Phänomen: Die Sonde kann den Testpunkt des Wafers oder Chips nicht genau berühren, was zu unormalen Testdaten führt.

Mechanische Strukturprüfung (5 Minuten)

X/Y/Z-Achsen lösen:

Überprüfen Sie, ob die Verriegelungsschrauben am Sondenstich oder am Sonderarm locker sind.

Nachdem die Schraube befestigt wurde, wird die Positionsgenauigkeit der Tischfläche mit einem Tausendmesser wiederholt.

Schienenverstand:

Reinigen Sie die Schiene und tragen Sie eine kleine Menge Schmierstoff auf.

Drücken Sie die Tischplatte manuell, um zu überprüfen, ob es Kartons oder Geräusche gibt.

Kalibrierung des optischen Systems (10 Minuten)

Mikroskop-Fokusverschiebung:

Passen Sie die Höhe des Mikroskopiobjektivs an, um sicherzustellen, dass die Wafer-Oberfläche klar dargestellt wird.

Überprüfen Sie die Fokussierungsgenauigkeit mit einer Kalibrierblatt wie einem Metallgitter mit einer Drahtbreite von 10 μm.

Verschiebung der CCD-Kamera:

Führen Sie die Funktion „Kamerakalibrierung“ in der Software aus, um das Koordinatensystem der Sonde und der Bildgebung neu zu kalibrieren.

Überprüfen Sie, ob das Kabel der Kamera losgelassen ist.

Zurücksetzen der Software-Parameter (5 Minuten)

Fehlerkoordinaten:

Klicken Sie in der Steuersoftware auf "Koordinatensystem zurücksetzen", um den Ursprungspunkt neu zu definieren.

Überprüfen Sie, ob der „Sondenkompensationswert“ in der Software falsch geändert wurde.

Fehler der Bewegungssteuerkarte:

Starten Sie die Bewegungssteuerkarte neu (warten Sie eine Minute, bevor Sie die Stromversorgung ausschalten).

Aktualisieren Sie die Firmware auf die neueste Version.

Schlechte Exposition: Schnelle Diagnose und Reparatur

Phänomen: Der Kontakt der Sonde mit dem Testpunkt ist instabil und führt zu Widerstandswertschwankungen oder offenen Schaltungen.

Sondenzustandsprüfung (5 Minuten)

Abnutzung der Sonde:

Beobachten Sie die Nadelspitze mit einem Mikroskop und prüfen Sie, ob sie sich biegt, oxidiert oder verschleißt.

Ersatz der Verschleißsonde (z. B. Sonden mit Wolfram- oder Beryllium-Kupfer).

Deformation der Sondekarte:

Überprüfen Sie, ob die Sondekarte gebogen ist und eine Verformung von mehr als 0,1 mm ersetzt werden muss.

Reinigen Sie die Sondekarte.

Kontaktdruckeinstellung (10 Minuten)

Zu viel/zu wenig Druck:

Messung der Kontaktkraft der Sonde mit einem Druckprüfgerät mit einem Standardwert von 2-5g.

Stellen Sie die Federspannung des Sonderarms ein (Uhrzeigerseitige Drehung erhöht den Druck, Uhrzeigerseitige Verringerung).

Ungleiche Oberfläche:

Überprüfen Sie mit dem Horizontometer, ob der Tisch horizontal ist.

Verstellen Sie die Stützschraube unter dem Tisch.

Ausschluss von Umweltstörungen (5 Minuten)

Elektrostatische Auswirkungen:

Überprüfen Sie, ob die Erdung gut verbunden ist.

Verwenden Sie Ionenventilator und statische Elektrizität.

Vibrationsstörungen:

Verschieben Sie die Sonde in einen vibrationsfreien Bereich.

Unter dem Tisch das Vibrationsschutzmatte legen.

Bildverschleierung: Schnelle Optimierung und Reparatur

Phänomen: Unklare Bildgebung durch Mikroskop oder Kamera beeinflusst die Positionsgenauigkeit der Sonde.

Reinigung der optischen Komponenten (5 Minuten)

Objektivverschmutzung:

Entfernen Sie den Staub auf der Objektivoberfläche mit einem Blasballon und tauchen Sie ihn mit einer kleinen Menge optischer Reinigungsflüssigkeit ein.

Überprüfen Sie, ob das Objekt losgelassen ist.

Lichtverlust:

Passen Sie die Helligkeit der Lichtquelle an und ersetzen Sie die alternden Glühbirnen.

Überprüfen Sie, ob das Lichtkabel losgelassen ist.

Anpassung der Bildparameter (10 Minuten)

Ungenauer Fokus:

Drehen Sie den Mikroskop-Fokusknopf manuell, bis das Bild am klarsten ist.

Aktivieren Sie die Funktion "Autofokus" in der Software.

Mangelnder Kontrast:

Anpassen Sie die Kamera-Verstärkung und Belichtungszeit.

Verwenden Sie Polarisationsscheiben, um Reflexionen zu reduzieren.

Zusammenarbeit von Software und Hardware (5 Minuten)

Fehler der Bildverarbeitungskarte:

Starten Sie die Bildverarbeitungskarte neu (warten Sie eine Minute, bevor Sie die Stromversorgung ausschalten).

Aktualisieren Sie den Treiber auf die neueste Version.

Die Auflösung der Kamera stimmt nicht überein:

Stellen Sie die Kameraauflösung in der Software im Einklang mit den Hardwareparametern ein.

Überprüfen Sie, ob die Bildrate der Kamera zu niedrig ist.

Umfassende Prüfung und Prävention

1. Tägliche Wartungsliste

Reinigen Sie die Sondenfläche (mit einem staubfreien Tuch abwischen).

Überprüfen Sie den Zustand der Sonde (die Nadelspitze mit einem Mikroskop beobachten).

Führen Sie ein Selbstprüfverfahren aus.

2. Häufige Fehlerverhütung

Sondenverschleiß: Sonden werden 5.000 Mal pro Test ausgetauscht.

Schlechter Kontakt: Die Sondekarte wird regelmäßig gereinigt (1 Mal im Monat).

Bildverschwommenheit: vierteljährliche Kalibrierung der optischen Systeme (einschließlich Objektive und Kameras).

3. Notfallbehandlung

Sondenbruch: Stoppen Sie sofort den Test, entfernen Sie die gebrochene Nadel mit einer Pinzette und ersetzen Sie die neue Sonde.

Schreibtisch fest: Schalten Sie die Stromversorgung aus und lösen Sie die Schienenversperrung manuell (z. B. die Notlöseknopfe an der Seite).

Software-Absturz: Zwang den Computer neu starten (halten Sie die Power-Taste für 5 Sekunden gedrückt), um das Sicherungsprofil wiederherzustellen.

Zusammenfassung: Durch Schritt-für-Schritt-Behebung von mechanischen, elektrischen, optischen und softwarebasierten Problemen können Fehler bei Positionsfehlern, schlechten Kontakten und Verschleierung der Bildgebung innerhalb von 30 Minuten behoben werden. Regelmäßige Wartungen und Präventivkontrollen reduzieren die Ausfallrate erheblich und gewährleisten die Stabilität der Prüfung.