Das Differentialfilmdickenmesser ist ein hochpräzises optisches Messgerät, das hauptsächlich zur zerstörungsfreien, kontaktlosen Messung der Dicke von Folien, Chips, optischen Materialien und mehrschichtigen Folien verwendet wird und ihre optischen Konstanten (z. B. Brechungsgrad, Lichtdämpfungskoeffizient) analysiert. Interferenz und Spektrifizierungsprinzip basierend auf Licht. Wenn das Licht auf die Oberfläche der Folie gelangt, wird es mehrmals zwischen den vorderen und hinteren Oberflächen der Folie reflektiert und eine Interferenzstreife bildet. Diese Interferenzstreifen werden durch die Spektralspektralisierung in Spektren mit unterschiedlichen Wellenlängen aufgeteilt, ihre Intensitätsverteilung gemessen und die entsprechenden Algorithmen verwendet, um die Dicke, den Brechungsgrad und andere Parameter der Folie zu berechnen.
Das Differentialfilmendickenmeter misst die absolute Reflexivität in kleinen Bereichen mittels Mikrospektrometrie. Wenn das Licht auf die Oberfläche der Folie erstrahlt, treten Reflexionen und Transmissionen auf, und das Licht wird mehrmals auf der Oberfläche vor und hinter der Folie reflektiert, um eine Interferenzstreife zu bilden. Die Spektrologietechnik unterteilt diese Interferenzstreifen in Spektren mit unterschiedlichen Wellenlängen und misst ihre Intensitätsverteilung, um Parameter wie Dicke, Brechungsgrad (n) und Lichtdämpfungskoeffizient (k) der Dünnfolie zu berechnen.
Merkmal
Hohe Präzisionsmessung: Präzisionsalgorithmen zur Messung der Membrandücke auf Sub-Nano-Ebene sorgen für Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Ergebnisse. Erfüllen Sie die Messanforderungen von unterschiedlichen Dickenfilmen.
Berührungslose Messung: Kein direkter Kontakt mit der Probe während der Messung ist erforderlich, um Schäden an der Probe durch äußere Kräfte zu vermeiden und die Probenintegrität zu schützen. Geeignet für die Messung wertvoller oder zerbrechlicher Dünnfilmmaterialien wie Halbleiterwafer, optische Beschichtungen.
Schnelle Messung und Echtzeit-Anzeige: Die Messzeit ist bis zu 1 Sekunde/Punkt, unterstützt automatisierte Scans mit hoher Geschwindigkeit und verbessert die Effizienz der Erkennung. Echtzeit-Anzeige der Membrandückendaten für eine schnelle Analyse.
Breiter Wellenlängenbereich und mehrschichtige Membranalyse: Das optische System deckt das UV- bis Nahinfrarotband ab (z. B. 230-1600 nm), um sich an die spektralen Eigenschaften verschiedener Materialien anzupassen. Unterstützt die Auflösung mehrschichtiger Folienstrukturen und ermöglicht die gleichzeitige Messung der Dicke und der optischen Konstanten mehrschichtiger Folien.
Benutzerfreundliches Design: Mit einem einfachen Software-Assistenten für die schnelle Analyse optischer Konstanten, auch für den ersten Benutzer. Der unabhängige Messkopf unterstützt maßgeschneiderte Anforderungen und passt sich an Online-Überwachungsszenarien verschiedener Produktionslinien an.