Chip-vernetzte 3D-Laser-DirektschreibgeräteDurch die Multi-Photonen-Polymerisation (MPP) Technologie wird eine echte dreidimensionale Bearbeitung freier Oberflächenstrukturen auf Submikronenstufe erreicht, die eine wichtige Fertigungsplattform für die Mischung von Silizium-Optichips, Lithium-Niobat-Photonenkreislaufen und Quantenoptik bietet.
Hauptmerkmale:
Ultraschnelle Bearbeitungsmodule für eine erhebliche Verbesserung der Bearbeitungseffizienz
Hochpräzise 3D-Bearbeitung mit freier Oberflächenplanung für komplexe Strukturen
Kofokuss- und Fluoreszenzdetektionssysteme für präzise Positionserkennung und Ausrichtung
Automatisches dreidimensionales Positionierungssystem für Nano-Präzision
Echtzeit-hochauflösende Mikrobildgebung und Messung, Bearbeitung und Prüfung globaler Koordinatensysteme
Laser-Energiestabilisierungssystem für langfristige Bearbeitungskonsistenz
Vakuum-Adsorptionsprobenstisch für verschiedene Grundstoffe
Spezielle Befestigungen für Fasern, Fiber Arrays und Photonenchips
Automatische Laserleistungskompensation zur Beseitigung von Fehlern in der Oberflächenbearbeitung
Automatische Substratgeneigungserkennung und Gleichstellung
Visualisierte Programmierung, individuelle Bearbeitungsprozesse
Wartungszyklus der wichtigsten Komponenten:
Phytosekundenlaser: Ausgangsleistungsstabilitätsprüfung, monatliche Kalibrierung des Leistungsmessers;
Vibroskopie-System: Scanbereich und Sekundärkalibrierung, alle halbjährlich, 140 x 140 μm2;
Temperaturkontrollsystem: Sensor Schwarzkörper Strahlung Quelle Kalibrierung, vierteljährlich, ± 0,1 ° Genauigkeit;
Kühlmodul: Kontrolle des Kältemitteldrucks und der Dichtung der Leitungen, wöchentlich (flüssiger Stickstoff), Druckmessmessmessungen.
Tägliche Wartungsprozesse:
Reinigung des optischen Systems:
Verwenden Sie ein staubfreies Tuch mit wasserfreiem Ethanol, um Schutzspiegel, Vibratoren und Laserfenster zu wischen, um die Beschichtungsschicht zu vermeiden.
Beim Austausch des Schutzspiegels müssen die Düsen versiegelt werden, um zu verhindern, dass Staub in das Lichtwegsystem eintritt.
Kalibrierung der Sportplattform:
Die wiederholte Positionierungsgenauigkeit (±10 nm) der 3D-piezokeramischen Tische wird vierteljährlich überprüft und durch die Standardkalibrierung überprüft.
Für die Schmierung von Schienenführern wird ein spezielles Schmieröl im Nanoskala verwendet, um zu vermeiden, dass Partikel die Bewegungsgenauigkeit beeinträchtigen.