In fortschrittlichen Industriebereichen wie der Halbleiterherstellung, der Optoelektronikverpackung und der Präzisionsprüfung wirken sich die Präzision und der Bereich der Temperaturregelung direkt auf die Effizienz und die Leistung der Produkte aus.Chiller-Halbleiter-Temperaturregelgeräte als Kerntemperaturregelgeräte können die Grenztemperaturregelungskapazität von der direkten Kühlung von 300 ° C auf -150 ° C erreichen, um eine stabile und präzise Temperaturregelungslösung für Halbleiterprozesse, Materialprüfungen, Hoch- und Tieftemperaturstoßversuche usw. bereitzustellen.

　　1. Kerntechnologie von Chiller-Halbleiter-Temperaturregelgeräten

Der Chiller (Kühlkreislaufsystem) verwendet den Wärmeaustausch von Kompressorkühlung + Kreislaufflüssigkeit, um eine schnelle Anstiegstemperatur und eine Temperaturgenauigkeit von ± 0,1 ° C durch einen hochpräzisen Temperaturregelalgorithmus zu erreichen. Zu den Hauptvorteilen gehören:

　　Breite Temperaturbereich Abdeckung (-150 ℃ ~ 300 ℃)

① Hochtemperaturabschnitt (300 ℃): geeignet für Hochtemperaturprozesse wie Halbleiterbrünen, Materialsinteren und andere, um die hohe Temperaturstabilität durch den Kreislauf von Wärmeleitöl oder Ethanolwasserlösung zu gewährleisten.

② Tieftemperaturbereich (-150 ℃): Verwenden Sie die Komplexkühlungstechnologie oder die direkte Kühlung (Kältemittel verdampft direkt durch Wärmeaustausch), um eine ultratieftemperaturumgebung zu erreichen, um die Anforderungen der Halbleiterchip-Tieftemperaturprüfung und Infrarot-Detektorherstellung zu erfüllen.

　　2. Schnelle Temperaturänderungsfähigkeit

Einige Chiller-Geräte können eine Temperaturänderung von -55 ° C bis 150 ° C in 10 Sekunden durchführen, die sich für die Zuverlässigkeit von Chips, die thermische Spannungsanalyse von Materialien und andere Szenarien eignet.

② Verwenden Sie einen Frequenzumrichterkompressor + ein elektronisches Ausdehnungsventil, um die Kühlmenge dynamisch anzupassen und die Temperaturregelungsreaktionsgeschwindigkeit zu gewährleisten.

　　3. Hochpräzise Temperaturregelung (0,5 ° C)

① Die Herstellung von Halbleitern erfordert eine Temperaturgenauigkeit von ± 0,1 ° C, und der Chiller gibt Echtzeit-Feedback über den PID-Steueralgorithmus + PT100 / Thermoelektronsensor, um die Prozessstabilität zu gewährleisten.

Einige Geräte unterstützen eine unabhängige Temperaturregelung mit mehreren Kanälen und können die Temperatur der verschiedenen Prozesskammern gleichzeitig steuern, ohne einander zu stören.

　　2. Typische Anwendungsszenarien

　　1. Halbleiterherstellung

Lichtgravierer: Steuern Sie die Lichtquelle und die Objektivtemperatur (± 0,05 ° C), um thermische Verformungen zu vermeiden, die die Belichtungsgenauigkeit beeinflussen.

② Erosion / Ablagerung: Regeln Sie die Reaktionskammertemperatur, um die Gleichmäßigkeit der Dünnfilm zu gewährleisten.

3. Chip-Test: Simulieren Sie die Umgebung mit einem breiten Temperaturbereich von -40 ℃ ~ 150 ℃, um die Zuverlässigkeit des Chips zu überprüfen.

　　Optoelektronik und Präzisionsgeräte

① Laser, Faser: Hoch- und Tieftemperaturzyklus-Test, um die Stabilität des Materials zu gewährleisten.

② 3D-Verpackung: Steuern Sie die Schweißrückflusstemperatur und optimieren Sie die Schweißqualität.

3. Materialwissenschaften

1. Superleitende Materialien, Quantengeräte: -150 ℃ ~ 300 ℃ Temperaturregelung, Untersuchung der Eigenschaften des Materials bei verschiedenen Temperaturen.

　　III. Zukunftstrends

Da sich der Halbleiterprozess zu kleineren Prozessen und höherer Integration entwickelt, wird sich die Chiller-Technologie in Richtung präziserer, schnellerer Temperaturänderungen und breiterer Temperaturbereiche entwickeln, um die fortgeschrittene Fertigung auf neue Höhen zu bringen.

Chiller-Halbleiter-Temperaturregelgeräte mit ihren Vorteilen der extremen Temperaturregelung, der hohen Genauigkeit und der schnellen Reaktion sind zu einer Schlüsselausrüstung für die moderne Industrie geworden, die eine zuverlässige Temperaturregelung für Halbleiter, Optoelektrik, Materialwissenschaft und andere Bereiche bietet.