anwendungsbereiche
Elektronik: zur Herstellung von Elektroden, Verbindungsschichten, Blockierschichten für Halbleiterchips und transparenten Leitfolien für Flachbildschirme, optischen Medienmilhen usw., wie die Herstellung von transparenten Indiumzinnoxidelektroden, Kupferverbindungsschichten usw.
Optischer Bereich: Sie können optische Filme wie Perforationsfilm, Filterfilm, Reflexionsfilm und andere vorbereiten, um die optische Leistung der optischen Komponenten zu verbessern, wie in Lasergeräten, Solarzellen, optischen Linsen und anderen Anwendungen.
Maschinenbereich: Ablagern von harten Verschleißbeschichtungen, Selbstschmierbeschichtungen usw. auf Oberflächen wie Formen, Lagern und anderen, um ihre Härte, Verschleißbeständigkeit und Lebensdauer zu verbessern.
Dekorationsbereich: für die Oberflächenbeschichtung von Metallfolien, Legierungsfilmen, Farbfolien usw. in Autos, Elektronikgehäusen, Schmuckschmuck, etc., um die Schönheit und Dekorativität des Produkts zu verbessern.