Multi-Photonen-Polymer(Multiphoton Polymerization Photoresist) ist ein spezielles lichtempfindliches Material, das speziell für die 3D-Micronanobearbeitung mit Fiftosekundlasern entwickelt wurde. Multi-Photonen-Polymer-Photogravierungskleber sind speziell für die 3D-Micronano-Bearbeitung mit Fifto-Sekunden-Laser konzipiert und müssen bei der Auswahl wichtige Leistungsindikatoren integriert werden, um Genauigkeit, Effizienz und Anwendungsanpassung zu gewährleisten.

Anwendungsszenarien:

Biomedizin: Mikro-Fluid-Chips, Bionische Ständer Herstellung, um die Biotoxizität von Lichtauslösern zu vermeiden; ‌

Photonengeräte: dreidimensionale Photonenkristalle, Verarbeitung von Mikrolinsenarrays;

Präzisionsmaschinen: Komponenten sind direkt geschrieben und unterstützen komplexe Schwengstrukturen.

Auswahl der wichtigsten Leistungsindikatoren:

Auflösung: Bestimmung der Mindestgröße (in der Regel bis zu 100 nm) und hohe Auflösung zur Herstellung feinerer Strukturen (wie Mikrolinsen oder Photonenkristalle) Kosten und Leistung müssen jedoch abgewogen werden, um übermäßige Investitionen zu vermeiden. ‌

Empfindlichkeit: reflektiert die Empfindlichkeit für Belichtungsenergie, die hohe Empfindlichkeit kann die Laserbelichtungsdosis reduzieren und die Verarbeitungseffizienz verbessern; Achten Sie jedoch darauf, dass eine hohe Empfindlichkeit die Umweltempfindlichkeit erhöhen kann. ‌

Kontrast: Einfluss auf die Randschärfe des Musters, hoher Kontrast (nahe 90 ° Seitenwand) reduziert Linienverschwimmtheit und verbessert die Strukturgenauigkeit. ‌

Optische Leistung: Sicherstellung der Entfernung unbeexponierter Bereiche und Reduzierung von Rückständen; Bei der Auswahl sollte auf Geschwindigkeit und Gleichmäßigkeit achtet werden. ‌

Mechanische Eigenschaften: einschließlich Härte, Zähigkeit und Dehnungsbeständigkeit, um Verformungen oder Risse bei der Beschichtung oder Bearbeitung zu verhindern. ‌

Chemische Beständigkeit und thermische Stabilität: Beständigkeit gegen Korrosionsmittel, Reinigungsmittel und Hochtemperaturbehandlungen (z. B. Backen), um Grafikverzerrungen zu vermeiden; Die thermische Stabilität ist besonders wichtig für die energieintensive Laserumgebung bei Multiphotonen-Polymerisation. ‌

Reinheit: Der Gehalt an Verunreinigungen muss streng auf ppb-Ebene kontrolliert werden, und die hohe Reinheit reduziert das Risiko von Mikrofehlern.