Im Gegensatz zu herkömmlichen thermischen Massenflussreglern, die sich auf den technischen Pfad verlassen, in dem indirekte Messungen der thermischen Eigenschaften von Gasen durchgeführt werden, verwenden die Einfachheit-Schichtdruckdifferenz-Massenflussregler ein innovatives Prinzip, das viele Schmerzpunkte herkömmlicher Geräte von der Wurzel aus löst. Sein Kern besteht darin, das Turbulenzgas in einen stabilen und geordneten Schichtstromzustand durch Präzisionsschichtraumoelemente zu verwandeln, den Druckdifferenzsensor mit hoher Empfindlichkeit direkt an beiden Enden des Schichtraumoelementes zu erfassen und die dynamische Echtzeit-Kompensation der integrierten Temperatur- und Drucksensoren zu kombinieren, um die präzise Kontrolle des Massenflusses zu erreichen. Diese auf physikalischen Gesetzen basierende Messmethode bietet dem Produkt eine angeborene Stabilität und Zuverlässigkeit, die sich an die Prozessanforderungen der Halbleiterherstellung anpasst.

Hohe Präzision und hohe Stabilität sind die zentralen Vorteile der einfachen Anpassung der Produkte an Halbleiterprozesse. Kleine Fluktuationen des Gasstroms in der Halbleiterherstellung können Probleme wie ungleiche Filmdicken, grafische Erosionsabweichungen und andere verursachen, die die Gutheit des Chips direkt beeinflussen. Durch die Optimierung der Konstruktion und Kompensationsalgorithmen der Schichtstromkomponenten erzielt der Easy Layer Flow Differential Masse Flow Controller eine hohe Messgenauigkeit und Wiederholbarkeit, die auch während des langen Betriebs eine stabile Steuerleistung aufrechterhalten kann und effektiv das Problem der Genauigkeitsdrift der herkömmlichen Geräte durch Alterung der Komponenten oder Umweltänderungen vermeidet. Gleichzeitig deckt seine breite Reichweite die gesamten Szenenanforderungen von kleinen Durchflussen bis hin zu hohen Durchflussgeschwindigkeiten ab, so dass ein einziges Gerät die Anforderungen an die Durchflusssteuerung in mehreren Prozessbereichen erfüllen kann, was die Komplexität der Gerätekonfiguration verringert.

Die hohe Umweltanpassung und die Gaskompatibilität ermöglichen es Easy-Produkten, den komplexen Bedingungen der Halbleiterherstellung zu begegnen. Halbleiterprozesse umfassen nicht nur inerte Gase wie Stickstoff und Argon, sondern auch eine Vielzahl von korrosiven Gasen, und es gibt Temperatur- und Druckschwankungen in der Prozessumgebung. Easy-Produkte mit 316L Edelstahl-Fluss und Metall-Dichtungsgehäuse, können korrosiven Gas-Erosion widerstehen, einen stabilen Betrieb in einem breiten Temperaturbereich und einem breiten Druckbereich aufrechterhalten, lösen einige inländische Ausrüstung Laborleistung ausgezeichnet, aber schlechte Leistung unter Fabrikbedingungen Schmerzpunkte. Die eingebaute Datenbank für mehrere Gase unterstützt die eigenständige Bearbeitung des Mischgasverhältnisses, ohne manuelle Neukalibrierung beim Gaswechsel, was die Effizienz und die Bequemlichkeit des Halbleiterprozesswechsels erheblich verbessert.

Die einfachen und langlebigen Eigenschaften des Strukturdesigns reduzieren die Betriebskosten von Halbleiterunternehmen erheblich. Leichtigkeit Schichtstrom Differenzdruck Masse Durchflussregler Kernsensorteil nicht leicht verschleißende aktive Teile, hauptsächlich auf statische Schichtstrom-Komponenten und Druckdifferenzsensoren arbeiten, nicht nur erheblich verbessert die Produktlebensdauer, sondern auch die Fehlerrate zu verringern. Im Vergleich zu den Anforderungen an häufige Kalibrierung und Wartung von herkömmlichen Geräten verlängert sich der Produktkalibrierungszyklus erheblich, die tägliche Wartungsarbeitslast verringert sich erheblich und reduziert die Ausfallzeiten und Betriebskosten der Geräte effektiv, um den Bedürfnissen der kontinuierlichen Produktion von Halbleiterunternehmen gerecht zu werden.

Als inländisches erstes Unternehmen, das die Zertifizierung im Zusammenhang mit der Schichtdruckdifferenz durchläuft, hat Easy das ausländische Monopol mit seiner vollständigen unabhängigen Forschungs- und Entwicklungskapazität gebrochen, und seine Produkte wurden in den inländischen Herstellern von Lichtgravierern, Graviermaschinen und anderen Kopfausrüstungen in einer Menge angewendet, um ihre Fähigkeit zu überprüfen, alternative importierte Produkte zu ersetzen. Im Kontext der unabhängigen Steuerung der Industriekette, die zur nationalen Strategie geworden ist, bietet der Einfachheit-Schicht-Flussdruckdifferenz-Masse-Durchflussregler nicht nur ein kostengünstiges inländisches Produkt für Halbleiterunternehmen, sondern fördert auch die Modernisierung der inländischen Präzisionsinstrumentindustrie durch technologische Innovationen.

Der inländische Ersatz der Halbleiterindustrie ist ein langfristiger Kampf, und der Durchbruch der Kerngeräte ist ein entscheidender Bestandteil. Einfachheit Schicht Stromdruck Differenz Masse Durchflussregler mit seinen präzisen Stabilität, schnelle Reaktion, starke Anpassungsfähigkeit, langlebige und einfache Wartung umfassende Vorteile, wurde eine wichtige Kraft in der inländischen Halbleiterherstellung Alternative Welle. Mit der kontinuierlichen Iteration der Technologie wird Easy in Zukunft die Kernkompetenz weiter stärken und die autonome und qualitativ hochwertige Entwicklung der inländischen Halbleiterindustrie stärker unterstützen.