PLUTO-30(30L) multifunktionale Plasma-Waschmaschine - Video online ansehen

PLUTO-30 ist ein vollfunktionales Plasmasystem, das speziell für die Forschung und Entwicklung entwickelt wurde, mit einem 13,56 MHz-Funkfrequenzgenerator und einer automatisch abgestimmten Netzspannung, die ein gleichmäßiges Plasma im gesamten Prozessbereich erzeugt. Die Vakuumkammer des Pluto30 unterstützt bis zu sieben verstellbare Probenräger, um Proben aller Formengrößen aufzunehmen. Pluto30 verfügt über eine Vielzahl von Elektrodeneinstellungen, die in RIE- und PECVD-Modus konfiguriert werden können, um den Anwendungsbereich des Systems zu erweitern und den Anwendern eine gute Flexibilität zu bieten.