Vakuumleckage ist ein zentrales Problem, das die Stabilität der Plasmareiniger beeinflusst, deren Positionierung in Kombination mit der Prüfmethode und den Geräteeigenschaften umfassend beurteilt werden muss:

Heliumspektrometrie

Geeignet für Hochvakuumsysteme wie z. B. Molekularpumpenhäuser, in denen Flanschschnittstellen, Beobachtungsfenster, Elektromagnetventile und andere Teile mit einem Leckagedetektor gescannt werden, indem 0,1 MPa Helium in den Hohlraum geladen wird. Wenn ein Heliumleck erkannt wird, müssen Schrauben befestigt oder der O-Ring aus Fluorkummi (z. B. Pfeiffer-Vakuumpumpendichtung) ersetzt werden. Beispielsweise kann ein Gerät aufgrund der Alterung des Vor-Vakuumkammer-Isolationstür-Dichtrings, wodurch der Vakuumgrad nicht erreichen kann 1 x 10-3 Pa, nach dem Austausch wiederhergestellt werden.

Druckabnehmungstest

Geeignet für mittleren und niedrigen Vakuumsysteme (z. B. mechanische Pumpenkammern), der Druckanstieg wird innerhalb von 1 Stunde nach dem Schließen der Vakuumpumpe aufgezeichnet. Wenn die Anstiegsrate > 0,5 Pa/h ist, muss die Vakuumregulierungskalibrierung oder die Verschmutzung der Hohlwand überprüft werden. In einem Fall sank der Druckanstieg nach der Plasmareinigung auf 0,2 Pa/h aufgrund der virtuellen Leckage durch die Absorption von organischem Material an den Innenwänden des Hohlraums.

Vibrationssignalanalyse

Durch Erfassung des Vibrationssignals während des Betriebs der Vakuumpumpe wird der Leckpunkt in verschiedene Frequenzkomponenten aufgeteilt. Zum Beispiel erzeugt ein Gerät ein 120 Hz-Vibrationssignal aufgrund der Löschung des Vakuumventilverbindungsrohres, das nach der Befestigung ein Leckage eliminiert.

2. Analyse der Ursachen des Fehlers der Plasmazündung

Ein Ausfall der Plasmazündung wird in der Regel durch eine Anomalie der Stromversorgung, der Luftwege oder des passenden Systems verursacht und muss nach der folgenden Logik beheben werden:

Funkversorgungsfehler

Keine Ausgangsleistung: Testen Sie die RFQ-Quelle mit einer falschen Last von 50 Ω, wenn die Leistungsanzeige Null ist, müssen Sie das RFQ-Modul reparieren (z. B. IGBT-Rohre ersetzen); Wenn die Anzeige normal ist, überprüfen Sie, ob das HF-Kabel kurzgeschlossen ist oder sich in der Hülle verschmutzt hat.

Die Reflexionsleistung ist zu groß: Passen Sie die Position der Netzwerkkapazitivblätter an, so dass die Reflexionsleistung < 5% der Eingangsleistung ist. In einem Fall, wegen der Anfangsposition des Matcher-Kondensators, die Reflexionsleistung von bis zu 30% führt, erfolgreich nach der Neukalibrierung entzündet.

Unregelmäßige Luftwegsysteme

Luftdruckmangel: Überprüfen Sie, ob der Druck der Luftquelle im Bereich von 0,4-0,6 MPa liegt, und regulieren Sie das Druckminderventil, damit der Durchflussmesserwert den Prozessanforderungen entspricht. Zum Beispiel kann ein Gerät aufgrund eines zu niedrigen Ar-Gasdrucks (0,2 MPa) das Plasma nicht aufrechterhalten und nach Anpassung wiederhergestellt werden.

Luftwegverstopfung: Entfernen Sie die Gassprühplatte, blasen Sie die Löcher mit Druckluft und entfernen Sie die Polymerrückstände. In einem Fall wird die Gasverteilung ungleichmäßig aufgrund der Verstopfung des Sprühlochs erhöht und die Zündstabilität nach der Reinigung verbessert.

Elektroden und Matching-Systeme

Elektrodenverschmutzung: Schleifen Sie die Oberflächenoxidschicht mit Schleifpapier auf oder ersetzen Sie eine neue Elektrode (z. B. eine Lebensdauer von etwa 2.000 Stunden).

Hochfrequenz-Lichtbogen-Fehler: Überprüfen Sie den Abstand des Funkenladers (Standardwert 0,5 mm), wenn der Abstand zu groß angepasst werden muss; Wenn der schwarze Stab verbrannt ist, muss er ersetzt werden (z. B. ein Gerät, das aufgrund eines Abstands von 1 mm zwischen den schwarzen Staben, zu einer hohen Frequenz führt, kann nicht gebogen werden, nach der Einstellung wiederhergestellt werden).

Umfassende Diagnosefälle

Eine Vakuum-Plasma-Waschmaschine erschien "keine Plasma-Ausgang" Alarm, nach der Prüfung gefunden:

Vakuumleckage: Druckdämpfungstests zeigen, dass die Anstiegsrate 0,8 Pa / h ist, Heliumleckage positioniert wird, um den Flanschdichtungsring der Molekülpumpe zu altern, und nach dem Austausch wird der Vakuumgrad wiederhergestellt.

Funkfrequenzbestimmungsabweichung: Reflexionsleistung von bis zu 15%, nach Anpassung der passenden Netzwerkkapazitivblätter auf 3% reduziert.

Elektrodenverschmutzung: Die Oberfläche der Elektrode ist mit schwarzem Polymer bedeckt und die Plasmadichte erhöht sich um 40% nach dem Schleifen mit Schleifpapier.

Durch systematische Prüfungen wurde der stabile Betrieb der Anlage wiederhergestellt und die Wirksamkeit der dreidimensionalen Diagnosestrategie "Vakuum-Strom-Gasweg" überprüft.