In den letzten Tagen, Qingdao Qishan Weinan Electronic Technology Co., Ltd.(kurz "Qingdao Qishan") hat einen großen Durchbruch im Bereich der Masse Flow Controller (MFC) erzielt, die kritischen technischen Hindernisse, die die Entwicklung der inländischen Halbleiterklasse MFC seit langem behindern, überwunden und erfolgreich zwei Halbleiterklasse-MFC-Produkte auf der Grundlage von Hochgeschwindigkeits-piezoelektrischen Verhältnisventilen entwickelt, die eine gute Genauigkeit, Zuverlässigkeit und fünffache Stabilität als bestehende Produkte haben.

　　Warum Halbleiter entwickelnMFC?

MFC， Der Massenflussregler ist ein Präzisionsinstrument, das den Massenfluss von Flüssigkeiten präzise messen und steuern kann, und ist eine wichtige Funktionseinheit, die Prozessgenauigkeit und Produktkonsistenz gewährleistet. MFC spielt in allen Phasen des Halbleiterprozesses eine Rolle.wichtigRolle, z.B. im Prozess (Gravur, Beschichtung usw.) zur Echtzeitüberwachung oder -einstellung der einzelnen Komponenten des Gasgemischs und des Vakuumgehaltes der Anlage, um eine genaue Mischung zu gewährleisten; in der Materialreinigung, die zur Steuerung des Stickstoffflusses während des Prozesses verwendet wird, um die Reinigung und Trocknung zu gewährleisten; In Infrastrukturen wie Supernetzraumen wird die Reinheit von Umweltgasen und die Windgeschwindigkeit langfristig und stabil kontrolliert. Um die Stabilität des Halbleiterherstellungsprozesses und die Qualität der Produkte zu gewährleisten, sind MFC-Produkte in der Regel mit hoher Präzision, hoher Stabilität, hoher Zuverlässigkeit und schneller Reaktion erforderlich.

In den letzten Jahren hat JapanHoriba、 Unternehmen wie Brooks in den Vereinigten Staaten haben PKV-Keramikventile und Halbleiterklasse-MFC-Produkte auf Basis von PKV-Verhältnisventilen eingeführt, um die Reaktionsgeschwindigkeit zu verbessern und gleichzeitig die Probleme der Leistungsverlusterung, der Heizung und des Leckages bei langfristiger Verwendung erheblich zu reduzieren. Einige inländische Unternehmen haben zwar eine gute Entwicklung erzielt, aber ihre Produkte verwenden immer noch die traditionelle elektromagnetische Proportionsventiltechnologie, die Produktkraft ist nicht ausreichend, um die Anforderungen der Halbleiterindustrie nach hoher Präzision, hoher Zuverlässigkeit und schneller Reaktion zu erfüllen. Vor kurzem wurde die hochzuverlässige und schnell reagierende hochwertige piezoelektrisch angetriebene Durchflussmesstechnologie im Ausland monopoliert, der Preis ist hoch und es besteht jederzeit ein Risiko einer Versorgungsunterbrechung, was zu einer Sicherheitsbedrohung für wichtige Kernkomponenten in nationalen Halbleitergeräten führt.

Während des sechsjährigen chinesisch-amerikanischen Handelskriegs hat die Halbleiterindustrie Chinas eine schnelle Entwicklung erreicht, indem sie ihre eigenen Innovationsbemühungen verstärkt, die synergische Entwicklung der Industriekette fördert, sich aktiv an der internationalen Zusammenarbeit beteiligt und politische Unterstützung und finanzielle Investitionen erhält. Gleichzeitig, mit der Verbesserung der Halbleiterherstellungsprozesse und dem Wachstum der Marktnachfrage,Auch die Nachfrage nach MFC wird steigen. Daher ist die Entwicklung von Halbleiter-Grad-MFC und die Förderung der Nationalisierung dieser Kernkomponenten von entscheidender Bedeutung, um die Sicherheit der nationalen Halbleiter-Industriekette zu gewährleisten.

　Strukturdiagramm des S700

　　Qingdao Core Sheng Stärke Geometrie?

Qingdao konzentriert sich aufTechnologie zur Messung des Gasflusses, das Ziel istGutLieferanten von Halbleiterteilen. Das Kernteam stammt aus Singapur.A*STAR、 Schlüsselforschungsinstitute wie KIT, Tsinghua University, Chinese Academy of Sciences, Tongji University und Shandong University in Deutschland beherrschen Kernflusssensorchips, Module, Algorithmen und Systemintegrationen. Derzeit besitzt das Unternehmen 23 Erfindungen, 14 Gebrauchsmodelle und mehr als 50 Zertifikate für die erste Messstufe; 2 nationale Schwerpunkte für Forschung und Entwicklung des Ministeriums für Wissenschaft und Technologie und 1 Schwerpunkte für Forschung und Entwicklung der Provinz Shandong (wichtige wissenschaftliche und technologische Innovationsprojekte); "Qingdao Qishan-Shandong University Sensor Messung und Kontrolle gemeinsames Labor", "Qingdao City Gasfluss Messung und Kontrolle Technologie Schlüssellabor", "Qingdao City Gasfluss Messung und Kontrolle Technologie Experten Arbeitsstation" Forschungs- und Entwicklungsplattform und verfügt über eine Forschungs- und Entwicklungswerkstatt von 800 Quadratmetern, Fertigungswerkstatt von 4000 Quadratmetern, Durchfluss Kalibrierung Ausrüstung von mehr als 100 Einheiten; Qualitätsmanagement- und Fertigungszertifizierungen wie IS09001 und IS014001.

