Halbleiter-AMC-AnalyzerDie technischen Merkmale sind wie folgt:
Hochempfindliche Prüftechnik
Cavity Enhanced Absorption Spectrum (CEAS) Technologie: Durch die eigene Entwicklung von Langstreckengassorptionsbecken und ultrageräuscharmen Laserantrieben, die eine Empfindlichkeit von ppb (Milliardentel) erreichen, können Spurgaskomponenten wie CO₂, CH4 genau erkannt werden, die den Standards der Weltmeteorologischen Organisation (WMO) und des Integrated Carbon Observation Systems (ICOS) entsprechen.
Flugzeit-Massenspektrometrie: Zum Beispiel Vocus ABC-Monitor mit Echtzeit-chemischer Ionisierung Flugzeit-Massenspektrometrie, Kombination der Technologie mit der schnellen Spannungspolarität und Reagenzion-Schalter, die chemische Ionisierung von bis zu sechs Reagenzionen gleichzeitig unterstützt, kann eine Vielzahl von AMCs innerhalb von 2 Sekunden spektral abgedeckt werden, um die Detektionsgrenzen auf der Ebene eines einzelnen ppt (Trillionstel) zu erreichen.
Echtzeit-Überwachung und schnelle Reaktion
Millisekundenspektromessung und sekundenspezifische Reaktion des Instruments: Das System kann spektrale Messungen innerhalb von Millisekunden durchführen und auf Konzentrationsänderungen innerhalb von Sekunden reagieren, um sofortige Schwankungen von AMC zu erfassen und die strengen Anforderungen der Halbleiterherstellung an Echtzeit zu erfüllen.
24-Stunden-Betriebsstabilität: Durch hochpräzise Sensoren und fortschrittliche Algorithmen wird langfristig stabile und zuverlässige Daten in komplexen Prozessumgebungen gewährleistet und das Problem der ineffizienten künstlichen Probenahme vermieden.
Multi-Gas-Synchron-Erkennung
Mehrkomponentenanalysefähigkeit: Sie können gleichzeitig Dutzende von AMCs wie saure Gase (wie HCl, H2 SO4), alkalische Gase (wie NH3), flüchtige organische Stoffe (VOCs) und andere überwachen, um verschiedene chemische Eigenschaften und flüchtige Stoffe abzudecken, um die Einschränkungen der herkömmlichen Technologie zu vermeiden, die mehrfach getestet werden müssen.
Automatisierung und Integration des gesamten Prozesses: Von der Probenahme über die Konzentration bis hin zur Analyse und Lagerung, automatisieren Sie den gesamten Prozess, reduzieren Sie menschliche Eingriffe und verbessern Sie die Effizienz der Prüfung.
Intelligente Datenanalyse und Closed-Loop-Management
Unterstützung von KI und Big Data: Durch das vertiefte Mining von großen Datenmengen, die automatische Erstellung von Schadstofftrendkarten und Berichten zur Verfolgung von Schadstoffquellen, unterstützen Manager bei der Optimierung von Prozessen und Managementstrategien.
Fernüberwachung und Schwellenwarnung: Das System verfügt über eine Fernüberwachungsfunktion, die Anomalien sofort benachrichtigt, einen Verlust der Leistungsfähigkeit vermeidet und ein geschlossenes Kreislaufmanagement von "Überwachung - Analyse - Governance - Validierung" bildet, um die Produktionsumgebung kontinuierlich zu optimieren.
Störungssicheres Design und Umweltanpassung
Professionelle Flüssigkeitssimulation und Luftzufuhrsysteme: Verringern Sie die Unstabilität durch den Luftstrom und gewährleisten Sie einen breiten Messdynamikbereich, der sich für eine Umgebung mit unterschiedlichen Bedingungen wie Vibrationen, Temperatur und Luftfeuchtigkeit eignet.
Nichtmechanische Pumpenvakuumsysteme: Verzicht auf drehende Komponenten mit hoher Geschwindigkeit, Lösung von Problemen, bei denen die Detektion bei starken mehrdimensionalen Schwingungen nicht funktioniert, und Verbesserung der Umweltanwendbarkeit.