Die Graviermaschine ist die Kernausrüstung für die Herstellung von Chips, deren Arbeitsprinzip der "Projektionsbelichtung" ähnelt. Durch eine Reihe komplexer optischer Systeme und präziser Steuerung wird die Schaltungsgrafik auf der Maskenplatte präzise verkleinert und auf die mit Photogravur beschichtete Siliziumflieche projiziert, wodurch der Photogravur chemisch reagiert. Nach anschließenden Prozessen wie dem Gravieren, der Ioneninjektion und anderen bildet sich schließlich die gewünschte Transistor- und Schaltungsstruktur auf der Siliziumflatte.Das technische Niveau der Lithographie bestimmt direkt den Prozess und den Grad der Integration des Chips und ist ein Schlüsselmark für die Messung des Niveaus der Halbleiterherstellung in einem Land.

Heute wurde das Rebokometer feierlich vorgestelltMA200-BE LichtgraviermaschineMit innovativen Technologien stellen wir die Grenzen der Präzision neu, um effizientere und stabilere inländische Lösungen für die fortschrittliche Halbleiterherstellung bereitzustellen.