Vorbereitung vor dem Betrieb (5 Minuten, Sicherheit zuerst)

Sicherheitskontrollen:

Stellen Sie sicher, dass das Instrument gut geerdet ist (Leckagen vermeiden) und die Stromspannung den Nennanforderungen entspricht (z. B. AC220V ± 10%);

Überprüfen Sie, ob die Gasleitungen (z. B. Argon, Sauerstoff, Stickstoff) eng und ohne Leckage verbunden sind (kann an der Verbindung durch Seifenwasser aufgetragen werden, keine Blasen sind normal);

Öffnen Sie einen Lüftungsschrank (wenn Sie flüchtige Proben verarbeiten) oder eine Abgasvorrichtung, um eine durch Plasmareaktionen verunreinigte Umwelt in geringen Mengen zu vermeiden.

Probenvorbereitung:

Große Stücke von Verunreinigungen (wie Staub, Ölverschmutzung) auf der Oberfläche der zu reinigenden Proben (wie Chips, Glas, Kunststoffteile, Metallteile) werden im Voraus gereinigt (mit wasserlosem Ethanol getrocknet), um Verunreinigungen zu vermeiden, die den Reinigungseffekt beeinflussen;

Befestigen Sie die Probe auf dem Probenhalter, um sicherzustellen, dass die Probenoberfläche nicht abgeschützt ist (das Plasma muss gleichmäßig bedeckt sein) und dass das Probenhalter in der Mitte der Reaktionshalle platziert wird (vermeiden Sie die Nähe der Elektroden).

Verbrauchsmaterial und Umweltbestätigung:

Überprüfen Sie den Druck der Gasflasche (normalerweise 0,2-0,5 MPa), um sicherzustellen, dass das Gas ausreichend ist;

Stellen Sie sicher, dass die Reaktionskammertürdichtungsmatte sauber ist und nicht zerstört ist (die Vakuumdichtung wird gewährleistet), und dass die experimentelle Umgebung keine starken Vibrationen oder Staub hat (um den Betrieb des Instruments zu vermeiden).

Kernbetriebsschritte (intelligente Einstellung ohne manuelle Eingriffe)

Startgerät mit Vakuumpumpe:

Schalten Sie die gesamte Stromversorgung des Instruments ein, starten Sie das Steuersystem (einige Modelle betreiben einen Touchscreen), wählen Sie den "manuellen Modus" oder den "automatischen Modus" (Neulinge empfehlen den automatischen Modus, eingebaute häufig verwendete Reinigungsparameter);

Schließen Sie die Tür der Reaktionsräume, drücken Sie die Taste "Vakuum pumpen", das Instrument startet automatisch die Vakuumpumpe, pumpt den Druck in der Reaktionsräume auf den eingestellten Vakuumgrad (in der Regel 10-100Pa, je nach Probentyp angepasst), das Instrument wird automatisch nachdem die Pumpung beendet ist (Anzeigelampe leuchten oder klingen).

Gaseinlauf und Parametereinstellung:

Wählen Sie den Typ des Reinigungsgases (z. B. Sauerstoff für die Reinigung von Ölverschmutzung, Argon für Oberflächenaktivierung, Argon + Sauerstoff für die Zusammensetzung der Reinigung) und setzen Sie den Gasfluss ein (in der Regel 10-50 sccm, zu großer Durchfluss zerstört das Vakuum, zu klein ist die Plasmakonzentration nicht ausreichend);

Reinigungsparameter einstellen:

Leistung (50-300W, hohe Leistung bei der Auswahl der harten Probe, geringe Leistung bei der Auswahl der weichen / thermischen Probe);

Reinigungszeit (30 Sekunden bis 10 Minuten, kurze Zeit für leichte Verschmutzung, lange Zeit für tiefe Reinigung);

Einige Modelle unterstützen „Segmentierungsparameter“ (z. B. Vorbearbeitung mit geringer Leistung und anschließende Reinigung mit hoher Leistung), die nach Bedarf eingestellt werden können.

Start der Plasmareinigung:

Nachdem die Parameter bestätigt wurden, drücken Sie die Schaltfläche "Start Waschen", das Instrument führt den Prozess automatisch durch: Zuerst halten Sie den Gasfluss und das Vakuum stabil, dann starten Sie die HF-Stromversorgung, um das Plasma zu erzeugen (schwaches Licht wird in der Reaktionshalle auftreten, das zu einem normalen Phänomen gehört);

Während des Reinigungsprozesses zeigt der Bildschirm in Echtzeit den Vakuumgehalt, den Gasfluss, die Leistung, die verbleibende Zeit und andere Parameter an, ohne manuelle Anpassung, wenn eine Anomalie auftritt (z. B. Vakuumgehalt, Gasleckage), wird das Instrument automatisch alarmieren und stillstehen.

Abschluss der Operation (3 Minuten, Schutz des Instruments + Probe)

Reinigung und Entspannung:

Nach dem Ende der Reinigungszeit schließt das Gerät automatisch die HF-Stromversorgung und das Gasventil ab und geht in den "Druckentlastungsprozess" (eine kleine Menge an Inertgasen wie Stickstoff in den Reaktionsraum führt, um den inneren und äußeren Druck auszugleichen);

Nachdem die Entlastung beendet ist (der Druck in der Reaktionsräume wird wieder auf den Atmosphärendruck zurückgekehrt), wird das Instrument mit der Meldung „Operation beendet“ angezeigt, um die Reaktionsräumtür zu öffnen.

Proben abnehmen und prüfen:

Tragen Sie Handschuhe, um die Probe zu entfernen und den Oberflächenzustand der Probe zu beobachten (z. B. ob sie trocken ist, keine Rückstände gibt, ob die Oberflächenspannung erhöht ist, kann der Reinigungseffekt durch den Test des Wassertropfenkontaktwinkels überprüft werden);

Wenn Sie mehrere Proben in Folge bearbeiten möchten, können Sie den Schritt "Probenvorbereitung → Vakuumpumpung → Reinigung" wiederholen, ohne die gesamte Stromversorgung des Instruments auszuschalten.

Ausschaltung und Wartung:

Nach Abschluss aller Probenbehandlung schließen Sie das Gas-Stahlventil, drücken Sie die Schaltfläche "Vakuumpumpe stoppen", bis die Vakuumpumpe vollständig ausgeschaltet ist (um die Vakuumpumpe zu vermeiden, die Öl zurückzugeben), schalten Sie die gesamte Stromversorgung des Instruments;

Reinigen Sie mit einem sauberen Tuch die Abdichtungspassen und das Probenhalter der Reaktionsräume, reinigen Sie kleine Mengen Staub (falls vorhanden) in der Reaktionsräume und halten Sie das Instrument sauber und verlängern Sie die Lebensdauer.

Der Betriebsprozess der Plasmareinigungsmaschine ist standardisiert und intelligent, der gesamte Prozess basiert auf der "Tastenbedienung + Parametereinstellung", ohne komplizierte mechanische Regelung oder chemische Kenntnisse, können Neulinge die grundlegenden Bedingungen in 10 Minuten beherrschen. Die "Komplexität" spiegelt sich hauptsächlich in der "Auswahl der Parameter" (z. B. unterschiedliche Proben entsprechen unterschiedlichen Gasen, Leistung, Zeit) und nicht in den Betriebsschritten selbst wider - eine effiziente Reinigung kann erreicht werden, sofern die richtigen Parameter basierend auf dem Probenmaterial (Hart / Weich, Temperaturbeständigkeit) und dem Reinigungszweck (Entölung, Aktivierung, Erosion) ausgewählt werden.