Die Stabilität des Marktes hängt von einer starken Garantie der Produktqualität ab. Nach vielen Jahren der Arbeit hat sich Qingdao Qishan gebildet.Die S300-Serie, die UT-Serie und die E-Serie sind ausgereifte und stabile Produktlinien und haben in vielen Bereichen wie Photovoltaik, Umweltschutz und Medizin eine inländische Alternative erreicht, die einstimmig vom Markt anerkannt wurde. Heute werden zwei spezielle Durchflussmesserprodukte für Halbleiter S700 und DF500 hinzugefügt, um den Halbleitermarkt zu gestalten. In Bezug auf die Vorteile des Unternehmens und seiner Produkte sagte Dr. Tao Jiefang, Gründer des Unternehmens: "Als ein lokales Sensorunternehmen umfassen die Vorteile von Qingdao Qishan hauptsächlich drei Punkte: Erstens ist unser Team ausgezeichnet genug, jeder hat ausgezeichnete Fähigkeiten und umfangreiche Erfahrung; Zweitens haben wir eine gute Ökologie, die Lieferung von Produkten kann ohne die starke Unterstützung von Upstream-Partnern und die enge Zusammenarbeit von Downstream-Kunden erfolgen; Schließlich hat Qingdao Qishan eine hohe Intensität von Forschung und Entwicklung und Produktionsinvestitionen beibehalten, die uns ermöglichen, die Technologie aufrechtzuerhalten.FortgeschrittenDie Herstellung garantiert die Qualität unserer Produkte. Nicht im Low-End-Markt zu sein, ist der Schlüssel zu unserem Bruch", fügte Dr. Tao hinzu.

　　Qingdao Qishan neue Produkte werden vorgestellt2024 „Halbleiter- und Kernkomponenten-Ausstellung“

　　"Das ist noch weit nicht genug", sagte Dr. Lin, Leiter des Forschungs- und Entwicklungszentrums von Qingdao Qishan Co., in Bezug auf die neuen Produkte des Unternehmens für Halbleiterklasse MFC: "Obwohl das Unternehmen bereits einen Platz auf dem Photovoltaik-Markt hat und stabile Aufträge erhalten hat, sind unsere Fähigkeiten und Ziele nicht nur das, wir werden die Kernteile von Halbleitergeräten einzeln angreifen, diesmal sind S700 und DF500 einer der großen Durchbrüche".

Beide neu entwickelten Produkte verwenden die Hochgeschwindigkeits-piezoelektrische Proportionsventiltechnologie sowie die dynamische Druckschwankungskompensationstechnologie."Das PKV ist das Kernsteuerungselement in MFC, das einen geschlossenen Schleifen mit dem Durchflusssensor bildet, um die Dynamik und die schnelle Anpassung des Gasflusses zu erreichen", sagte Dr. Lam. "Im Vergleich zu den derzeitigen Mainstream-Elektromagnetischen PKV reagiert das PKV schnell, hat eine hohe Kontrollpräzision und einen sehr niedrigen Stromverbrauch und Wärmegeräusch. Wir haben die Forschung und Entwicklung des PKV seit 2021 begonnen und haben derzeit Schlüsseltechnologien wie das Stapeldesign, die Optimierung der Aktorstruktur, die Vollmetalldichtung und die Massenproduktion realisiert. Die Leistung und die Konsistenz des PKV sind sehr gut."

Um die unterschiedlichen Anforderungen der Anwendung zu erfüllen, hat Qingdao Qishan zwei verschiedene Produkte entwickelt, die wie folgt unterscheiden:

Die Schwerpunkte der beiden Produkte sind etwas unterschiedlich, wobeiDF500 hat einen Vorteil bei der Genauigkeit und der Reaktionszeit bei der Kontrolle des kleinen Durchflusses, geeignet für fortgeschrittene Prozesse von 7nm / 14nm; Der S700 bietet eine breitere Auswahl an Messbereichen und Arbeitstemperaturen, die sich für allgemeine Prozesse eignen. "Beide Produkte verwenden die neuesten adaptiven dynamischen Steuerungsalgorithmen des Unternehmens, so dass die Kunden nach ihren tatsächlichen Bedürfnissen wählen können. Beide MFCs sind mit Halbleiterklasse-Doppel-V-Material und EP-Behandlung ausgestattet und erfüllen die SEMI-Anforderungen", sagte Dr. Lam. "Beide Produkte werden am 25. September auf der Halbleitergeräte- und Kernkomponenten-Ausstellung vorgestellt und willkommen sind, neue und alte Kunden zu kommunizieren."

　　Zusammenfassung:

Auf HalbleiterebeneAuf dieser Strecke der MFC hat die Forschung in China spät begonnen, Technologie und Produkte unterliegen westlichen Ländern und bedrohen die Kettenintegrität und Sicherheit der Halbleiterindustrie in China ernsthaft. Derzeit hat Qingdao Qishan das Puzzle von 0 auf 1 abgeschlossen, und als nächstes ist, wie man den Sprung von 1 auf 100 besser erreicht. Der Aufstieg von inländischen Herstellern wie Qingdao Qishan stellt nicht nur eine Verbesserung des inländischen Technologieniveaus dar, sondern deutet auch darauf hin, dass unser Land eine stärkere Wettbewerbsfähigkeit im globalen High-Tech-Bereich haben wird.