Dreidimensionales OberflächenkontimeterEs ist ein präzises Messgerät für die hochpräzise Messung der dreidimensionalen Form der Oberfläche von Objekten, das in den Bereichen Elektronik, Automobil, Halbleiter, Materialwissenschaft und industrielle Prüfung weit verbreitet wird.

　　Dreidimensionales OberflächenkontimeterDie Leistung wird durch die wichtigsten technischen Parameter bestimmt, die Anforderungen an die Parameter in verschiedenen Anwendungsszenarien unterscheiden sich erheblich, und bei der Auswahl des Kaufs müssen sich die folgenden Indikatoren konzentrieren:

1. Messbereich:

Dazu gehören der Querbereich (X/Y-Achse, bestimmt die große Größe der messbaren Probe) und der Längsbereich (Z-Achse, bestimmt die große Höhendifferenz der messbaren Oberfläche).

2. Auflösung:

Vertikale Auflösung: Die Fähigkeit zu messen, kleine Höhenunterschiede zwischen Oberflächen zu unterscheiden, ist ein Kernindikator;

Horizontale Auflösung: Messung der Fähigkeit, kleine horizontale Merkmale der Oberfläche zu unterscheiden, in Bezug auf die Objektivvergrößerung des optischen Systems und die Detektorpixel.

3. Messgenauigkeit:

Es bezieht sich auf die Abweichung des Messergebnisses vom wahren Wert, in der Regel Linearfehler (Linearität der Z-Achsverschiebung), wiederholte Fehler (Abweichung von mehreren Messungen an der gleichen Position), Ebenenfehler (Messabweichung der Kalibrierebene).

4. Messgeschwindigkeit:

Abhängig von der Scanmethode (Punkt für Punkt, Linie, Fläche) und der Effizienz der Datenverarbeitung:

Strukturelle Lichtprojektion: Gesichtsscan, Geschwindigkeit * schnell (Millisekunden, geeignet für die Online-Erkennung);

Atomkraftmikroskop: Punkt für Punkt, Geschwindigkeit * langsam (Minutenklasse, geeignet für Offline-Präzisionsanalyse);

Weißes Licht-Interferometer: Linienscanner mit mittlerer Geschwindigkeit (Sekunden bis Minuten, Genauigkeit und Effizienz vereinbart).

5. Probenkompatibilität:

Es beinhaltet das Material der Probe (Metall, Nichtmetall, Transparent / Undurchsichtig, Leitfähigkeit / Isolierung), die Größe (ob sie für den Probenstisch geeignet ist) und den Oberflächenzustand (glatt / rau, trocken / feucht).