Qingdao Qishan hat kürzlich eine Reihe von Gas-Masse-Durchflussmesser und Masse-Durchfluss-Controller-Produkte eingeführt, erfolgreich die gesamte Kette Kerntechnologie von MEMS-Chips zu Durchfluss-Detektion-Instrumente und Algorithmen, zu einem der wenigen High-Tech-Unternehmen in Qingdao, die MEMS-Kern-Chip-Technologie beherrschen.

Mit der Aufmerksamkeit und Unterstützung des Staates für inländische Instrumente und Halbleitergeräte hat die inländische Analyseinrichtungsindustrie und die Halbleiterausrüstungsindustrie eine schnelle Entwicklung erreicht. Als Kernkomponente von Analyseinrichtungen und Halbleitergeräten sind Gasmassenflussmessgeräte / -regler derzeit noch hauptsächlich importiert, und die Nachfrage nach inländischen Alternativen ist dringend. Im Gegensatz zu den herkömmlichen Differenzdruck, Wirbelstraße und anderen Prinzipien volumenförmigen Durchflussmessern, MEMS-Gasmasse-Durchflussmesser basiert auf dem Prinzip der Wärmeleitung, um den Gasmasse-Durchfluss hochpräzise zu messen, diese Art von Produkt wird nicht von Umweltparametern wie Temperatur und Druck beeinflusst.

Qingdao Coreson S500 Serie Gas Masse DurchflussreglerDas Design des Gaskanals mit * kann eine flexible Konfiguration des Differenzverhältnisses erreichen, die Reichweite von 1sccm ~ 120slm abdeckt, die Mindeststeuergenauigkeit beträgt 0,1sccm, die Driftmenge im Temperaturbereich von 0 ~ 50 ° C beträgt nur 0,4 ~ 0,6%. In Bezug auf elektrische Signale bieten wir eine Vielzahl von digitalen und analogen Steuerungen und sind mit einem industriellen Display ausgestattet, der die Inbetriebnahme und Konfiguration vor Ort erleichtert.